1、中华人民共和国建筑材料工业部飞子.斗.十1十+部标准厂十一十一十一十一十一十一十一十一十+牛牛JC 226一81QSG3透明石英玻璃柑锅、_、_+_十_十，十_、_、夕本标准适用于半导体工业拉制单晶用的高纯透明石英玻璃柑竭。本增祸采用天然石英熔制成坯体，并在其内表面涂一层高纯人造石英玻璃层一、技术要求1.物理、化学性能指标(1)化学成分a内涂层化学成分铝、钙、镁、钦、铜、铁、钻、镍、锰、硼、钾、钠、锤十三个杂质元素的总含量不得大于。.001000其中:铝(5X10-4%;铜簇0.1X10-,%;铁簇0.5X10-4%;硼提0. 1 X 10-4;钾(1X10-,%;钠成1X10-4%0b.堵涡
2、坯体化学成分铝、钙、镁、钦、铜、铁、钻、镍、锰、硼、钾、钠、锉十三个杂质元素的总含量不得大于。.Ol0oo其中:铝镇60 X 10-4 % ;铜簇0.1X10-400;铁蕊5X10-月 %;硼镇0. 3 X 10-4写;钾(4X10-4%;钠镇4X10-4%0(2)热稳定性试样在1100 C至20C温度急变下试验三次，不产生裂纹。(3)抗结晶性试样在1200C温度下恒温半小时，不允许出现直径大于3毫米的析晶白点，0. 5-3毫米的析晶白点，每100平方厘米不得超过10个。(4)涂层厚度应均匀，折合重量应符合表1规定。表1外径D毫米涂层重t克外径D毫米涂层重t克80 1064.590 11145
3、.5100 1307.02.外观指标(1)柑锅坯体部分(见表2).中华人民共和国建筑材料工业部发布建筑材料科学研究院提出1981年3月1日实施碗筑材料科学研究院起草JC 226一81表2项目气泡直径毫米弧度部分0. 3-0.4直线部分0.3-0.7允许数且(个/厘米2)(6暗疤长径毫米弧度部分1-4直线部分2-4允许数量(条/100厘米z)蕊4色斑丝状长径(毫米)0. 2-1. 5点状直径(毫米)0. 2-0. 8允许数量(个/100厘米x1簇4透明顺粒允许数量(个/100厘米z1簇30波波(毫米)簇0. 3注:缺陷宽度小于点状下限的按丝状计。非圆形缺陷的直径均按算术平均值计(2)柑祸口部不得
4、有缺口，不得有深、宽大于4毫米的表皮崩落。(3)柑塌内表面不允许有色斑沾污和析晶。(4)增祸内表面涂层上每100平方厘米中允许透明颖粒(直径在0.50.7毫米)为10个。二、形状与规格尺寸3.半导体用透明石英玻璃增纲的形状与规格尺寸应符合下图及表3规定。单位:毫米表3外径D高度H底部半径R厚度范围同一横截面厚度公差80_0: s90-批100=丫空106Z了宁114+丫1130,丫160士270士280士390士375士3110士3D-12D-12D-22D-22D-22D-222.0士0.52.0士0.52. 3士0.52.3士0.52.3士0. 52.5士0.50.30.30.30.30. 30. 4494JC 226一81三、试验方法4.化学成分按JC 186-81(石英玻璃原料及制品中微量杂质元素的分析方法中的规定进行5.热稳定性按JC 187-73(石英玻璃热稳定性检验方法中的规定进行。6.抗结晶性按JC 188-73(石英玻璃抗结晶性检验方法中的规定进行。7.气泡按JC 190-81(透明石英玻璃气泡、气线检验方法中的规定进行。
