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GB 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法.pdf

上传人：花仙子 文档编号：95663 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：11 大小：393.42KB
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资源描述

本标准规定了择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。本标准适用于晶向为、或、电阻率为10?m10?m、位错密度在0cm10cm之间的硅单晶锭或硅片中原生缺陷的检验。本方法也适用于硅单晶片。

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