1、VEREIN DEUTSCHERINGENIEUREVERBAND DERELEKTROTECHNIKELEKTRONIKINFORMATIONSTECHNIKGenauigkeit von KoordinatenmessgertenKenngren und deren PrfungKoordinatenmessgerte mit optischer AntastungLeitfaden zur Anwendung vonDIN EN ISO 10360 fr Koordinatenmessgerte mit optischen Sensoren fr laterale StrukturenA
2、ccuracy of coordinate measuring machinesCharacteristics and their testingCoordinate measuring machines with optical probingCode of practice for the application ofDIN EN ISO 10360 to coordinate measuring machines with optical sensors for lateral structuresVDI/VDE 2617Blatt 6.1 / Part 6.1Ausg. deutsch
3、/englischIssue German/EnglishVDI/VDE-Handbuch Mess- und Automatisierungstechnik, Band 2: Fertigungstechnisches MessenVDI-Handbuch Betriebstechnik, Teil 1: BetriebsmittelVDI/VDE-Handbuch Mikro- und FeinwerktechnikVDI/VDE-Handbuch Optische TechnologienICS 17.040.30Mai 2007May 2007Inhalt SeiteVorbemerk
4、ung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2Einleitung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 Anwendungsbereich . . . . . . . . . . . . . . 32 Normative Verweise . . . . . . . . . . . . . . 43 Formelzeichen und Begriffe . . . . . . . . . . 44 Sensorarten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
5、5 Funktion von Lateralsensoren . . . . . . . . . 75.1 Visuelle Sensoren . . . . . . . . . . . . . . 75.2 Laterale Auswertung bei Abstandssensoren. . . . . . . . . . . . . . 196 Annahmeprfung . . . . . . . . . . . . . . . . 206.1 Antastabweichung . . . . . . . . . . . . . 216.2 Lngenmessabweichung .
6、. . . . . . . . . 277 berwachung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 357.1 Prfkrper. . . . . . . . . . . . . . . . . . 357.2 Durchfhrung . . . . . . . . . . . . . . . . 357.3 Auswertung . . . . . . . . . . . . . . . . . 35Schrifttum. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36Anhang Strukturauflsun
7、g . . . . . . . . . . . . 37A1 Einfhrung . . . . . . . . . . . . . . . . . 37A2 Stand der Technik. . . . . . . . . . . . . . 38Vervielfltigung auchfr innerbetriebliche Zwecke nicht gestattet / Reproduction even for internal use not permittedZu beziehen durch / Available at Beuth VerlagGmbH, 10772 Be
8、rlin Alle Rechte vorbehalten / All rights reserved Verein Deutscher Ingenieure e.V., Dsseldorf 2007Contents PagePreliminary note . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 Scope of application . . . . . . . . . . . . . . 32 Normative references . . .
9、 . . . . . . . . . . 43 Symbols and terms. . . . . . . . . . . . . . . 44 Types of sensor . . . . . . . . . . . . . . . . 65 Function of lateral sensors . . . . . . . . . . 75.1 Visual sensors . . . . . . . . . . . . . . . 75.2 Lateral evaluation with distance sensors . . . . . . . . . . . . . . 196
10、 Acceptance test . . . . . . . . . . . . . . . . 206.1 Probing error . . . . . . . . . . . . . . . . 216.2 Length measurement deviation. . . . . . . 277 Monitoring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 357.1 Test pieces . . . . . . . . . . . . . . . . . 357.2 Performance . . . . . . . . . . . . . .
11、. . 357.3 Evaluation . . . . . . . . . . . . . . . . . 35Bibliography . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36Annex Structure resolution . . . . . . . . . . . . 37A1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . 37A2 State of the art . . . . . . . . . . . . . . . 38Die deutsche Version dieser Richt
12、linie ist verbindlich. The German version of this guideline shall be taken as authorita-tive. No guarantee can be given with respect to the English trans-lation.VDI/VDE-RICHTLINIENVDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA)Fachausschuss KoordinatenmesstechnikFrhere Ausgaben: 06.98;
13、10.05, Entwurf,deutschFormer editions: 06/98; 10/05 Draft, in German onlyB55EB1B3E14C22109E918E8EA43EDB30F09DCCB7EF86D9NormCD - Stand 2012-08All rights reserved Verein Deutscher Ingenieure e.V., Dsseldorf 2007 2 VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1VorbemerkungDer Inhalt dieser Richtlinie ist entstanden
14、 unter sorg-fltiger Bercksichtigung der Vorgaben und Empfeh-lungen der Richtlinie VDI 1000.Allen, die ehrenamtlich an der Erstellung dieserRichtlinie mitgewirkt haben, sei auf diesem Wegeherzlich gedankt.Alle Rechte vorbehalten, auch das des Nachdrucks,der Wiedergabe (Fotokopie, Mikrokopie), der Spe
15、i-cherung in Datenverarbeitungsanlagen und der ber-setzung, auszugsweise oder vollstndig. Die Nutzungdieser VDI-Richtlinie als konkrete Arbeitsunterlageist unter Wahrung des Urheberrechtes und unter Be-achtung der VDI-Merkbltter 1 bis 7 mglich. Aus-knfte dazu sowie zur Nutzung im Wege der Daten-vera
16、rbeitung erteilt die Abteilung VDI-Richtlinienim VDI.EinleitungIn der Richtlinie VDI/VDE 2617 sind Kenngrenzur Beschreibung der Genauigkeit von Koordinaten-messgerten (KMG) festgelegt und Verfahren zu ih-rer Prfung beschrieben. Die Richtlinie besteht ausfolgenden Blttern:Blatt 2.1 Leitfaden zur Anwe
17、ndung vonDIN EN ISO 10360-2 zur Messung vonLngenmaenBlatt 2.2 FormmessungBlatt 2.3 Annahme- und Besttigungsprfung vonKoordinatenmessgerten groer BauartBlatt 3 Komponenten der Messabweichung desGertesBlatt 4 Leitfaden zur Anwendung vonDIN EN ISO 10 360-3 fr Koordinaten-messgerte mit DrehtischBlatt 5
18、berwachung durch PrfkrperBlatt 5.1 berwachung mit KugelplattenBlatt 6.1 Koordinatenmessgerte mit optischerAntastung: Leitfaden zur Anwendungvon DIN EN ISO 10360 fr Koordina-tenmessgerte mit optischen Sensorenfr laterale StrukturenBlatt 6.2 Koordinatenmessgerte mit optischer An-tastung: Leitfaden zur
19、 Anwendung vonDIN EN ISO 10360 fr Koordinatenmess-gerte mit optischen AbstandssensorenBlatt 7 Ermittlung der Unsicherheit von Messun-gen auf Koordinatenmessgerten durchSimulationBlatt 8 Prfprozesseignung von Messungen mitKoordinatenmessgertenPreliminary noteThe content of this guideline has been dev
20、eloped un-der thorough consideration of the requirements andrecommendations of guideline VDI 1000.We wish to express our gratitude to all honorary con-tributors to this guideline.All rights reserved including those of reprinting, re-production (photocopying, microcopying), storage indata processing
21、systems, and translation, either of thefull text or of extracts. This VDI guideline can beused as a concrete project document without infringe-ment of copyright and with regard to VDI notices 1to 7. Information on this, as well as on the use in dataprocessing, may be obtained by the VDI GuidelinesDe
22、partment at the VDI.IntroductionGuideline VDI/VDE 2617 defines the characteristicsused for describing the accuracy of coordinate meas-uring machines (CMMs) and provides descriptions ofthe methods using for inspecting them. The guidelineconsists of the following parts:Part 2.1 Code of practice for th
23、e application ofDIN EN ISO 10360-2 for length measure-mentPart 2.2 Form measurementPart 2.3 Acceptance and reverification checking oflarge coordinate measuring machinesPart 3 Components of measurement deviation ofthe machinePart 4 Code of practice for the application ofDIN EN ISO 10360-2 for coordin
24、atemeasuring machines with rotary tablesPart 5 Interim check with artefactsPart 5.1 Interim check with ball platesPart 6.1 Coordinate measuring machines withoptical probing: Code of practice for theapplication of DIN EN ISO 10360 to co-ordinate measuring machines with opti-cal sensors for lateral st
25、ructuressPart 6.2 Coordinate measuring machines with opti-cal probes: Code of practice for the appli-cation of DIN EN ISO 10360 for coordi-nate measuring machines with opticalsensors for one-dimensional distancemeasurementPart 7 Estimation of measurement uncertainty ofcoordinate measuring machines b
26、y meansof simulationPart 8 Test suitability of measurements with co-ordinate measuring machinesB55EB1B3E14C22109E918E8EA43EDB30F09DCCB7EF86D9NormCD - Stand 2012-08Alle Rechte vorbehalten Verein Deutscher Ingenieure e.V., Dsseldorf 2007 VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 3 Blatt 9 Gelenkarm-Koordinate
27、nmessgerteBlatt 10 Multisensor-Koordinatenmessgerte(in Vorbereitung)Diese Richtlinie ersetzt die Richtlinie VDI/VDE 2617Blatt 6. Im Vergleich zu den alten RichtlinienVDI/VDE 2617 Blatt 6.1 und Blatt 6 ist die Systema-tik gendert worden und die Terminologie wurde andie aktuelle Norm DIN EN ISO 10360
28、angepasst. 1 AnwendungsbereichZweck dieser Richtlinie ist es, fr Koordinatenmess-gerte Spezifikationen und Verfahren zu deren Pr-fung zu definieren. Hierbei wird die Vergleichbarkeitder Kenngren von Koordinatenmessgerten mittaktilen und mit optischen Sensoren sichergestellt.Der Anwendungsbereich bez
29、ieht sich auf Koordina-tenmessgerte jeglicher Bauart mit optischen Lateral-sensoren, das sind senkrecht zur optischen Achsemessende Sensoren. Die Sensoren knnen ber Zu-satzeinrichtungen auch dreh- oder schwenkbar sein.Funktionsweise und Besonderheiten der Sensorenwerden erlutert. In enger Anlehnung
30、an DIN EN ISO 10360-2 werdendie Verfahren fr die Annahmeprfung und fr dieberwachung der Lngenmessabweichung und derAntastabweichung mit Lateralsensoren definiert. DieNormenreihe DIN EN ISO 10360 ist in der bishervorliegenden Form sehr stark an taktilen Sensorenorientiert. Deshalb legt diese Richtlin
31、ie notwendigeErgnzungen fr die Anwendung optischer Sensorenfest:Alternativ zu Endmaen verwendbare NormaleVergleichbarkeit der Kenngren bei Verwendungvon alternativen Normalen (beispielsweise mitkugel- oder zylinderfrmigen Begrenzungsfl-chen oder Chrom-Glas-Strukturen)Vergleichbarkeit der Kenngren be
32、i sensorab-hngig unterschiedlichen Antaststrategien (unter-schiedliche Punkteanzahl, Abdeckungsgrad deranzutastenden Elemente, Nutzung von Zusatzein-richtungen wie Dreh-/Schwenkeinrichtungen)Definition der Kenngren fr unterschiedlicheBetriebsbedingungen Hinweise zum Umgang mit Einflussgren wieUmgebu
33、ngsbedingungen, mathematische Filterund die Oberflchenbeschaffenheit der PrfkrperZur Spezifikation und berprfung von optischenSensoren werden Richtlinien durch OSIS-Arbeits-Part 9 Articulated-arm coordinate measuringmachinesPart 10 Multisensor coordinate measuring ma-chines (in preparation)This guid
34、eline replaces the guideline VDI/VDE 2617Part 6. The systematics have been changed sincethese older guidelines VDI/VDE 2617 Part 6.1 andPart 6 and the terminology updated to conform withthe current standard DIN EN ISO 10360. 1 Scope of applicationIt is the aim of this guideline to define specificati
35、onsand testing methods for coordinate measuring ma-chines. This ensures the comparability of the charac-teristics of coordinate measuring machines with tac-tile and with optical sensors.The scope of application covers coordinate measur-ing machines of all designs with optical lateral sen-sors, that
36、is, sensors measuring vertically with respectto the optical axis. If the corresponding additional de-vices are fitted the sensors can also be rotated or piv-oted. Descriptions are provided about how the sen-sors work and special features they may have. Based closely on DIN EN ISO 10360-2, the proce-
37、dures for the acceptance test and for checking thelength measurement deviation and the probing errorwith lateral sensors are defined. In its previous edi-tions the DIN EN ISO 10360 series of standards wasvery markedly oriented towards tactile sensors. Forthat reason the present guideline provides th
38、e neces-sary additional material relating to the use of opticalsensors:Measuring standards which can be used as an al-ternative to reference gauge blocksComparability of characteristics when alternativestandards are used (for example, with globular orcylindrical boundary surfaces or chrome-glassstru
39、ctures)Comparability of characteristics in the case ofprobing strategies which vary depending on thesensor (different number of points, degree ofmasking of the elements to be probed, use of addi-tional devices such as rotation or pivoting devices)Definition of characteristics for different operat-in
40、g conditionsPractical information on dealing with influencingfactors such as environmental conditions, mathe-matical filters and the surface finish of the testpiecesGuidelines for the specification and checking of opti-cal sensors have been drawn up by OSIS workingB55EB1B3E14C22109E918E8EA43EDB30F09
41、DCCB7EF86D9NormCD - Stand 2012-08All rights reserved Verein Deutscher Ingenieure e.V., Dsseldorf 2007 4 VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1gruppen (Optical Sensor Interface Standard) defi-niert. Diese Richtlinien finden bei der Zusammen-arbeit von Sensor- und Gerteherstellern bei derSystemintegration
42、Anwendung. Sie kommen nichtfr die Spezifikation und berprfung von Koordina-tenmessgerten im Verhltnis zwischen Herstellerund Anwender zum Einsatz.2 Normative VerweiseDIN EN ISO 10360-1:2003-07 Geometrische Pro-duktspezifikation (GPS); Annahmeprfung undBesttigungsprfung fr Koordinatenmessgerte(KMG);
43、Teil 1: Begriffe (ISO 10360-1:2000 +Corr 1:2002) (enthlt Berichtigung AC:2002);Deutsche Fassung EN ISO 10360-1:2000 +AC:2002. Berlin: Beuth VerlagDIN EN ISO 10360-2:2002 Geometrische Produkt-spezifikation (GPS); Annahmeprfung und Best-tigungsprfung fr Koordinatenmessgerte(KMG); Teil 2: KMG angewende
44、t fr Lngenmes-sungen (ISO 10360-2:2001); Deutsche FassungEN ISO 13060-2:2001. Berlin: Beuth VerlagDIN EN ISO 14253-1:1999-03 Geometrische Pro-duktspezifikationen (GPS); Prfung von Werkst-cken und Messgerten durch Messen; Teil 1: Ent-scheidungsregeln fr die Feststellung von ber-einstimmung oder Nicht
45、bereinstimmung mitSpezifikationen (ISO 14253-1:1998); DeutscheFassung EN ISO 14253-1:1998. Berlin: BeuthVerlag3 Formelzeichen und BegriffeFr die Anwendungen dieser Richtlinie geltendie Definitionen aus DIN EN ISO 10360-1,DIN EN ISO 14253-1 und VIM. Ergnzend werdenfolgende Kenngren fr verschiedene Be
46、triebsarten(Antaststrategien) neu eingefhrt:Antastabweichung PF Form (form)PF AntastabweichungPF-2D(OT) zweidimensionale Antastabweichungunter Verwendung der Koordinaten-achsen des Koordinatenmessgertes(optical probing error translatory) zweidimensionale Messung am BildPF(OA) dreidimensionale Antast
47、abweichungunter zustzlicher Verwendung einesDreh-Schwenk-Gelenks (optical pro-bing error articulating) groups (Optical Sensor Interface Standard). Theseare used when the sensor manufacturers and the man-ufacturers of the equipment in which the sensor is tobe fitted are working together on system int
48、egration.These guidelines are not, however, used in the speci-fication and checking of coordinate measuring ma-chines when the two parties concerned are the manu-facturer and the user.2 Normative referencesDIN EN ISO 10360-1:2003-07 Geometrical Prod-uct Specifications (GPS); Acceptance and reverifi-
49、cation tests for coordinate measuring machines(CMM); Part 1: Vocabulary (ISO 10360-1:2000 +Corr 1:2002) (includes Corrigendum AC:2002);German version EN ISO 10360-1:2000 +AC:2002. Berlin: Beuth VerlagDIN EN ISO 10360-2:2002 Geometrical ProductSpecifications (GPS); Acceptance and reverifica-tion tests for coordinate measuring machines(CMM); Part 2: CMMs used for measuringsize (ISO 10360-2:2001); German version ENISO 13060-2:2001
