GB T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法.pdf

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资源描述

本标准规定重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法。本标准适用于衬底在23电阻率小于0.02cm 和外延层在23电阻率大于0.1cm且外延层厚度大于2m的n型和p型硅外延层厚度的测量;在降低精度情况下,该方法原则上也适用于测试 0.5m2m之间的n型和p型外延层厚度。

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