1、J 42 JB 中华人民共和国机械行业标准m 5610-91 双频激光干涉仪1991-07-16发布1992-07-01实施中华人民共和国机械电子工业部发布中华人民共和国机械行业标准JB 5610-91 双频激光干涉仪1 主题内容与适用范围本标准规定了双频激光干涉仪以下简称干涉仪勺的基本参数、技术要求、试验方法等.本标准适用于长度测量的双频激光干涉仪。2 引用标准GB 6388 运输包装收发货标志GB 191 包装储运图示标志5 术语3.1 双频激光干涉仪利用具有一定频差的两束稳频激光按迈克尔逊原理制成的长度测量系统-3.2 分辨率干涉仪能读出的最小位移量。3.3 响应速度保证干涉仪正常工作的
2、测量反射器最大移动速度。3. 4 激光波长准确度干涉仪激光波长与给定波长的一致程度。3.5 准确度干涉仪示值与被测量真值的一致程度。4 基本参数干涉仪的基本参数见表10表1参数名称参数数值分辨率量程响应速度m m 0.005 O. 01 O. 02 O. 04 O.08 0.16 510 20 30 40 60 mm/s 50 100 200 300 400 激光波长准确度1 X 10-1 5X 10-8 5 技术要求5.1 外观及相互作用5. ,. 1 干涉仪玻璃表面不应有气泡、裂痕。金属表面、光学元件不应有锈蚀、碰伤和镀层脱落等缺陷。各种标志、数字应正确、清晰。机械电子工业部1991-07
3、-16批准1992-07-01实施J85610-91 5. ,. 2 各紧固部分应牢圄可靠，各运动部分应灵活平稳，无卡滞和松动现象。5. .3 干涉仪的清零、置数、显示、打印等功能应正常。5.2 干涉仪预热时间应不超过15mino 5.3 单次开机激光频率稳定时间应不少于8h. 5.4 准确度干涉仪准确度为2土(k+ .,/(0. 05)2 + (M!F干(0.929t)2 + (0. 0027.p)2 + (0. 00042.j沪XL) 式中:一一干涉仪准确度.l.lm，k一一干涉仪的分辨率，m，M!一一激光波长准确度.10-tl，t-测量中空气温度不确定度.C，6.p一一测量中大气压不确定
4、度.Pa，6.f一一测量中湿度不确定度.Pa，L-一测量长度.m。5.5 激光器寿命应不低于2年。5.6 抗干扰性干涉仪应具有一定的电磁兼容能力，受干扰时干攒仪应能正常工作。6 试验方法下列试验方法不是唯一的，如有其它测试方法，其测量不确定度不大于本标准要求的也可采用。6. , 试验环境条件a. 环境温度为20士lC.温度变化应不超过0.5C!h，b. 干涉仪、检栅设备及仪器应在同等温度条件下等温4h , C. 在准确度试验时，空气温度不确定度应不大于O.2C.大气压不确定度应不大于60阳，温度不确定度应不大于100Pa , d. 周围应无影响试验精度的灰尘、振动、气流扰动和较强磁场。6.2
5、外观及相互作用采用目视和手感检验。6.3 激光波长准确度干涉仪激光须经与标准的633nm腆稳定氮氛激光拍频检测，其准确度应符合表1的规定。6.4 准确度6.4.1 该试验采用比对检测，检定系统的不确定度应小于被检定千涉仪的准确度(按5.4条计算).取连续三次比对偏差的平均值为一组测量结果，重复510组，取各组测量结果的平均值土2作为准确度。6.4.2 该试验至少应在量程范围内三个不同长度进行比对，最大比对长度应不小于1m。推荐比对长度为250mm.500 mm.l000 mm。6.5 干涉仪预热时间干涉仪在预热15min和充分预热两种状态分别与精度不低于被检定干涉仪的仪器进行比对，干涉仪在两种
6、状态精度应同等。6.6 单次开机激光频率稳定时间干静仪预热完毕立即用示波器监视激光频差图形，在8h内应稳定。6.7 量程2 JB 5610-91 在距干涉头(于涉头应尽可能靠近激光头)最大量程处置一导轨，将测量反射器随导轨以仪器响应速度移动，干涉仪测量显示器计数应正常。6. 8 响应速度干涉仪工作速度按响应速度进行准确度比对试验，比对结果应符合第5.4条要求。6.9 抗干扰试验在与干涉仪同一正常工作电网上，人为地制造下列各干扰(干扰摞应离干涉仪1-2 m): a. 开关250W交直流手电钻10次，b. 插拔150W电烙铁10次zC. 用20A交流接触器，每隔5min启停3.5kW电动机一次，试
7、验三次仅对分辨率为0.08阳，0.16m干涉仪做此试验)。7 检验规则干涉仪痛经生产厂按本标准检验合格后方能出厂。出厂检验项目包括5.1-5.4条的内容和表1中激光波长准确度内容。其中第5.4条属定期或定量抽检项目。8 标志、包装、储存8. 1 标志8. ,. 1 干涉仪上应标志za. 制造厂厂名gb. 产品名称自C. 注册商标F, d. 产品型号或标记pe. 制造日期或生产批号。8.1.2 包装标志应包括8.1. 1条a，b、c、d，e内睿和收发货标志、包装储运图示标志。包装标志应符合GB 6388和GB191的有关规定。8.2 包事8.2.1 干渺仪的包装应有良好的防震、防锈、防腐、防潮措
8、施。8.2.2 干涉仪的包装箱中应包括产品合格证、说明书、装箱单等随机文件及附件。8.3 储存干涉仪应储存在温度为一40，-，+550C，相对温度不大于65%，无腐蚀性气体及清洁通风良好的环境内。附加说明z本标准由全国最具量仪标准化技术委员会提出。本标准由机械电子工业部成都工具研究所归口。本标准由机械电子工业部成都工具研究所负责起草，中国计量科学研究院、中国测试技术研究院参加起草。本标准主要起草人赵国庆。3 中华人民共和国机械行业标准双频激光干涉仪JB 5610-91 * 机械电子工业部机械标准化研究所出版发行(北京8144信箱邮编100081) 版权专有不得翻p* 河北省清河县印刷厂印刷* 开本880X1230 1/16 印张1/2字数60001991年12月第一版1991年12月第一次印刷印数00.001-1000定价。.80元编号0385
