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SJ T 10312-1992 电子束曝光机通用技术条件.pdf

上传人：刘芸 文档编号：74889 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：13 大小：314.62KB
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资源描述

本标准规定了电子束曝光机的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束曝光机。

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