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GB T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范.pdf

上传人：赵齐羽 文档编号：102587 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：8 大小：199KB
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本标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。本标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。

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