1、llDC 621. 38. 032. 1 : 620. 1 L 32 GB 中华人民共和国国家标准吸气剂性能测试方法Test method of getter properties 1988-06-251发布1988-12-01实施筐东标准.，发布050928071681 GB 9506. 1-88 GB 9506. 2-88 GB 9506. 3-88 GB 9506. 4-88 GB 9506.5一-88GB 9506. 6-88 GB 9506. 7-88 GB 9506.8一-88GB 9506. 9-88 GB 9506. 10一-88GB 9506.门-88目录吸气刑性能测试方法通
2、则. ( 1 ) 蒸散型顿吸气剂得顿量测试方法.(5) 蒸散型锁吸气剂载料和膜中顿量的测定.(10) 吸气剂放气量测试方法. .,. .,. (1 4) 掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法.(20) 掺氮吸气剂顿膜分布测试方法.，.(25) 蒸散型顿吸气剂吸气性能测试方法.，.(30) 非蒸散型顿吸气剂吸气性能测试方法.(37) 吸气剂装载量测试方法.(42) 吸气剂压制或烧结牢固度测试方法. . . . . . . . . . . . . . . (44) 吸气剂支架焊接强度测试方法.，.(47) 中华人民共和国国家标准吸气剂性能测试方法通则Generic rules for test me
3、thod of getter properties 本标准规定了吸气剂性能测试中必须共同遵守的测试条件、辅助工艺规程以及对主要测试设备的要求，适用于吸气剂产品性能的测试。1 引用标准GB 3H 中华人民共和国电子工业部1988-04-04批准1988-12-01实施GB 9506. 1-88 洗涤液配方E蒸馆水z硝酸=氢氟酸=27I 12 : 1 (容积比)d. 政璃器皿清洗常规玻璃洗涤液浸泡流水冲洗烘干。4 对主要测试设备的要求4. 1 高频感应加热器频率应介于250.450kHz之间。输出功率稳定。4.2 高频感应线圈4.2. 1 同轴蒸散的圆筒式螺旋管线圈的尺寸见附录A。4.2.2 切向
4、蒸散的双层盘香形线圆的尺寸见附录A。4. 3 秒表精度应优于O.1 s。4. 4 定时器梓度应优于O.5旦。4.5 真空计全程响应时间应不大于O.1 s.真空计计量须经氮气校准z受试气体种类不同，真空计读值需作相应修正;电离计规管应以在发射电流尽可能小的情况下工作，以保证测试精度。4.6 记录仪用以记录GB9506. 5 掺氮股气剂释氮-吸气动态曲线测试方法、GB9506. 4 吸气剂放气量测试方法、GB9506. 7 蒸散型吸气剂吸气性能测试方法和GB9506.8非蒸散型吸气剂吸气性能测试方法等测试过聘中的压力变化。全程响应时间必须短于0.5s.信号应自真空计取出，零点和满度应事先与真空计联
5、用校准。若作质谱分析时，其灵敏度也需事先校准。4.6.1 对GB9506. 5和GB9506.4测试用记录仪的记录纸走速在1.0mm/s范围内可调。4.6.2 对GB9506.7和GB9506. 8测试用记录仪应备双笔，一笔记录供气端压力值，另一笔记录试样室压力值。记录纸走速在10.50mm/min范围内可调。4.7 分析天平感量不大于O.1 mg. 4. 8 交流稳压器为保证测试精度，必要时，供应的电源需经交流稳压器稳压，但此设备与;fi1试仪表二间距离不得小于1m。4. 9 盛装试样的器皿经清洁处理后的玻璃或搪瓷器皿。4. 10 电位差计用以测量试样的温度，其精度等级应优于0.5级。5 漏
6、放率测定5. 1 方法先将试样室按常规排气程序，抽至所规定的真空度之后，用适当的阀门把试样室与排气系统隔离，记录试样室中由初始经历规定时间到结束时的气体压力增长值，以计算漏放率。5. 2 计算式中:QL一一试样室的漏放率，Pa.ml/s; JI一一-试样室的容积，ml，2 QL = V(Pr - P)/t P，一一试样室中的最终气体压力，Pa，Pi一一试样室中的初始气体压力，Pa;t一一-由Pi增至P，所经历的时间，S。8 吸气剂蒸散G9506. 1-88 6. 1 起蒸时间、也蒸时间以及高频感应加热时所用频率值均应711叫造了4的推荐值。加热过程中须注意加热试样升温的均匀性、吸气剂载料的松落
7、现象以及气体放电的情况。b. 2 对于吸热型呗气剂，当试样室内壁上凭肉眼观察到出现薄膜的瞬间，即表示吸气剂蒸散开始。6. :5 对于放热型吸气剂，凭肉眼观察到吸气剂填料表面温度出现剧升的瞬间，即表示吸气剂蒸散开始。7 非蒸散型吸气剂的激活激活温度、激活时间和真空度均应为制造厂的推荐值。激活之前，应按制造厂提供的陈气条件进行预除气。8 温度测量8. 1 测量吸气剂的温度应采用丝径为0.3mm的锦锚-fc桌硅热偶或丝径为O.I mm的相姥-1-(1热偶。其长度不得短于40mm. 8. 2 环状吸气*，J热偶直接点焊在环的侧面或底部。8. 3 热子型吸气剂先将热偶焊在锦带(宽.5 mm左右，厚0.2
8、mm)上，再将锦带卷紧在热子型吸气剂中$。9 安全9. 1 在某些项目的测试过程中，必须有适当的防爆措施。9.2 清洁处理过程中，应注意za. 配制化学清洁剂时，取用各化学试剂的先后顺序;b. 化学清洁剂的保管和废液的回收;C. 人身不受危害Fd. 在通风柜中进行。10 环境测试环境与生产线上取用吸气剂时的常规环境相当。如能装置空调设备则更好。3 GB 9506. 1-88 附录A高频感应线圈的推荐尺寸1)，(参考件)内径高序号各种用途的吸气剂4 1 收讯管用吸气剂2 35mm管径黑白显象管用吸气剂3 28.5mm管径黑白显象管用吸气剂4 彩色显象管用吸气剂5 彩色显象管用吸气剂6 示波管用吸
9、气剂注:1)线圈由3mm的紫铜管绕成;2)两层线圈，每层3-5阁.附加说明z本标准由南京工学院起草。本标准主要起草人z莫纯昌.mm) 23 51 38 70 51 度圈数备注16 3.5 22 5.5 16 5.5 同轴蒸散22 5.5 15 6-102) 切向蒸散T由r-0的白.-cmmmu 中华人民共和国国家标准吸气剂性能;IJ试方法G臼506.1-9506.门-88 电子工业出版社出版(北京万寿路27号)河北省清河县印刷厂印刷中国电子技术标准比研究所发行版权专用不得翻印 开本:88川2301/16印张3字数:97千字1990年7月第一版1990年7月第一次印刷印数:1一1000册定价:4.70元 ISBN 7-5053-1185-9/TB 237
