1、ICS 23.160 J78 备案号: 中华人民共和国机械行业标准JBfI 10553-2006 真空技术扩散硅压阻真空计Vacuum technology - Piezoresistive siIicon cbip vacuum gauge 2006-05-06发布2006-10-01实施中华人民共和国国家发展和改革委员会发布11 1111111111111 061025000028 JBII 10553-2006 目次皿1J122222233566777784455路路电山电试类试测分测度由卡路性定路部求黠法存电定稳电件规类要术法方贮试稳源试文阻分术技方验和测数电测用义压的技的验试儿验验装
2、差参作差引定类硅f求的f法试怡贝检检包误电工误础制时叫她相脯腔航脯黯蝴旷斟志胁俄叶群脯鹏因在范规术产!技试检扫1234叶顷且句41吨，缸且吨J缸且呵，缸且、43职12344.451167118&缸汇图图图图JBtr 10553-2006 -E A刚本标准由中国机械工业联合会提出。本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC厅c18)归口。本标准负责起草单位:沈阳真空技术研究所。本标准主要起草人:吴春阳、苏玉摔、付晓东、王晓莉。本标准为首次发布。m JB/f 10553-2006 真空技术扩散硅压阻真空计1 范围本标准规定了扩散硅压阻真空计(简称真空计的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志
3、、包装和贮存等。本标准适用于测量压力为(100-1 X 105) Pa的扩散硅压阻真空计。2 规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB厅191包装储运图示标志(GB厅191-20，eqv IS0780: 1997) GB厅2829周期检验计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验)GB厅3369工业自动化仪表用模拟直流电流信号GB厅3370工业自动化仪表用模拟直流电
4、压信号GB厅4982真空技术快卸连接器尺寸第1部分z夹紧型(GB厅4982-23，ISO 2861-1: 1974, IDT) GB厅6070真空法兰(GB厅70-一1995，eqv ISO 1609: 1986) GB厅6107使用串联二进制数据交换的数据终端设备和数据电路终接设备之间的接口(GB厅6107-2000, idt EIA厅IA-232-E)GB厅6587.2-1986电子测量仪器温度试验GB厅6587.3-1986电子测量仪器湿度试验GB厅11014平衡电压数字接口电路的电气特性(GB厅11014-1989，吨vEIA RS-422-A: 1978) GB厅154仪器仪表包装通
5、用技术条件m厅8105.1橡胶密封真空规管接头B厅9329仪器仪表运输、运输贮存基本环境条件及试验方法EIA厅IA-574使用串联二进制数据交换的数据终端设备和数据电路终接设备之间的9插针非同步接口3 术语和定义3.1 3.2 3.3 下列术语和定义道用于本标准。扩散硅压阻真空计piezor回stivesilicon chip vacuum gauge 利用扩散硅压力敏感电阻测量压力的一种真空计，由扩散硅压阻规管和真空计电路组成。真空计电路gaugecircuit 为真空计的一部分，它由真空计控制单元和真空计指示单元组成。标准环境温度standard ambient tempera缸温度为(2
6、3:1:3).C。JBff 1055各-20064产晶分类4.1 扩散硅压阻规管(以下简称规管的分类规管按其输出方式分为:a)电压输出;b)电流输出。4.2 真空计的分类真空计按输入信号分为:a)电压信号输人:b)电流信号输人。5 技术要求5.1 规管的技术要求5.1.1 工作环境规管在下述环境下应能正常工作.a)环境温度:(040)它b)相对湿度:不大于85悔(2S时)。5.1.2 外观规管外壳应光洁无裂纹、i锈斑等缺陷.5.1.3绝缘电阻规管引出线与金属外壳4间的绝缘电阻不得小于10MQ.5.1 .4 连接规管与真空系统连接部分应满足下述要求:a)连接部分为圆形管道时，管道外径应为(15.
7、5:!:0.5)rnm; b)连接部分为法兰连接眈法兰应绞jSL旦08且旦rr6070的规定:c)采用其他连接方式时.1应符合m厅8105.1的规定Ed)连接部分表面不应有影响密封性能的划伤或几何变形等现象.5.1.5气密性规管对氮气的漏率应不大于lO-8pa m3 S-1数量级。5.1.6基本误差在标准环境温度下，当压力在(1.1X 105) Pa范围时，规管的基本误差为:!:0.5%(满度。5.1.7 规管电参数稳定性测试当规管电源电压变化:!:5%时，规管零点输出和满量程输串的变化量不超过士0.25%(胁。5.1.8 抗运输环境性能规管在包装运输条件下，应能符合时仰的要求。或中z噎温试验
8、选用550C;低温试验选用-40.C;跌落高度为25伽m。试验后，规管应满足本标准5.1.2、5.1.4和5.1.6的要求。5.2 真空计的技术要求5.2.1 工作环境2 真空计应在下述环境条件和供电电源下应能正常工作:a)环境温度:(o40) .C。b)相对湿度:不大于85%(25.C时)。c)电源电压:使用交流电源时，公称值为220V.频率50Hz.电压变化应不大于士10%;使用直流电源时，公称值由生产厂家规定，一般低于48V.并且优先采用5V、12V、24V、36V、48VJB厅10553-2006等电压值，电压变化应不大于士5%。5.2.2 外观a)真空计外壳及零部件的表面应处理良好，
9、标志的文字和符号均应清晰:b)显示器应元缺段、缺字等现象:c)真空计的开关、旋钮、指示灯、熔断器、电缆和附件等均应齐全、完好，所有紧固件不得松动脱落。5.2.3 真空计的规管工作电源在标准环境温度下，真空计提供规雀工作电源电厚的稳定度应满足下述要求:a)当电源电压为220V士22V;r.t.规管工电源!t!压的变化不应超是止1%;b)电源电压为220V，电路通电lh后，规管二E作电源电压的变化不J扭过:!:1%;c)使用直流电源供电，当电源电压变化:!:5%时，规管主作电源电压的、化不应超过:!:1%;使用直流电源供电，电#阳为公缚带面:丑飞飞飞附路蜘i通疆电临规管作饷电源源屯压酣的变蜘化不础
10、应超剧过卅1阶%5.2.4 真空计的匹配误差在标准环境温度下，当真信计输本零点标称信号值电压或电流时，似表显示值的误差不得超过:!:0.2% (满度)。在标准环境温度下，当真拉计输丰满量程标摊号毒(电压或电和时.1仪表显示值误差不得超过:!:0.2% (满度)。5.2.5 极限偏差在标准环境温度下，真空肘示值误差应不超过下述范围z当压力在(100- 1 X 105) I Pa范围内时，士0.5%(满度)05.2.6 输出信号当真空计有输出信号时，应满足下列要求:a)真空计模拟直流电压信号范围应符合GB厅3370的规定，真空计模拟直流电流信号范围应符合GB厅3369的规定。b)真空计输出数字的编
11、哼优先采用古CD码7并列出逻酌JU状态的电平假负载能力。真空计的数字通信接司，建议优先采用RS232C和RS422接口.采用25针RS232C接口应符合GB厅6107，采用9针RS232C接口应符合EIAITIA-574的规定，采.13RS422接口应符合GB厅11014的规定。5.2.7 控制性能对于带有控制功能的真空计，产品使用说明书中应标明控制方式、拉制范甲、动作误差和负载能力。动作误差不应超过示值的:!:5%。5.2.8 抗运输环境性能黯计在运输包装条件下，应能符合时93州要求，革中z高温试就用饥低温试验选用-40.C，跌落高度为25伽m。试验后，真空计能满足本标准5.2.2和5.2.
12、5的要求。6 试验方法6.1 规管试验方法6.1.1 规管是否符合5.1.2的要求，用目测或相应的测量工具来进行检查。6.1.2 规管是否符合5.1.3的要求，用绝缘电阻表测量。6.1.3 规管是否符合5.1.4的要求，观察和游标卡尺来进行检查。6.1 .4 规管是否符合5.1.5的要求，在相应灵敏度的的氮质谱检漏仪上进行检查。6.1.5 规管的基本误差是否符合5.1.6的要求，采用下列方法和装置进行测试:3 JBIf 10553-2006 6.1.5.1 计算单个规管的基本误差，按式(1)进行:. = O:! -0，标Xl%. . . (1) 。曾1lJl:-0零点式中t.11一一基本误差，
13、%; 01一一测试点测得实际电压值或电流值，单位为V或A;饰一一测试点对应的标准电压值或电流值，单位为V或A;0树皮一一满度对应的标准电压值或电流值，单位为V或A;O零点一一零点对应的标准电压值或电流值，单位为V或A。测试点应包括规定的上限值和下限值，并且每个量级至少取三个测试点.6.1丘2测试采用直接与真空标准仪器或装置比较的方法。真空标准仪器或装置的不确定度应不超过土5%。6.1丘3测试用的气体为氮气(纯度不低于99.9%)。6.1丘4测试时，规管必须按产品规定的方法安装。6.1.5.5 测试在标准环境温度下进行，测试过程中变化不超过士1C。测试室温度必须与环境温度达到平衡，尽量避免热辐射
14、和气流对规管的影响。6.1.5.6 测试用的测试线路如图1所示。负载圈中gu一一真空计供给规管工作电源;V-4位半数字电压表;A一-4位半数字电流表:PP-一规管的工作电源输人端;00-规臂的输出端.固1基本误差测试电路6.1.5.7测试时，每一测试点的读数应在测试室压力稳定308后读取。6.1.6 规管是否符合5.1.7条的要求，即规管工作电源电压变化为公称值的土5%时，规管的零点、满度输出信号偏差不超过土0.25%满度。测试方法如下t4 a)将规管连接到真空系统上，按图2线路连接规管:E E 图中zE一一可调直流稳压电源;v!一位半数字电压表;V-4位半数字电压表tA一-4位半数字电流表;
15、S一一单刀开关;PP-一一规管的工作电源输入端:00-规管的输出端。圄2规雷电参数稳定性测试电路负载JBtr 10553-2006 b)在零点压力点调直流电源E使电压表VIN显示为规管工作电源电压士5%值时，读取V或A值(即为测得实际电压、电流值01); c)在满度压力点调直流电源E使电压表VIN显示为规管工作电源电压士5%值时，读取V或A值(即为测得实际电压、电流值01); d)按公式(1)计算输出信号偏差。6.1.7 规管是否符合5.1.7的要求，按皿厅9329规定的方法进行测试，然后按本标准6.1.1、6.1.3、6.1.5进行测试。6.2 真空计试验方法6.2.1 真空计是否符合5.2
16、.1的要求，按GB厅6587.2和GB厅6587.3的规定测试:温度选GB厅6587.2-1986中第1章II组工作范围，按第3章试验方法:湿度选GB厅6587.3-1986中第1章I组工作范围，按第3章试验方法，条件平衡后的性能试验项目为本标准6.2.3.6.2.2 真空计是否符合5.2.2的要求，用目测方法来进行测试。6.2.3 真空计是否符合5.2.3的要求，所用线路如图3所示。按5.2.3的a)、b)、或c)、d)项进行测试。图中gTY-自捐调压器，OV-250V; V)一-一级交流电压表，OV-250V; V-4位半数字万用表:V2-4位半数字电压表;Ir-真空计电路;E)一一可调直
17、流电源:PP-一规管的工作电源输入端;00-规管的输出端.圄3规管工作电源稳定度测试电路6.2.4 真空计是否符合5.2.4的要求，所用线路如图4所示。当真空计处于测量状态时，合上开关S，接通输入电压E2，调节电位器屿，使电压表V或电流表A指示为满度标称信号值时，读取真空计显示的压力值(llP为Pl)按式(2)计算误差:当真空计处于测量状态时，合上开关S，接通输人电压E2调节电位器矶，使电压表V或电流表A指示为零点标称信号值时，读取真空计显示的压力值( llP为Pl)按式(2)计算误差。r 圈中:马一-直流稳压电源;V一-4位半数字电压表;A一-4位半数字电流表:S一一开关;R)一一电阻箱，0
18、0-9999.90; R2一一线绕电阻。固4匹配误差测试电路5 JBff 10553-2006 6.2.5 真空计是否符合5.2.5的要求，采用下列方法和装置进行测试:6.2.5.1 真空计每一测试点的相对示值误差，按式(2)计算:式中z1一一相对压力偏差，%; 2 =旦二监XI00%.(2)P满皮PI一一测试点测得的真空计示值，单位为Pa;P标一一测试点对应的标准压力倍严喂徨为Pa;P满度一一满度对应的标准压;毡，单. tti. P标准点应包括测量范围的生限压力和下限压力恤，其余各点则按对数均匀分布在表盘上(对于数字真空计则按对数线性均匀分措)，每个量缀少于三点.6.2.5.2 真空计的示值
19、误差在标准4和态下测定鸟即s6.2.5.3 士10%。6.2.5.4测试用的气体为氮氧艘碍于鼠9%).6.2丘5测试时规管必须按俨晶规定的方法安装.6.2.5.6 测试时应尽量避免热辐射和气流对规管的影响.6.2.5.7 测试时应在标准室庄穷稳定-3s悟?妻壁拌亲值和imirr-内变化不超过:1:2%时读取。6.2.6 真空计是否符合5.2.6的要求，应采用下述方法进行测试。a)用直流电压表(0.5级)对输出模拟直流电压信号进行检测。用直流电流表(0.5级对输出模拟直流电流信号进行检测。b)对采用BCD码数据输E出，用屯压表检查屯压信号和逻辑电哇是否正常。用万用表欧姆档检查通信接口接线是否E确
20、，用电压表和示波器或逻辑分析仪检查接口电压信号和逻辑电平是否正常。6.2.7 真空计是否符合5.立于的要求?按压为士升和主F降进行测试，在临近测试点时压力应缓慢变化，测试点应包括规定的控制上限压力值和下限压力值在内不少于五点引观察动作情况，不得有跳动现象，且记录继电器动作点真空度示值(PI)用公式(3)计算动作误差。式中:.3一一继电器动作误差: =旦二主且这1P设PI一一继电器动作时的真空度示值，单位为Pa;p设一一继电器设定点真空度值，单位为Pa。6.2.8 真空计是否符合本标准5.2.8的要求，按JB厅9329规定的方法进行测试。7 检验规则7.1 出厂检验产品检验由制造厂质量检验部门或
21、委托有关部门进行。产品按5.1.2、5.1.3、5.1.4、5.1.5、5.1息5.1工5.2.2、5.2.3、5.2.4、5.2.5、5.2.6和5.2.7的要求进行检验。只有检验合格并附有产品合格证才能6 JBn 10553-2006 人库或出厂。7.2 型式检验7.2.1 按本标准的全部技术要求进行。7.2.2 当出现下列情况之一时，规管和真空计应进行型式检验:a)新产品或老产品转厂生产的试制定型鉴定:b)正式生产后，如结构、材料、工艺有重大改变，可能影响产品性能时:c)产品长期停产后，恢复生产时。7.2.3 型式检验的样本抽样方法吃GBIf羽毛2规定;J合格施k平按单位产品规定，具体抽
22、样方案如下:a)规管的二次抽样方案巧f:DL=田.RQL=40J nl=np巴兰1=()A:r Rl=R2=2; b)真空计的一次抽样方8 标志、包装和贮存8.1 标志产品应有下列醒目的耐冬性标恙za)制造厂名:b)产品名称:c)产品型号:d)制造日期或出厂编号。8.2 包装8.2.1 每只规管上应有明显、R清晰的型号等标志，8.2.2 每只或每批规管应附有产品说明书和合格证书，产品说明书内容为:a)制造厂名称或商标:b)产品名称和型号:c)产品标准编号:d)产品外形图或主要尺寸te)产品的主要参数:f)电极接线图:g)标准曲线或数据表:h)产品特点和使用要求。8.2.3规管应有良好的包装，包
23、装时应避免捆在盒内移动并符合如仰的规定，达到防震、防潮和抗压的要求。8.2.4 每台真空计在包装时应附有装箱单、使用说明书和产田合格证.使用说明书内容为:a)制造厂名称或商标:b)产品名称和型号:c)产品的用途:d)产品的主要技术指标:e)产品结构和工作原理:f)产品的使用方法和维护。8.2.5 真空计包装应符合B厅15钊4的规定，其中防护包装选用防震、防潮和抗压包装，包装箱文字应清晰，其内容包括制造厂名，产品型号、名称、包装日期，并有小心轻放、防潮、向上等符合GB厅191规定的有关图示标志。7 JBff 10553-一.20068.3 贮存规管和真空计应保存在温度为S.C-.40.C ，相对湿度不大于80%的环境中，周围不应有强烈振动和腐蚀性气体。8 。ON-的的mOF阳气筒同华人民共和机械行业标准真空技术扩散硅压阻真空计JB厅10553-2006国中* 机械工业出版社出版发行北京市百万庄大街22号邮政编码:1侧37* 开本21伽mX297mm.1印张.21千字26年10月第1版第1次印刷定价:12.元* 书号:15111. 7788 网址:h忧p:/www.cmpbook.m编篝部电话:(010) 88379779 直销中心电话:(010) 88379693 封面无防伪标均为盗版僵权必究版权专有
