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SJ T 10311-1992 低压化学气相淀积设备通用技术条件.pdf

上传人：王申宇 文档编号：74888 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：11 大小：348.52KB
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本标准适用于卧式热壁型低压化学气相淀积设备的设计、制造及工艺应用。其它形式的LPCVD设备的研制亦应参照使用。

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