1、Mai 2004DEUTSCHE NORM Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO) im DINPreisgruppe 6DIN Deutsches Institut f r Normung e.V. Jede Art der Vervielf ltigung, auch auszugsweise, nur mit Genehmigung des DIN Deutsches Institut f r Normung e. V., Berlin, gestattet.ICS 01.040.39; 39.020S_ 9547789www.din
2、deXDIN 32564-3Fertigungsmittel f r Mikrosysteme Begriffe Teil 3: Handhabung, Lagerung und TransportProduction equipment for microsystems Terms and definitions Part 3: Handling, storage and transportEquipement de production pour systmes microtechniques Termes et dfinitions Partie 3: Manipulation, st
3、ockage et transportAlleinverkauf der Normen durch Beuth Verlag GmbH, 10772 Berlinwww.beuth.deGesamtumfang 5 SeitenDIN 32564-3:2004-052VorwortDiese Norm wurde vom Arbeitsausschuss Fertigungsmittel fr Mikrosysteme im NormenausschussFeinmechanik und Optik (NAFuO) erarbeitet.DIN 32564 Fertigungsmittel f
4、r Mikrosysteme Begriffe besteht aus:Gbe Teil 1: Allgemeine Begriffe der MikrosystemtechnikGbe Teil 2: Basistechnologien und HerstellungGbe Teil 3: Handhabung, Lagerung und TransportEinleitungDiese Norm soll die Begriffe in dem relativ neuen Gebiet Mikrosystemtechnik zu einem Zeitpunkt klren, woerste
5、 Produkte auf den Markt kommen. Es ist beabsichtigt, die Norm regelmig zu aktualisieren, um sie denBedrfnissen von Kunden und Herstellern von Fertigungsmitteln anzupassen. Spter sollen Definitionen ausanderen Normen, die mit Mikrosystemtechnik zu tun haben, hinzugefgt werden.1 AnwendungsbereichDiese
6、 Norm definiert Begriffe, die zur Handhabung, Lagerung und zum Transport von Mikrosystemeneingesetzt werden. Sie hat den Zweck, durch Festlegung einer einheitlichen Begriffsbildung die Verstndigungber technische Inhalte zu erleichtern.2 Begriffe2.1 Handhabung2.1.1HandhabenSchaffen, definiertes Vernd
7、ern oder vorbergehendes Aufrechterhalten einer vorgegebenen rumlichenAnordnung (Orientierung und Position) von geometrisch bestimmten Krpern in einem Bezugskoordinaten-systemVDI 2860:1990-05ANMERKUNG Handhaben findet in der Regel innerhalb eines Fertigungssystems statt.2.1.2EndeffektorTeil eines Han
8、dhabungsmoduls, das mit dem Werkstck in Kontakt tritt und bis zu einer definiertenSchnittstelle reichtDIN 32564-3:2004-0532.1.2.1adaptiver EndeffektorEndeffektor, welcher sich passiv oder aktiv einem Werkstck anpasst, indem er sich den Eigenschaften desWerkstcks angleicht2.1.2.2GreiferEndeffektor, z
9、um Greifen und Halten vorgesehenDIN EN ISO 8373:1996-08ANMERKUNG Fr Werkstcke (oder Teile oder Gruppen von Werkstcken).2.1.2.3intelligenter Endeffektorsensitiver Endeffektor, welcher selbstttig seine Aktionen auf nderungen der Messergebnisse vonintegrierten Sensoren anpasst2.1.2.4mikromechanischer E
10、ndeffektorEndeffektor, dessen Funktionsmodule mikromechanische Elemente enthaltenBEISPIELE Kanle, Fhrungen, Klemmstrukturen, Halter usw.2.1.2.5sensitiver EndeffektorEndeffektor, welcher seine Position im Raum sowie die Position, Orientierung und/oder Form und anderephysikalischen Gren der Zielobjekt
11、e durch Nutzung von integrierten Sensoren (hufig optisch) erkennenkann2.1.3EndeffektorhalterVorrichtung, an welche unterschiedliche Endeffektoren manuell oder automatisch ber eine definierteSchnittstelle adaptiert werden knnen2.1.4WechselsystemVorrichtung, welche unterschiedliche Effektoren manuell
12、und/oder automatisch austauscht oder abwechselndzum Einsatz bringt2.2 Lagerung und Transport2.2.1Lagernjedes geplante Liegen des Arbeitsgegenstandes im Allgemeinen ohne Vorgabe von Positionsbedingungen imMaterialflussDIN 65099-9:1989-112.2.2FrdernFortbewegen eines Arbeitsgegenstandes in einem Montag
13、esystem2.2.3FrdermittelMittel zur Orts- und Lagevernderung von Material, Erzeugnissen und anderen Gegenstnden, Flssigkeiten,Gasen oder von Lebewesen mit fremder KraftDIN 32564-3:2004-0542.2.4Kassetteoffen gestalteter Sammelbehlter fr Werkstcktrger, der sich zum Zwecke der automatischen Zufhrung anFe
14、rtigungsmodulen anschlieen lsst2.2.5LagermittelMittel zum Abstellen und Aufbewahren von Material, Erzeugnissen und anderen Gegenstnden2.2.6MagazinVorrichtung, die zum geordneten Speichern von Werkstcken vor, nach und zwischen Fertigungs-einrichtungen dient2.2.6.1Werkstcktrgerebenes Magazin, das geei
15、gnet ist, Werkstcke fr deren Lagerung, Transport und Handhabung geordnetaufzunehmen und sich zum Zwecke der automatischen Bauteilzufhrung an den Fertigungsmodulenadaptieren lsst2.2.6.2Chip Trayebene Platte mit regelmig angeordneten Vertiefungen zum Aufbewahren vereinzelter ChipsANMERKUNG Sonderform
16、eines Werkstcktrgers.2.2.7Reinraumtransportboxschtzender transportabler Behlter fr Kassetten und Werkstcktrger, der zum Zwecke der Zufhrung anFertigungseinrichtungen angeschlossen werden kann2.2.8SpannrahmenHilfsvorrichtung zum Aufspannen einer Adhsivfolie, mit der ein Substrat oder ein Aufbau aus m
17、ehrerenSubstraten fixiert wirdANMERKUNG Die Bauteilanordnung kann von einzelnen Fertigungsprozessen bis zu einem Vereinzelungsvorgang derMikrobauteile auf der Adhsivfolie erhalten werden. Der Spannrahmen dient als Spannvorrichtung fr einenFertigungsprozess oder als Vorrichtung zur Magazinierung.DIN
18、32564-3:2004-055LiteraturhinweiseDIN 65099-9:1989-11, Luft- und Raumfahrt Klassifizierung von Sonderfertigungsmitteln Verfahrens-hauptgruppe H: Materialfluss bewirken, Arbeitsumfeld gestalten, Transportieren.DIN EN ISO 8373:1996-08, Industrieroboter Wrterbuch (ISO 8373:1994); Deutsche FassungEN ISO 8373:1996.VDI 2860:1990-05, Montage- und Handhabungstechnik Handhabungsfunktionen, Handhabungs-einrichtungen Begriffe, Definitionen, Symbole.
