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JC 179-1981 QSG1、QSG2透明石英玻璃坩埚.pdf

上传人：李朗 文档编号：49433 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：3 大小：63.85KB
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资源描述

本标准规定了QSG1、QSG2、QSG3三种透明石英玻璃坩埚的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体工业生产单晶硅用的透明石英玻璃坩埚。

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