本标准规定了精密硅片磨床的完好要求与检查、评定方法。本标准适用于CM73-型精密硅片磨床。其它类型的硅片磨床也可参照本标准执行。
copyright@ 2008-2019 麦多课文库(www.mydoc123.com)网站版权所有备案/许可证编号:苏ICP备17064731号-1