1、ICS 7712099H 68 囝寓中华人民共和国国家标准GBT 23611200920090415发布金 靶 材Gold target2010-0201实施宰瞀鹘鬻瓣警矬瞥星发布中国国家标准化管理委员会“刖 昌GBT 2361 12009本标准由中国有色金属工业协会提出。本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。本标准由北京达博有色金属焊料有限责任公司参与起草。本标准主要起草人：闫琳、江轩、吕保国、熊晓东、尚再艳、杨永刚、杨顺兴、杜连民。1范围金 靶 材GBT 236112009本标准规定了金靶材要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订
2、货单(或合同)内容。本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材(以下简称金靶材)。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GBT 4134金锭GBT 110665金化学分析方法银、铜、铁、铅、锑和铋量的测定原子发射光谱法GBT 15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法3要求31产品分类金靶材的类型按金的纯度分为IC-Au9999、IC Au99999二种。金
3、靶材的形状主要为圆盘状，尺寸主要有直径：100 mm、125 him、150 ttlm、200 rtlm、250 mm、300 mm，厚度通常为3 mm6 mm。经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的金靶材。32化学成分金靶材IC-Au9999的化学成分应符合GBT 4134的规定。金靶材IC_Au99999的化学成分应符合表l的规定。表1 金靶材IC-Au99999的化学成分 元素 Ag Cu Fe Pb Bl Sb Si Pd质量分数，不大于 0000 5 00001 0 000 3 00001 O0001 00001 0000 3 00001元素 Mg As Sn Cr Ni Mn 杂质
4、总量质量分数，不大于 00001 00001 00001 00001 00001 00001 0001注：需方对某种特定杂质元素含量有要求的，由双方协商解决。33供货状态金靶材以加工态供货。34几何尺寸金靶材的几何尺寸及其允许偏差应符合表2的规定。表2金靶材的几何尺寸及其允许偏差 单位为毫米直 径 厚 度尺寸 允许偏差 尺寸 允许偏差100 土01125 0 136 士01150 土01200 土015GBT 236112009表2(续) 单位为毫米直 径 厚 度尺寸 允许偏差 尺寸 允许偏差250 士o 1536 士o1300 士o1535表面粗糙度金靶材表面粗糙度Ra值应不大于16 pm。
5、36外观质量金靶材表面应无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷。金靶材表面应无拉伸润滑痕迹，颗粒附加物和其他沾污。金靶材表面应清洁光滑，无指痕，无油污和锈蚀。37内部质量金靶材的内部质量不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷，由供方的生产工艺保证。4试验方法4，1 金靶材IC Au9999的化学成分的分析方法按GBT 110665执行，金靶材IC-Au99999的化学成分分析方法按供需双方协商决定。42金靶材几何尺寸的测量按GBT 15077规定进行。客户特别要求，可按技术协议或按需方图纸、来样检查。43表面粗糙度由表面粗糙度仪检测。44外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。5检验规则5
6、1检验和验收5，11产品应由供方质量检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准(或订货合同)的规定，并填写质量证明书。512需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准(或订货合同)的规定不符时，应在收到产品之日起三个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需方场所共同进行。52组批产品应成批提交验收。每批应由同一炉号、状态和规格的产品组成。53检验项目及取样检验项目、取样位置及数量应符合表3的规定。表3检验项目、取样位置及数量检验项目 取样位置 取样数量 要求的章条号 检验的章条号化学成分 缩孔下 逐锭 32 41几何尺寸 任意部位 逐件 34 42
7、表面粗糙度 任意部位 逐件 35 43外观质量 任意部位 逐件 36 4454检验结果的判定541化学成分不合格时，判该锭不合格。542几何尺寸不合格时，判该件产品不合格。Z543表面粗糙度不合格时，判该件产品不合格。544外观质量不合格时，判该件产品不合格。6标志、包装、运输、贮存GBT 2361 1200961标志在已检验合格的每批产品上应附有如下标记：a)产品名称；b)纯度；c)类型、规格；d)数量；e)净重；f)批号；g)生产Et期；h)供方名称；i)生产厂家地址电话。62包装、运输和贮存621 产品用二层防静电塑料袋真空封装，并放在防止碰撞的包装盒内。622每批产品应附标签，注明：产品名称、靶材纯度、批号、规格、状态、净重、毛重、生产Et期。623产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，不得损坏和沾污产品，并保证运输过程中靶材完整。624产品应保存于清洁的环境中。63质量证明书每批产品应附有质量证明书，注明：a)客户名称；b)供方名称；c)产品名称；d)纯度；e)类型、规格；f)数量；g)净重；h)批号；i)检测报告和质量检验部门印记；j)生产日期；k)执行标准号。7订货单(或合同)内容订购本标准所列产品的订货单(或合同)内应包括下列内容a)产品名称；b)纯度；c)供货状态；d)规格；e)数量；f)执行标准号；g)其他。
