1、J tI 中华人民共和国机械行业标准J8/T 5575-91 真空蒸发光学镀膜设备技术条件1991-07-16发布1992-07-01实施机械电子工业部发布中华人民共和国机械行业标准J BfT 5575-91 真空蒸发光学镀膜设备技术条件1 主题内容与适用范围:Lj三标准规定了真空蒸发光学镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、这瑜、贮存等要求。本标准适用于油扩散泵系统的真空蒸发光学镀膜设备。2 引用标准GB 11164 真空镀膜设备通用技术条件GB 6070 真空法兰GB 191 包装储运指示标志3 技术要求3.1 正常工作条件a. 环境温度:10-30oC; b. 环境相对湿度
2、z不大于80%;C. 冷却水进水温度z不高于25CC;d. 冷却、加热等循环用水的质量z采用城市自来水或质量相当的7(;e. 供电电源:380V三相50Hz或220V单相50Hz(由所用电器需要而定。电压波动范围:342-399V或198.231V。频率波动范围:49-51Hz; f. 设备工作场所z室内应整沽，地面、天花板及设备周围墙壁应干净。3.2 基本参数设备的基本参数应符合下表规定。机械电子工业部1991-07-16批准1992-07-01实施JBjT 5575-91 丑王J I古J三数数矣LY ，巧r!J 名数320 , 500 , 630, 700 , 800 , 90 0 , 1
3、000, 镀膜室直径或宽度力l恢复真空抽气时间:从大气压抽I .，_ I :; lm3 i 镀膜1200 , 1400 , 1600 , 1800 . OOO 口1m用水冷挡板:三二5x 10- 用液氮冷阱:.:二:x 10- . 、-Ja p ，、:; 20 至7x 10丁Pa所需时间(用水冷 lm3 室30 4m3 容积(min) 挡板:; 9XI0-3 工作压力(pa) 。-200。-300烘烤温度调节范到分栏1。-350(C) 工件烘烤装置。一400有效加热区不应超过士15%加热均匀度允差3.3 结构要求3.3.1 设备的结构设计应布局合理，造型美观，操作简便，便于维修，并符合经济、安
4、全、高效的原则。3.3.2 设备中的真空管道，密封零部件法兰，密封圈等的结构型式和尺寸应符合GB6070的规定。3.3.3 在低真空军日高真空管道及镀膜室上应装设真空测量规管，分别测量各部位的真空度。3.3.4 设备使用的主扩散泵的进气口一侧应装设油蒸气捕集阱。3.3.5 设备的镀膜室应设有观察窗，对在镀膜过程中发生射线的设备，观察窗上应加装防射线装置。3.3.6 工件烘烤装置应有测温电极或测温装置。3.3.7 工件架旋转机构的转速应符合产品说明书的规定。3.3.8 设备应装设离子轰击装置或宽束低能离子源装置。在产品说明书规定的常用参数范围内应能正常连续稳定工作30min以上。3.3.9 设备
5、的淀积源的工作状况应稳定，并易于调节控制，对各种类型淀积源(如电阻蒸发源、电子束蒸发源等的技术要求由相应的产品标准予以具体规定。3.3.10 新设计的镀膜设备的结构必须留有膜厚和蒸发速率测量用及装四极质谱仪探头的备用孔，装膜厚修正挡板的固定点。3.3.11 新设计的生产型设备，其抽气过程操作，阅门启闭，膜厚测量，蒸发速率控制、镀膜室压力控制、蒸发挡板控制等均应尽可能采用自动控制。3.4 制造质量3.4.1 设备主要零部件的材料应符合相应的材料标准的规定，且应具有质量合机证书。如E书不全或制造部门有疑问时应由制造厂检验部门负责复验。以及2 JBjT 5575 91 3.4.2 镀膜室内壁表面及各
6、密封表面的粗糙度应达到Ra3.?.m。3.4.3 设备的零部件的机械加工质量及设备的焊接件的质量均应符合制造厂有关技术文件的规定。3.4.4 设备的装配质量应符合制造厂有关技术文件的规定，装配时对工作时处于真空的各表面应进行有效的真空清洁处理并予以干燥，各转动件装配后应能灵活转动，不得有卡滞、松抖现象，升降机构动作时应平稳，无抖动。用润滑脂的密封处应充满真空油脂。3.4.5 在被镀件加热过程中，设备应能正常连续工作，包括转动件转动自如，无卡滞、松抖等现象。3.4.6 设备所配用的自制或外购的零部件都应符合相应的产品标准的规定，并应具有质量合格证或经制造厂检验部门检验合格后方可配入设备使用。3.
7、4.7 设备配套的电气装置的制作质量应符合制造厂技术文件的规定，并应保证设备运行和操作时的安全可靠。装置中线路的排布应整齐、清晰、便于检修，装置中各电气回路的绝缘电阻值，对于500V以下，不得低于2MQ，对于501.-.1000V，不得低于2.5MQ，对1001.3000V，不得低于3.5MQ，对于3001.10000V，不得低于6MQ。3.4.8 设备的外观质量应做到没有非功能性需要的尖角、梭角、凸起及粗糙不平表面。零部件结合面的边沿应整齐匀称不应有明显错位。金属零件的镀层应牢固、无变质、脱落及生锈等现象，所有紧固件应有防腐层，设备的涂漆表面应光洁、美观、牢固、无剥落起皮等现象。3.4.9
8、设备出厂检验完毕后应进行镀膜试验。(可在可镀面积内有代表性的位置上放置少量工件进行镀膜。对镀多层膜设备，允许只进行单层膜试验。通过试验应证明设备工作正常。3.5 安全防护3.5.1 关键部件的水冷系统中应有断水或水压不足的报警装置。并与电源、真空系统、传动系统相关联部分有联锁保护机构。这些保护机构的动作应灵敏可靠。3.5.2 对装设电动阅门的设备，镀膜室充气阅与高真空阀及高真空阀与予抽阀应保持联锁。突然停电时，电动阀门应能自行关闭。3.5.3 设备及其附属的电气装置均应装设接地装置，接地处应有明显标记。3.5.4 在管内或配电板上不得装有几段连接起来的电线，电线出入口或穿过金属壁体处应有光滑的
9、绝缘件保护或在管口内孔衬以软质绝缘环。3.5.5 设备上的电气线路及电气元件应保证不受冷却液润滑油及其它有害物质的影响。3.5.6 操作中突然停电后，再恢复供电时应能防止电器自行接通。3.5.7 在设备电气线路中，针对负载情况应采取短路保护，过电流保护等必要保护措施。3.5.8 应用高压电源的设备，其装有高压电极的镀膜室的开启与高压线路的接通应有安全联锁装置。3.5.9 设备中的高压及其它有可能产生损害人体的辐射的部分应安装屏蔽装置。3.5.10 外露的齿轮，皮带轮等应有可靠的防护装置。3.5.11 液压系统应有调节压力的安全装置。3.5.12 设备及其附属装置上应装设为操作和安全所必需的标牌
10、和标记，制做标牌或标记的材料和刻划方法应能使其字迹在设备正常使用期内保将清晰。4 试验方法4.1 镀膜室极限压力a. 镀膜室内为空载(即不安放被镀物品，也不进行淀积)，但不得拆去设备正常工作时应安装的读积源(允-rl二不放入fk镀的苓1&材料.)、工f二架等部件;b. 真空测量规管应N:于镀膜室壁上或最靠近镀膜室的管道上;C. 所用真空计应为设备水身配套者;d. 允许在抽气过程中用设备本身自己有的加热、轰击等装置对镀膜室进行除气，3 JB/T 5575-91 C. 镀脱室内极限压力值应在开机后24小时内测定，且应在镀膜室内压力变化值半小时内不超过5%的条件下确定此时各动密封部位应处于运动状态)
11、。取其达到的最低压力值为极限压力值。4.2 镀膜室恢复真空抽气时间设备在连续工作的条件下，在镀膜室内压力达到极限压力之后，打开镀膜室暴露大气15min再抽至本标准3.2条表中规定的真空度所需的时间定为设备的恢复真空抽气时间。4.3 镀膜室工作压力在工件架上放置玻璃Jj片，蒸镀硫化铮(用于电阻加热蒸发)或二-氧化倍(用于电子束蒸发时进行动态压力测量，取蒸发过程中测得的镀膜室最高压力为工作压力，所用硫化特及二氧化错须经除气处理。4.4 镀膜室工件烘烤装置有效加热区加热均匀度的测定测温采用热电偶或其它相应的温度传感器测量。测量位置在被镀工件与烘烤炉之间距工件表面距离不大于110mm处，测温时应在有效
12、加热区内测量35点温度值(能反映最大温差的均布的35点。测温应在达到所定最高烘烤温度并保温10min后进行，并各点同时测量。(允许使用转换开关。测量后，取所汩IJ各点温度对所测各点温度平均值的最大相对偏差作为加热均匀度偏差，其计算公式如下zGi=卫早生巳X100%(i-=l, 2, 3, 4, 5, ) tcp 上式中Gi-i点有效加热区加热均匀度相对偏差ti-所测i点温度值(OC)tcp一一实测n点的平均温度(OC)I: ti tcpJ二L一(n为测温点数)n 5 检验规则5.1 每台设备及其附属装置须经制造厂的质量检验部门按本标准及技术文件进行检验，检验合格，并附有检验部门及检验人员签章的
13、产品合格证方可出厂。5.2 设备的检验分为产品出厂检验和型式检验。5.3 设备出厂检验应逐台进行，其检验内容包括极限压力，恢复真空抽气时间，工件烘烤装置温度调节范围及本标准3.3.8、3.4.2、3.5.1、3.5.2、3.5.4、3.5.6、3.5.8、3.5.10、3.5.11等条款内容。5.4 设备的型式检验应包括本标准技术要求全部内容，即从出厂检验的合格品中抽取被检验对象，补足除出厂检验内容外的其它技术要求的检验内容。对于可能有辐射泄漏的设备，制造厂应委托国家认可的专业单位进行辐射剂量的检查测定，确认其在允许的安全范围内，方可出厂。5.5 产品属于下列情况之一时须进行型式检验za. 试
14、制的新产品Fb. 产品在设计、工艺或所用材料上有重大变更时;C. 同类产品的评比定级时;d. 成批量产品的定期抽查，每二年进行一次，每次抽查该批的5% (不得少于2台)，如有一项不合格则应重新抽取加倍数量的产品进行复验，如仍有不合格者，贝进行逐台检验。5.6 设备进行检验时的工作条件应符合本标准3.1的规定或按jllJj在与用户所订协议进行。5.7 检验时的试验方法按本标准4的规定进行。5.8 检验中所采用的各种测量工具应有合格证明，211式检验时，(c 三面11J仪器应具有有效期内的计量检定合格证书。4 JBfT 5575-91 6 标志、包装、运输、贮存应符合GB11164第6章的全部规定
15、。附加说明z木标准由机械电子工业部上海通用机械技术研究所提出并归口。本标准由北京仪器厂负责起草。木标准委托机械电子工业部上海通用机械技术研究所负责解释。F d 问|lmhmm-F国中华人民共和国机械行业标准真空蒸发光学镀膜设备技术条件JB/T 5575-91 * tJl械电子上业iil标准(t，liJf先所出版(北京首体南路)机械工业标准印刷厂印刷(沟l自民1少)机械工业标准发行站发行(湖南长沙市望城坡)Nth-FomOINm * 开;$:880X 1230 1/16印张0.625字数10000 1997.年6月把-);11()92年6月i;-次印刷| 11 t飞1-1I)U川* 41IM -J HU 斗，-l 、ll，句i h司已2 4,
