1、GB/T 1 6527 1 996 本标准等效采用SEMI标准SEMIP3 90(硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范。本标准第5章要求中5.2条和5.3条均按SEMIP3 90制定，且根据产品使用方的需要，增加了5. 1条抗蚀剂涂层性能。SEMI标准是半导体设备和材料国际标准，具有较高的科学性和先进性，内容全面，标准配套。本标准与已经转化为我国标准的SEMIP1 92(硬面光掩模基板)(GB/T15871 1995)、SEMIP2 86(硬面光掩模用铅薄膜)(GB/T 15870一1995)、SEMIP4 92 (圆形石英玻璃光掩模基板规范(GB/T 16523一1996)、SEMIP6
2、 88(光掩模对准标记规范)(GB/T16524 1996)及准备转化为我国标准的SEMIP21 92(掩模曝光系统准确度表示准则、SEMIP19 92(用于集成电路制造技术的检测|图形单元规范等项标准形成一个微型构图标准系列。本标准附录A是提示的附录。本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标准由电子工业部标准化研究所归口。本标准起草单位z长沙韶光微电子总公司、电子工业部标准化研究所。本标准主要起草人:谈仁良、吴保华、王亦林、韩艳芬。1 范围中华人民共和标准硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范Specification for photoresist/E-beam resist for
3、hard surface photoplates GB/T 1 6527 1 996 本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内节。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。2 引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版日才，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB 191 90 包装储运团示标志GB 2828 87 逐批检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查)GB 2829 87 周期检查计数抽样程序及抽样表(适用于生产过程稳定性的检查)GB 72
4、38 87 玻璃及铅版表面平整度的测试方法GB 7239 87 铭版锚膜和胶膜厚度的测试方法GB/T 15871 1995 硬面光掩模基板GB/T 15870 1995 硬面光掩模用铅;:J I 1 1 Vo4一-4仿夏吧，J习E歹巳伊芭IlIlCt支刁E刁q吉3 定义本标准采用SJ/T10584中的定义。4 分类与命名抗蚀剂涂层符合本标准的硬面感光板基板应满足GB/T15871和GB/T15870规定的要求。抗蚀剂的分类与型号命名按附录A(提示的附录)规定，主要依据如下(订货文件中应予注明): a)抗蚀剂材料pb)在质量区内抗蚀剂的厚度及其公差;c)整个质量区抗蚀剂的均匀性;d)板与板之间抗
5、蚀剂的一致性;e)抗蚀剂的情烘时间和山且。5 要求和51 抗蚀剂涂层性能局1996-09-09批1997-05-01实GB/T 16527 1996 5. 1. 1 抗蚀剂涂层厚度:400nm、500nm、600nm。厚度5. 1. 2 抗蚀剂涂层均匀性:土4%;抗蚀剂涂层一致性z士7%。照附录A5. 1. 3 抗蚀剂的材料、涂层的典型技术参数见附录A(提示的附录)。5. 1. 4 抗蚀剂涂层厚度、均匀性及一致性的测试方法见GB7239。5.2 质量区平面度5. 2. 1 方型质量区和圆形质量区的区域见GB/T15871一1995中4.2。5.2.2 质量区内的有效平面度极限值按GB/T158
6、71 1995中4.2。5.2.3 平面度的测试方法见GB72380 5.3 抗蚀剂涂层缺陷的附录)。5.3. 1 在质量区内应无颗粒、变色、慧星状、划痕和斑点等，使用超净台黄色漫射光用肉眼检查。5.3.2 在强的(520nr平行光下，检查出的一些缺陷是允许的，表1和表2中分别给出了圆形质量区和方形质量区内缺陷的大小和每种类型所允许的缺陷的数量，缺陷数量包括铅膜、抗蚀剂等项综合陷数。缺陷的数量以基板的尺寸、锚膜的等级和缺陷的大小来表示。5. 3. 3 缺陷的尺寸用测量显微镜检查。表1圆形质量区内的缺陷基板尺寸缺尺寸和允许的数量口1m1m-5.0m 5. 1m-10m 10m AA 。A(主4
7、。100 B 6 2 。C(试验20 AA 。A(主掩模4 。127 B 8 2 。C(试验)30 AA 。A(主6 。152 B 12 4 。C(试验)40 表2方形质量区内的缺陷基板尺寸缺陷尺寸和允许的数量错口1口11m-5.0m 5. 1m-10m 10m AA 。100 A(主掩模)4 。B 8 2 。C(试验)20 AA 。A(主掩模)4 。127 B 12 4 。C(试验)30 + AA 。A(主掩模6 。152 B 16 4 。C(试验)40 6 检验规则检验分为交6. , 交收检验GB/T , 6527 , 996 例行检验。6. ,. , 检验批:检验批应由同一工艺条件生产、
8、不同规格、同时交付的产品组成。6. ,. 2 产品入库前应逐批进行交收检验;产品出厂时，用户有权对交收检验的结果进行复查。6. ,. 3 交收检验按GB2828中规定的一次正常检查方案进行，交收检验项目、检查水平。L)和合格质平及(AQL)值应符合表3的规定，样品应从一批中的不同盒内抽取。表3交收检验项目要求和试方法条号抗蚀剂涂层厚度，均匀性和致性5. 1 抗蚀剂涂层缺陷5.3 6.2 例行检验6. 2. , 有下列情况之一者，应进行例行检验:a)产品定型;b)产品结构、材料、工艺有较大的改变时;c)正常生产情况下，每年进行一次;d)产品停产一年以上，恢复生产时;e)交收检验结果与上次例行检验
9、有较大差异时;f)国家质量监督机构提出进行例行检验要求时。IL E E AQL 2.5 2. 5 6.2.2 检验的样品应在交收检验合格的批中随机抽取，例行检验应按GB2829中一次抽样方案进行，例行检验项目判别水平(DL)及不合格质量水平(RQL)应符合表4的规定。表4例行检验项目要求和测试方法条号DL 抗蚀剂涂层厚度，均匀性和致性DF-4 i 平面度5. 3 抗蚀剂涂层缺陷5.3 6.2.3 例行检验项目中，有一项不合格，则该批产品例行检验不合格。7 标志、包装、运输、贮存7. , 包装和标志Y A RQL 3Fv 飞15 15 7. ,. , 涂敷了抗蚀剂的基板，应在洁净度100级的环境
10、中进行包装，设计的内包装盒应能防止移动及玻璃与玻璃相接触，并能避免基板在装运过程中受到沾污。涂有抗蚀剂面的方向应在每个盒子上标明，每个盒子均应贴上合格证，合格证上应注明:a)产品名称;b)产品级别、铅膜厚度、类型及规格尺寸;c)抗蚀剂类型、厚度;d)数量;e)抗蚀剂批号和涂敷日期;f)检验日期及检验员签章。7. .2 每一内包装盒应标明:光致抗蚀剂电子束抗蚀剂GB/T 16527 1996 :只能在洁净间内安全黄光下打开和处理。:只能在洁净间条件下打开和处理，不能有X射线7. ,. 3 内包装盒分10片、15片、20片和30片四种包装。7. 1. 4 外包装箱采用钙塑瓦楞纸板制作，外包装箱上应
11、标明:a)产品名称、型号;b)产品等级pc)生产日期;d)制造厂名称、地址、商标。7. 1. 5 包装箱外壁应有符合GB191规定的保持干燥、向上、小心易碎等字样和标志。7.2 产品在运输过程中应防湿、防震、防损伤，不得与腐蚀性物质混装运输。7.3 贮存7.3. 1 产品应存放在温度为50C，._25 oC ，相对湿度不大于60%、干净、无有害气体的库房内。7. 3- 2 产品从生产之日起，贮存期为六个月。GB/T 16527 1996 附录A(提示的附录)抗蚀剂抗蚀剂涂层的典型数见表Al。表Al抗蚀剂涂层的典型技术参数厚度预烘时间预H度抗蚀剂型号类别、。C口1mm 正型光致MP1350 O. 6士0.01230 80 AZ1350 0.6士0.01230 80 MP1450 0.6土0.01030 80 抗蚀剂AZ4000 0.6士0.01230 80 IiPR204 0.6士0.01230 80 负型光致HPR 80M O. 6士0.0260 80 抗蚀剂SelectiluxN 0.6士0.01230 80 正型电子PBS 0.4士0.01560 120 PMMA 0.6士0.0220 95 抗蚀剂PM O. 6士0.0230 100 负型电子COP O. 6土0.01530 90 NER 0.5士0.0230 90 抗蚀剂NS 0.5士0.0220 120
