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SJ 3244.5-1989 砷化镓和磷化铟材料补偿度的测试方法.pdf

上传人：孙刚 文档编号：73864 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：7 大小：217.47KB
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资源描述

本标准适用于n型、P型砷化镓和磷化铟单晶及高阻衬底外延层，载流子浓度在1lO(12)510(15)cm(-3)范围的半导体材料的补偿度的测试分析。原则上也适用于其他V族化合物材料补偿度的测试分析。

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