1、中华人民共和国电子行业标准时/T31131 94 4304型扩散炉完好要求和检查评定方法1 直题内容与滥用范圆本标准规定了4304型扩散炉的究好要求和检查、评定方法。本标准适用于4304型扩散炉。本标准也适用于4104、3103扩散炉。其它型号的扩散炉也可参照执行。2 兜好要求2.1 主要技术指标2. 1. 1 瓶度班回4001300C。2. 1- 2 温度稳定性土O.25C (在72h之内)2.1.3 恒、温区伏度760mm土0.5C。2.1.4 翻度熏复性士O.25C，每炉批之间。2.2 机械系统2.2.1 移动速卒，进出舟为0.21mm/s41.9mm/s，实用0.64mm/s一41.9
2、mm/恒，应优可设定。2.2.2 移动距离1549mm，可任意设定。2.2.3 拉力44No2.3 气路系统2. 3. 1 气路系统的运动件在规定的各种速度范回内，不应发生振动和显藩的冲击，不应有停滞现象。2. 3. 2 各流撞计指示正确，误差在允许范围内，且有有效期内校验合格证。2. 3. 3 气路及真空管道、接头、阀门元件之间联结应牢固，密封、无漏气现象。2.3.4 各气功阀、于动阀工作正常，开放、关闭灵活、到忱。2.4 电气系统2. 4.1 电气控制箱内布线整齐，各指示灯齐全完整，指示正确可靠。线路无破损老化。2.4.2 电气系统装置齐全，安全可靠，管线完整，性能良好。2.4.3 各种开
3、关动作灵敏，自动保护装置及报警费最齐全，安全可靠，工作灵敏可靠。2.4.4 各电础接触器，磁力启动器，继电器动作灵活，工作正常。2.4.5 控制器按键操作灵活可靠。2.4.6 各指示灯齐全，指示正确，CRT在示数据可辖。2.4.7 自动保护装置和连锁装置齐全，工作正常。中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准199406-01实施2.4.8 测温组件指示正常。2.4.9 大电流连接处无发热现象。2.5 冷却系统2.5.1 玲栩如凡齐全。SJ/T 31131-94 2.5.2 芮耳l系统不能有直线状的漏液流。2.5.3 f令却管道，过捕网无堵寨。2.5.4 冷却水不得掺入电气箱内和设备内
4、。2.5.5 风冷部分各风扇运行正常，过温保护糕置动作灵敏。2.5.6 净化柜风机运行正常。2.5.7 接片净化柜的洁净度10Q级。2.6 安全防护2.6.1 设备保护茧版，挡住板齐全，完整无损、牢固、可罪。2.6.2 炉管两端用保温棉填囊，防止热量外泄。2.6.3 排带风管每管平均5CFMo2. 7 维护保养按SJ/丁31002-94设备维护保养通则执行。3 检查、评定方法3. 1 检查方法3. ,. 1 用植度测试仪监测瓶度精度。3- 1. 2 用2m在有伏的热电偶放在炉堂正中，用数字温度计检测恒温匹长度及踹度精度。3.1.3 其余项目用现场主观方法进行检蕉。3.2 评定方法3.2.1 主要项目有2.1.1、2.1.2, 2. 1. 3、2.1.4。其余为次要项目。3.2.2 主要项目有一项不符合要求，为不完好设备;次要项目有二项不符合要求，那为不完好设备。3.2.3 完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明:本标准由电子工业部祭济运行与体制改革司提出。本标准由中国华晶电子集团公司组织起草。本标准主要起草人:谢回元、央秀琴。一-2一
