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JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范.pdf

上传人：孙刚 文档编号：51961 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：17 大小：1.75MB
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资源描述

本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。扫描探针显微镜根据其设计原理不同，校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务，如对溯源要求较高的测量，不在本校准规范的适用范围。

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