1、前言本标准是对 吸气剂名词术语的修订本标准对原标准 做了如下修订对气体量 吸附吸收非蒸散型吸气剂吸气剂载体吸气剂支架比吸着容量比含气量 总含气量预处理后含气量总蒸时间起蒸时间及蒸散等术语的名称定义重新进行了改写对某些定义补充出计量单位 例如气体量 漏放率吸气表面吸着容量比吸着容量总吸着容量将 掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法以及 释汞吸气剂性能测试方法释汞吸气剂释汞特性的测试方法 中所涉及的试样释氮吸气动态曲线 释氮量释汞量总释汞量标准释汞量释汞率 释汞特性曲线及释汞吸气剂热稳定性等定义一并列入到本标准中根据近年来相继研制出的一些新的非蒸散型吸气剂增加了一些新的吸气剂术语 例如 低温激活型吸
2、气剂 高温激活型吸气剂高温吸气剂 高牢固度吸气剂 热子型吸气剂 吸气剂泵及耐高温型吸气剂等 此外 还增加了放气量及氢气吸着曲线术语根据 国际单位制及其应用 的规定此次修订统一将各术语单位名称改为国际单位制本标准自实施之日起同时代替本标准由中华人民共和国信息产业部提出本标准由信息产业部电子工业标准化研究所归口本标准起草单位信息产业部电子工业标准化研究所华东电子集团本标准主要起草人李晓英陈金云钱永生本标准于 年 月首次发布中华人民共和国国家标准吸气剂术语代替国家质量技术监督局 批准 实施范围本标准规定了吸气剂一般术语 分类术语及特性术语本标准适用于真空器件用吸气剂一般术语气体量处于统计平衡态的理想
3、气体所具有的动能量度其值等于气体所占有的体积与其压力的乘积 必要时应注明气体温度或换算成 时的数值 单位为帕斯卡立方米 或焦尔吸附相分子已吸附在固体表面上的气体分子气相分子对应于吸附相分子而言处于气体与固体交界面的气体一侧的气体分子气流量单位时间内通过某截面的气体量 单位为帕 斯卡立方米每秒漏放率系统内部因漏气或放气引起的单位时间内气体量的增量 单位为帕斯卡立方米每秒吸附吸气剂或吸气剂膜表面对气体或蒸汽的捕集现象 有时也可以更明确地说成 表面吸附吸收气体或蒸汽扩散进入到吸气剂或吸气剂膜内部的现象吸气吸着由于吸附和吸收现象所造成的对气体和蒸汽的清除过程脱附吸着气体的释放现象脱附速率放气或除气速率
4、在一定压力和温度下单位时间内固体表面脱附的气体体积数 单位为立方米每秒放气真空状态下材料中气体的自发脱附现象除气促使材料中气体脱附的工艺表面扩散吸附相分子沿吸气剂表面的扩散表面扩散活化能单位摩尔气体分子 或原子 由吸附剂表面的一个活性点转移到另一个活性点时所需的最小能量 单位为焦尔每摩尔体扩散气体在吸气剂体内的扩散体扩散活化能单位摩尔气体分子 原子 进行体扩散时所需的最小能量 单位为焦尔每摩尔分类术语吸气剂在一定条件下能有效地吸着某些 某种 气体或蒸汽 以获得维持真空以及纯化气体等的材料制剂或装置吸气材料在一定条件下 对某些某种气体具有特殊活性的材料 实际使用中 可以根据材料的组分 称呼为吸气
5、金属 吸气合金 等吸气剂膜吸气剂中的吸气材料经蒸散后 在沉积面上形成的薄膜单质型吸气剂由单一元素材料制成的吸气剂合金型吸气剂由合金材料制成的吸气剂蒸散型吸气剂需采用蒸散工艺靠吸气材料在蒸散过程中和沉积成膜后才能具有吸气作用的吸气剂反应型吸气剂蒸散时兼有化学反应的吸气剂吸热型吸气剂蒸散时呈吸热反应的吸气剂放热型吸气剂蒸散时呈放热反应的吸气剂非蒸散型吸气剂不需蒸散在一定条件下激活后 即有吸气作用的吸气剂体吸气剂表面与实体都能参与吸气 其吸气特性与体扩散速率关系甚密的吸气剂低温吸气剂经激活后在常温下具备良好吸气能力的吸气剂高温吸气剂经激活后在 以上能充分发挥其吸气性能的吸气剂低温激活型吸气剂在 以下
6、可以有效激活的吸气剂高温激活型吸气剂在 以上可以有效激活的吸气剂高牢固度吸气剂在一定振动条件下 没有超过微米级微粒脱落的吸气剂热子型吸气剂以热子加热方式进行激活的吸气剂吸气剂载体吸气剂容器装载吸气剂载料的器具 其形状有带槽环碟管等 相应称呼为 吸气剂带 吸气剂环 吸气剂碟吸气剂管等电阻加热型吸气剂载体以直接通电加热方式来加热的吸气剂载体 有时也称 开式载体 开式容器感应加热型吸气剂载体以感应加热方式来加热的吸气剂载体有时也称闭式载体 闭式容器吸气剂支架用来将吸气剂安装和定位在真空器件中的辅助件形状有带杆 框等吸气剂支撑用来把吸气剂及其支架如果有的话固定在吸气剂测试泡特定位置用的机构反射器在蒸散
7、型吸气剂蒸散时使吸气材料作定向蒸散的零件吸气剂装置由吸气材料辅助材料载体和其他专用部件组合在一起的综合体 在实际使用中 允许简称吸气剂吸气剂载料装载于吸气剂载体的吸气材料 含掺气合金 和辅助材料的混合物吸气剂装载量装入吸气剂载体中的吸气剂载料的重量 单位为克掺气在蒸散型吸气剂的蒸散过程中 让一定量合适气体同时进入空间的手段 目的在于改善吸气剂膜的结构和分布 用以提高吸气剂膜的吸气能力掺气合金在室温下稳定的加热到一定温度时能释放出适量的被掺气体的合金 如能释放出氮气的合金叫掺氮合金掺气吸气剂含有掺气合金的吸气剂 如采用掺氮合金时 就称掺氮吸气剂延迟掺气吸气剂在蒸散过程中分期释放被掺气体的掺气吸气
8、剂 如采用掺氮吸气剂时 就叫 延迟掺氮吸气剂全产额吸气剂蒸散型吸气剂中吸气材料接近全部蒸散的吸气剂有时也称为全得率吸气剂复合型吸气剂装有蒸散和非蒸散两种类型吸气材料的吸气剂释汞剂经过一定的工艺处理后能获得纯汞的制品释汞吸气剂装有释汞剂的吸气剂碱金属释放剂经过一定工艺处理后能获得碱金属的制品碱金属释放吸气剂将吸气合金作为还原剂的碱金属释放剂吸气剂泵以吸气材料压结带或粉为吸气源的装置可以代替钛升华泵与溅散离子泵配合以获得清洁真空试件焊有热电偶丝的吸气剂试样耐高温吸气剂通过特殊工艺处理 在大气中经受 以上温度一定时间烘烤后仍能满足规定蒸散条件下所具备的质量要求的蒸散型钡吸气剂吸气剂特性术语吸气表面在
9、吸气剂的工作过程中 参与吸气的表面 单位为平方米视在表面积把吸气剂表面视作完全光滑平整的几何表面时所得的表面积 单位为平方米外在表面积直接受到与吸气剂所处空间相同的气体压力作用的吸气表面的面积 其值与表面粗糙因素有关单位为平方米总表面积参与吸气的吸气剂微粒表面积的总和 单位为平方米比表面积吸气总表面积与视在表面积之比 其数值总是大于一孔隙度吸气材料中孔隙的体积占材料几何体积的百分数吸气量吸气剂在一定的时间间隔内所吸的气体量吸气剂疲劳寿终当非蒸散型吸气剂经多次激活或蒸散型吸气剂蒸散后其吸气速率降低到某一规定值时 即称为吸气剂疲劳寿命终了 简称为疲劳寿终吸着容量吸气剂自每次全激活 蒸散后至疲劳寿终
10、所吸的气体量 用来量度吸气剂能够吸着的气体量 单位为帕斯卡立方米比吸着容量单位装载重量吸气材料的吸气容量或单位视在表面积吸气材料的吸气容量 单位为帕 斯卡立方米每克 或帕斯卡立方米每平方米总吸着容量能多次激活再生使用的吸气剂 其各次吸气容量的总和特征吸着容量吸气剂经激活或蒸散启用后直至其吸气速率下降到终端吸气速率时的吸气量一氧化碳吸着容量在室温 下直至达到终端吸气速率为止 所吸着的一氧化碳量吸气速率在一定压力和温度下单位时间内吸气剂吸着气体的体积数 作为吸气剂泵使用时改称 抽速必要时允许两者通用 单位为立方米每秒比吸气速率单位视在表面积吸气剂的吸气速率 或单位重量吸气剂的吸气速率 单位为立方米
11、每秒平方米或立方米每秒克终端吸气速率为了确定吸气剂对某一气体的吸着容量的试验终点人为规定的吸气速率的某一特定值吸着速度单位时间内吸气剂所吸着的气体量 单位为帕斯卡立方米每秒 或帕斯卡升每秒吸气能力吸气剂的吸气速率和吸着容量的综合能力用来评价吸气剂的工作效能和寿命吸着特性曲线以吸气剂的吸气速率为纵坐标 以其吸气量为横坐标所绘制的双对数关系曲线一氧化碳吸着曲线吸气速率的对数值对一氧化碳吸气量对数值的曲线 轴表示吸气量 其范围由零到理论容量值 轴表示吸气速率 的对数它必须至少包括四个数量级 该曲线用来比较各种类型吸气剂的特性 确定吸气剂在特定真空器件内的工作性能 以及研究吸气剂膜的吸气机理氢气吸着曲
12、线吸气速率的对数值对氢气吸气量对数值的曲线 轴表示吸气量 其范围由零到理论容量值 轴表示吸气速率 的对数 它必须至少包括四个数量级 该曲线用来比较各种类型吸气剂的特性确定吸气剂在特定真空器件内的工作性能 以及研究吸气剂膜的吸气机理吸气剂老化吸气剂吸气能力的变劣现象吸气剂稳定性吸气剂在某种环境中的理化性能的稳定程度放气量吸气剂在蒸散或激活过程中所释放出来的 折合成氮当量 或氢当量 的气体量 蒸散型吸气剂的放气量分为总放气量和预处理后放气量非蒸散型吸气剂的放气量就是总放气量 单位为帕 斯卡 立方米总放气量蒸散型吸气剂从室温开始加热到起始蒸散前或激活全过程中 所释放的折合成氮当量 或氢当量的气体量
13、单位为帕 斯卡 立方米预处理后放气量蒸散型吸气剂在动态真空条件下经 除气后让其冷却到 以下时再开始加热到起始蒸散前所释放的 折合成氮当量的气体量 单位为帕斯卡 立方米比放气量吸气剂单位装载重量或单位面积 的总放气量或预处理后放气量 单位为帕 斯卡立方米每克或帕斯卡 立方米每平方米掺氢量掺氢吸气剂中所含被掺氢气的量 单位为帕 斯卡立方米掺氮量掺氮吸气剂中所含被掺氮气的量 单位为帕 斯卡立方米含钡量含钡吸气剂载料中金属钡所占的重量 单位为克得钡量从含钡吸气剂中蒸散出来的钡量 单位为克得钡率得钡量与含钡量之百分比钡膜分布含钡吸气剂蒸散后 金属钡在沉积区的分布状态钡膜纯度钡膜中不受铝镍等杂质污染的程度
14、得钡量一致性依据标准工艺规范 以恒定的起蒸时间所对应的加热功率 恒定的总蒸时间 先后蒸散九个以上的吸气剂所得起蒸时间和得钡量的标准离差表面吸附决定区吸气剂的吸着速度决定于表面吸附速度时的时间区间扩散决定区吸气剂的吸着速度决定于扩散速度时的时间区间转换温度从表面扩散为主转换到体扩散为主的温度蒸散因受感应加热或电阻加热而引起的蒸散型吸气剂内所含吸气材料的蒸发现象蒸散条件指用电阻加热装置或感应加热装置频率必须在 使蒸散型吸气剂蒸散时所规定的起蒸时间和总蒸时间总蒸时间蒸散型吸气剂加上加热功率期间的全部时间间隔 单位为秒起蒸时间用肉眼观察蒸散型吸气剂被加热至蒸发的那一瞬间称为开始蒸散 从加上加热功率到开
15、始蒸散即闪亮 的时间间隔即为起蒸时间 单位为秒得钡量报告标明如下项目数据和曲线的报告得钡量得钡率得钡量一致性蒸散曲线蒸散曲线得钡量曲线以总蒸时间为参变量得钡量为纵坐标起蒸时间为横坐标所绘制的曲线 用此可评述各种钡蒸散型吸气剂的得钡量特性 并据此以制定最佳蒸散工艺规范热蒸散当沉积区温度超过 时进行蒸散型吸气剂蒸散的工艺冷蒸散当沉积区为室温或接近室温时进行蒸散型吸气剂蒸散的工艺过蒸散蒸散过程中由于蒸散温度过高等原因所造成载料中的铝镍以及载体金属等的过量蒸发蒸散区间适当地选择合乎实用的起蒸时间和总蒸时间的不同组合使得钡量在某一规定的范围内 反映在蒸散曲线上这种不同组合所对应的区间称为蒸散区间 从蒸散
16、区间探讨中 可提供获得高得钡量的最佳工艺规范激活在一定真空度下 将吸气剂加热到一定温度并保持一定时间从而使吸气剂具有吸气能力的工艺全激活使吸气剂获得最大吸气能力的激活部分激活未达到最大吸气能力的激活激活温度使吸气剂达到激活目的的温度激活时间吸气剂加温激活时 保持激活温度的时间再生将工作后已失去吸气能力的吸气剂再次激活以恢复吸气能力的工艺加温再生在一定真空度下借提高温度以完成再生的工艺降压再生在一定温度下借提高真空度以完成再生的工艺释氮吸气动态曲线掺氮吸气剂蒸散过程中静态测试容器内压力随时间变化的曲线 它可以形象地描述和准确地折算掺氮吸气剂试样在显像管等真空器件内蒸散过程中压力的变化情况释氮量掺
17、氮吸气剂试样在蒸散时所释放出的氮气量释汞量在给定条件下 从释汞吸气剂中释放出的汞量总释汞量释汞吸气剂在压力低于 温度 保温 条件下所得的释汞量标准释汞量释汞吸气剂在 氩分压力的真空中经历一定升温规范的过程后所得的释汞量 因其测试条件与实际使用情况接近为选择释汞吸气剂用量提供了依据释汞率释汞吸气剂在压力低于 时在设定温度下保温 后释汞量与同批释汞吸气剂平均含汞量的百分比释汞特性曲线释汞吸气剂加热温度 释汞率曲线 它综合表征释汞吸气剂释汞性能的优劣释汞吸气剂热稳定性释汞吸气剂在应用中可能经历的工艺过程内由于温度的影响所引起的预先释汞的程度 用释汞吸气剂在压力低于 温度 保温 条件下所得的释汞量来表
18、示附录标准的附录汉语索引钡膜纯度钡膜分布比表面积比放气量比吸气速率比吸着容量标准释汞量表面扩散表面扩散活化能表面吸附决定区部分激活掺氮量掺气掺气合金掺气吸气剂掺氢量除气单质型吸气剂得钡量得钡量报告得钡量曲线得钡量一致性得钡率低温吸气剂低温激活型吸气剂电阻加热型吸气剂载体反射器反应型吸气剂放气放气或除气速率放气量放热型吸气剂非蒸散型吸气剂复合型吸气剂感应加热型吸气剂载体高牢固度吸气剂高温吸气剂高温激活型吸气剂过蒸散含钡量合金型吸气剂激活激活时间激活温度加温再生降压再生碱金属释放剂碱金属释放吸气剂孔隙度扩散决定区冷蒸散漏放率耐高温吸气剂起蒸时间气流量气体量气相分子氢气吸着曲线全产额吸气剂全激活热蒸
19、散热子型吸气剂释氮量释氮吸气动态曲线释汞剂释汞量释汞率释汞特性曲线释汞吸气剂释汞吸气剂热稳定性试件视在表面积特征吸着容量体扩散体扩散活化能体吸气剂脱附脱附速率外在表面积吸附吸附相分子吸气吸气表面吸气材料吸气剂吸气剂泵吸气剂老化吸气剂膜吸气剂疲劳寿终吸气剂容器吸气剂稳定性吸气剂载料吸气剂载体吸气剂支架吸气剂支撑吸气剂装载量吸气剂装置吸气量吸气能力吸气速率吸热型吸气剂吸收吸着吸着容量吸着速度吸着特性曲线延迟掺气吸气剂一氧化碳吸着曲线一氧化碳吸着容量预处理后放气量再生蒸散蒸散区间蒸散曲线蒸散条件蒸散型吸气剂终端吸气速率转换温度总表面积总放气量总释汞量总吸着容量总蒸时间附录标准的附录英文索引GB/T
20、4314-2000 doped g出.u.u.u.u. 3. 27 E elementary getter . .u.u. 3.4 endother宜licgetter . . 3. 8 end po坦tgettering rate . . .u. 4. 16 external superfic坦1area . .u.u. 4.3 exothermic getter .u.u. 3. 9 F feature sorption四pacity. 4. 12 flash getter . .u. . 3. 6 flashing . 4. 39 flashing characteristics .u.
21、u. 4. 44 barium yield curve . .u. . 4. 44 H嗣h妇且ndition. u. . . 4.40 flashing interval . . . 4. 48 fractionary actiwtion . 4. 51 full activation . . 4. 50 G gas molecule in s归国. 2. 3 gas quantity . . . . 2. 1 getter 3.1 getter carrier . . . 3. 18 getternt挝ner. . . 3. 18 getter device . . . 3. 24 gett
22、er fill . 3. 25 getter film . . . 3. 3 getter for high firmness . . 3. 16 getter for high temperatures . . . 3. 13 5 getter for high temperatures activation . . 3. 1臼9 get忱te盯rfor hi毡且ht恒empe世:ra副.ture-res盟tin且. . . . . . 3缸.3臼gette盯rfor low t恒empe町ra剖tu田re囚s. . . . . 3丘.122 E供ette盯rfor low te阳宜m咱pe
23、町ra创tu盯re臼sa胆ctiv咽a副tio侃n. . 3且.144 8 且et忱te盯T扭且abi血lity.OU. .OU. O. .OU. . 4.18 gette盯ri扭n吕material. . . .u. 3.2 ge眈tt胆er由i扭n珞且quanti扯ty.OU. . .OU. .OU. 4.7 Eet忱te盯r扭旦rat恒e.OU. .u. u. .u. . 4.14 4 s醉ette町rmo叫unt. . 3.22 2 且et忱te盯rpump.u. .u. u. .u. . 3缸.3盯7 getter support . 3.21 getter surface . .
24、. 4.1 12 GB/T 4314-2000 getter with alkali metal dispenser . 3. 36 getter with the delaying gas doped DGD . . 3.30 getter with the gas doped . 3. 29 getter with the mercury dis penser 3.34 H hot flashing .u.u. . . 4. 45 hot reactivation 4.55 hydrogen content of getter with hydrogen doped . . . 4. 28
25、 hydrogen sorption curve . .u. u. . . 4. 21 I induction heating明rrler.u. . 3.20 interval determined by diffusion . . . 4. 37 interval determined by surface adsorption .O. . . 4. 36 L leak-up rate .O. . 2. 5 M mercury dis penser . . 3. 3岱3 me町.rc-四ur厅y-rel回sed吐u缸皿ltity. .OU. O. .OU. . 4.5囚9 me町rc叩:ur
26、厅y-rel盹sedrat阳e. . 4. 6臼2 me町.rc-四ur巧yy抖i垃刨eldchar acteris tic c-四urv皿on. . 2乙.1曰3 T the fatigue deadline of getter 4.8 thermal stable for getter mercury dispenser . 4. 64 therm坦torgetter . . 3. 17 throughput . . . . 2. 4 t归。ta副1ar阻ea. .OU. . .OU. .OU. 4.4 to叫ta副1mercury-released qu田m直u削ti扯ty. . . 4. 6创0 total out饱且a嗣ssmgqu田m卫M血ti址ty. .OU.
