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SJ 20844-2002 半绝缘砷化镓单晶微区均匀性测试方法.pdf

上传人：周芸 文档编号：73055 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：12 大小：523.16KB
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资源描述

本标准规定了半绝缘砷化镓晶片中电阻率、碳浓度、EL2浓度和PL谱微区均匀性测量方法。本标准适用于半绝缘砷化镓晶片中电阻率、碳浓度、EL2浓度和PL谱微区均匀性的测定。

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