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SJ 20518-1995 压电器件用五氧化二钽薄膜规范.pdf

上传人：李朗 文档编号：72731 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：8 大小：303.89KB
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资源描述

本规范规定了五氧化二钽(Ta(2)O(5)压电晶体膜的要求,质量保证规定和检验方法。本规范适用于平面磁控反应性溅射法制备的M点群的五氧化二钽压电晶体膜。

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