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SJ T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范.pdf

上传人：王申宇 文档编号：75586 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：11 大小：186.32KB
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资源描述

本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包裝、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备，亦可参照执行。

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