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YS T 791-2012 铂靶.pdf

上传人：卡尔 文档编号：90126 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：6 大小：80.39KB
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资源描述

本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。 本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材(以下简称铂靶)，其他用途的铂靶材也可参照使用。

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