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SJ 1794-1981 半导体器件生产用扩散炉通用技术条件.pdf

上传人：赵齐羽 文档编号：72139 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：6 大小：183KB
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资源描述

本标准适用于对半导体器件、集成电路用原材料进行氧化、扩散和其他热处理的扩散炉。本标准未做明确规定的一般技术要求,应按SJ 142-78电子工业专用设备总技术条件执行。各类扩散炉的特殊要求,在相应的产品标准中予以规定。

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