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SJ 20711-1998 分步投影曝光机通用规范.pdf

上传人：赵齐羽 文档编号：72939 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：10 大小：383.04KB
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资源描述

本标准规定了分步投影曝光机的分类、要求、质量保证规定和交货准备等。本标准适用于超大规范集成电路(VLSI)和专用集成芯片(ASIC)以及其它器件的微细光刻设备。其它类型的曝光机也可参照使用。

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