本标准规定了半导体电阻应变计的基本技术要求,质量评定程序和试验方法。本标准适用于以半导体压阻效应为基本原理而制造的半导体电阻应变计,包括体型应变计、扩散型半桥应变计、扩散型全桥(如硅膜片、硅粱、硅柱等)应变计。
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