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SJ T 11183-1998 匀胶设备通用规范.pdf

上传人：花仙子 文档编号：75514 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：9 大小：220.32KB
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资源描述

本标准规定了匀胶设备的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体集成电路、晶体管中的硅片、石英铬板、玻璃板等(以下简称“基片”)的匀胶设备。

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