本标准规定了红外反射法测量重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的测量原理,仪器设备、样品制备、测量步骤。结果计算和精度等。本标准适用于测量重掺砷化镓和磷化锢单晶载流子浓度,也适用于测量外延层的载流子浓度。
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