1、Mrz 2006DEUTSCHE NORM Normenausschuss Heiz- und Raumlufttechnik (NHRS) im DINPreisgruppe 22DIN Deutsches Institut fr Normung e.V. Jede Art der Vervielfltigung, auch auszugsweise, nur mit Genehmigung des DIN Deutsches Institut fr Normung e.V., Berlin, gestattet.ICS 13.040.35!,b“9639556www.din.deDDIN
2、EN ISO 14644-3Reinrume und zugehrige Reinraumbereiche Teil 3: Prfverfahren (ISO 14644-3:2005);Deutsche Fassung EN ISO 14644-3:2005Cleanrooms and associated controlled environments Part 3: Test methods (ISO 14644-3:2005);German version EN ISO 14644-3:2005Salles propres et environnements matriss appar
3、ents Partie 3: Mthodes dessai (ISO 14644-3:2005);Version allemande EN ISO 14644-3:2005Alleinverkauf der Normen durch Beuth Verlag GmbH, 10772 Berlinwww.beuth.deGesamtumfang 72 SeitenDIN EN ISO 14644-3:2006-03 2 Nationales Vorwort Dieses Dokument (EN ISO 14644-3:2005) wurde vom Technischen Komitee IS
4、O/TC 209 Reinrume und zugehrige Reinraumbereiche“ in Zusammenarbeit mit CEN/TC 243 Reinraumtechnologie“ (Sekretariat: BSI, Vereinigtes Knigreich) erarbeitet. Im DIN Deutsches Institut fr Normung e. V. war hierfr der Arbeitsaus-schuss NA 041-02-21 AA Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)“ z
5、ustndig. Fr die im Abschnitt 2 zitierten Internationalen Normen wird im Folgenden auf die entsprechenden Deutschen Normen oder andere Unterlagen hingewiesen: ISO 7726:1998 siehe DIN EN ISO 7726:2002-04 ISO 14644-1:1999 siehe DIN EN ISO 14644-1:1999-07 ISO 14644-2:2000 siehe DIN EN ISO 14644-2:2001-0
6、2 ISO 14644-4:2001 siehe DIN EN ISO 14644-4:2003-06 Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise DIN EN ISO 7726:2002-04, Umgebungsklima Instrumente zur Messung physikalischer Gren (ISO7726:1998); Deutsche Fassung EN ISO 7726:2001 DIN EN ISO 14644-1:1999-07, Reinrume und zugehrige Reinraumber
7、eiche Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit (ISO 14644-1:1999); Deutsche Fassung EN ISO 14644-1:1999 DIN EN ISO 14644-2:2001-02, Reinraumrume und zugehrige Reinraumbereiche Teil 2: Festlegungen zur Prfung und berwachung zum Nachweis der fortlaufenden bereinstimmung mit ISO 14644-1 (ISO 14644-2:20
8、00); Deutsche Fassung EN ISO 14644-2:2000 DIN EN ISO 14644-4:2003-06, Reinrume und zugehrige Reinraumbereiche Teil 4: Planung, Ausfhrung und Erst-Inbetriebnahme (ISO 14644-4:2001); Deutsche Fassung EN ISO 14644-4:2001 EUROPISCHE NORM EUROPEAN STANDARD NORME EUROPENNE Dezember 2005 ICS 13.040.35 Deut
9、sche Fassung Reinrume und zugehrige Reinraumbereiche Teil 3: Prfverfahren (ISO 14644-3:2005) Cleanrooms and associated controlled environments Part 3: Test methods (ISO 14644-3:2005) Salles propres et environnements matriss apparents Partie 3: Mthodes dessai (ISO 14644-3:2005) Diese Europische Norm
10、wurde vom CEN am 12. September 2005 angenommen. Die CEN-Mitglieder sind gehalten, die CEN/CENELEC-Geschftsordnung zu erfllen, in der die Bedingungen festgelegt sind, unter denendieser Europischen Norm ohne jede nderung der Status einer nationalen Norm zu geben ist. Auf dem letzten Stand befindliche
11、Listendieser nationalen Normen mit ihren bibliographischen Angaben sind beim Management-Zentrum oder bei jedem CEN-Mitglied auf Anfrage erhltlich. Diese Europische Norm besteht in drei offiziellen Fassungen (Deutsch, Englisch, Franzsisch). Eine Fassung in einer anderen Sprache,die von einem CEN-Mitg
12、lied in eigener Verantwortung durch bersetzung in seine Landessprache gemacht und dem Management-Zentrum mitgeteilt worden ist, hat den gleichen Status wie die offiziellen Fassungen. CEN-Mitglieder sind die nationalen Normungsinstitute von Belgien, Dnemark, Deutschland, Estland, Finnland, Frankreich
13、 Griechenland,Irland, Island, Italien, Lettland, Litauen, Luxemburg, Malta, den Niederlanden, Norwegen, sterreich, Polen, Portugal, Schweden, derSchweiz, der Slowakei, Slowenien, Spanien, der Tschechischen Republik, Ungarn, dem Vereinigten Knigreich und Zypern. EUROPISCHES KOMITEE FR NORMUNG EUROPE
14、AN COMMITTEE FOR STANDARDIZATION COMIT EUROPEN DE NORMALISATIONManagement-Zentrum: rue de Stassart, 36 B-1050 Brssel 2005 CEN Alle Rechte der Verwertung, gleich in welcher Form und in welchem Verfahren, sind weltweit den nationalen Mitgliedern von CEN vorbehalten.Ref. Nr. EN ISO 14644-3:2005 DEN ISO
15、 14644-3 EN ISO 14644-3:2005 (D) 2 Inhalt Seite Vorwort 3 Einleitung.3 1 Anwendungsbereich .4 2 Normative Verweisungen4 3 Begriffe .4 3.1 Allgemeines4 3.2 Messung luftgetragener Partikel5 3.3 Luftfilter und Luftfiltersysteme.7 3.4 Luftstrmung und andere physikalische Zustandsgren.8 3.5 Elektrostatis
16、che Messung 8 3.6 Messgerte und Messbedingungen.9 3.7 Betriebszustnde.11 4 Durchfhrung der Prfungen .11 4.1 Reinraumprfungen.11 4.2 Kurzbeschreibungen .12 5 Prfberichte14 Anhang A (informativ) Auswahl empfohlener Prfungen einer Anlage und Abfolge der Prfungen 15 Anhang B (informativ) Prfverfahren 19
17、 Anhang C (informativ) Messgerte 55 Literaturhinweise 69 EN ISO 14644-3:2005 (D) 3 Vorwort Dieses Dokument (EN ISO 14644-3:2005) wurde vom Technischen Komitee ISO/TC 209 Cleanrooms and associated controlled environments“ in Zusammenarbeit mit dem Technischen Komitee CEN/TC 243 Reinraumtechnologie“ e
18、rarbeitet, dessen Sekretariat vom BSI gehalten wird. Diese Europische Norm muss den Status einer nationalen Norm erhalten, entweder durch Verffentlichung eines identischen Textes oder durch Anerkennung bis Juni 2006, und etwaige entgegenstehende nationale Normen mssen bis Juni 2006 zurckgezogen werd
19、en. Entsprechend der CEN/CENELEC-Geschftsordnung sind die nationalen Normungsinstitute der folgenden Lnder gehalten, diese Europische Norm zu bernehmen: Belgien, Dnemark, Deutschland, Estland, Finnland, Frankreich, Griechenland, Irland, Island, Italien, Lettland, Litauen, Luxemburg, Malta, Niederlan
20、de, Norwegen, sterreich, Polen, Portugal, Schweden, Schweiz, Slowakei, Slowenien, Spanien, Tschechische Republik, Ungarn, Vereinigtes Knigreich und Zypern. Anerkennungsnotiz Der Text von ISO 14644-3:2005 wurde vom CEN als EN ISO 14644-3:2005 ohne irgendeine Abnderung genehmigt. Einleitung Reinrume u
21、nd zugehrige Reinraumbereiche sorgen fr eine Regelung der luftgetragenen Kontamination auf Grade, die fr die Durchfhrung kontaminationsempfindlicher Ttigkeiten geeignet sind. Zu Produkten und Prozessen, die aus der Regelung der luftgetragenen Kontamination Nutzen ziehen, gehren diejenigen in der Luf
22、t- und Raumfahrt, Mikroelektronik-, Pharma-, medizintechnischen, Gesundheits- und Nahrungsmittel-industrie. Dieser Teil von ISO 14644 stellt Prfverfahren dar, die verwendet werden knnen, um einen Reinraum, wie er in anderen Teilen von ISO 14644 beschrieben und festgelegt ist, zu charakterisieren. AN
23、MERKUNG Es werden in diesem Teil von ISO 14644 nicht alle Prfverfahren fr Reinraumparameter aufgezeigt. Die Verfahren und Gerte zur Charakterisierung anderer Parameter, die in Reinrumen und reinen Bereichen fr bestimmte Produkte oder Prozesse von Belang sind, werden anderweitig in Schriftstcken disk
24、utiert, die von ISO/TC 209 erarbeitet werden z. B. Verfahren zur Regelung und Messung von lebensfhigen Materialien (ISO 14698), Prfung der Funktionstchtigkeit von Reinrumen (ISO 14644-4) und Prfung von SD-Modulen (ISO 14644-7). Darber hinaus knnen andere Normen als anwendbar betrachtet werden. In de
25、n Angaben in diesem Teil von ISO 14644 wird auf Normen von ASTM, CEN, DIN, IEST, JACA, JIS und SEMI Bezug genommen. WARNUNG Bei der Anwendung dieses Teils von ISO 14644 knnen gefhrdende Materialien, Betriebsablufe und Gerte zum Einsatz kommen. Dieser Teil von ISO 14644 nimmt nicht in Anspruch, alle
26、mit seiner Anwendung verbundenen Sicherheitsprobleme zu behandeln. Es liegt in der Verantwortlichkeit des Anwenders dieses Teils von ISO 14644, geeignete Praktiken der Sicherheit und des Gesundheitsschutzes festzulegen und die Anwendbarkeit durch Bestimmungen gegebener Einschrnkungen festzustellen.
27、EN ISO 14644-3:2005 (D) 4 1 Anwendungsbereich Dieser Teil von ISO 14644 legt Prfverfahren fr die entsprechend bezeichnete Klassifikation der Reinheit von luftgetragenen Teilchen und zur Beschreibung der Leistung von Reinrumen und reinen Bereichen fest. Es werden Leistungsprfungen fr zwei Arten von R
28、einrumen und reinen Bereichen festgelegt, solche mit turbulenzarmer Strmung und solche mit turbulenter Strmung. Es werden drei Betriebszustnde betrachtet: Bereitstellung, Leerlauf, Fertigung. Die Prfverfahren empfehlen Prfgerte und Prfverfahren zur Bestimmung von Kenngren fr die Leistung. Wo das Prf
29、verfahren durch die Art des Reinraums oder reinen Bereichs beeinflusst wird, werden alternative Verfahren vorgeschlagen. Fr einige Prfungen werden mehrere unterschiedliche Verfahren und Gerte empfohlen, so dass verschiedenen Nutzungsarten Rechnung getragen werden kann. Soweit zwischen Kunden und Lie
30、feranten vereinbart, drfen auch alternative nicht in diesem Teil von ISO 14644 beschriebene Verfahren angewendet werden. Solche Verfahren liefern nicht zwingend gleichwertige Messungen. Dieser Teil von ISO 14644 ist nicht auf die Messung von Produkten oder Prozessen in Reinrumen oder reinen Bereiche
31、n anwendbar. 2 Normative Verweisungen Die folgenden zitierten Dokumente sind fr die Anwendung dieses Dokuments erforderlich. Bei datierten Verweisungen gilt nur die in Bezug genommene Ausgabe. Bei undatierten Verweisungen gilt die letzte Ausgabe des in Bezug genommenen Dokuments (einschlielich aller
32、 nderungen). ISO 7726:1998, Ergonomics of the thermal environment Instruments for measuring physical quantities ISO 14644-1:1999, Cleanrooms and associated controlled environments Part 1: Classification of air cleanliness ISO 14644-2:2000, Cleanrooms and associated controlled environments Part 2: Sp
33、ecifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1 ISO 14644-4:2001, Cleanrooms and associated controlled environments Part 4: Design, construction and start-up 3 Begriffe Fr die Anwendung dieses Dokuments gelten die folgenden Begriffe. 3.1 Allgemeines 3.1.1 Reinr
34、aum Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Partikel kontrolliert wird und der so konstruiert ist und verwendet wird, dass die Anzahl der in den Raum eingeschleppten bzw. in ihm entstehenden und abgelagerten Partikel kleinstmglich ist, und in dem andere reinheitsrelevante Parameter wie Tempera
35、tur, Feuchte und Druck nach Bedarf geregelt werden ISO 14644-1:1999, 2.1.1 3.1.2 reiner Bereich zugeordneter Bereich, in dem die Konzentration luftgetragener Partikel geregelt wird und der so konstruiert ist und verwendet wird, dass die Anzahl der in den Bereich eingeschleppten bzw. in ihm entstehen
36、den und abgelagerten Partikel kleinstmglich ist, und in dem andere reinheitsrelevante Parameter wie Temperatur, Feuchte und Druck nach Bedarf geregelt werden EN ISO 14644-3:2005 (D) 5 ANMERKUNG Dieser Bereich kann offen oder eingeschlossen sein und kann innerhalb oder auerhalb eines Reinraums liegen
37、 ISO 14644-1:1999, 2.1.2 3.1.3 Anlage Reinraum oder ein oder mehrere reine(r) Bereich(e) zusammen mit allen zugehrigen Bauten, Luft-aufbereitungssystemen, Anschlssen und Betriebsmedien ISO 14644-1:1999, 2.1.3 3.1.4 SD-Modul (separative device) Ausrstungsgegenstand, der konstruktive und dynamische M
38、ittel einsetzt, um zugesicherte Grade der Abgrenzung zwischen den Bereichen innerhalb und auerhalb eines fest umschriebenen Volumens zu erzeugen ANMERKUNG Einige industriespezifische Beispiele von SD-Modulen sind Reinlufthauben, Abgrenzungsumschlieun-gen, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironme
39、nts. 3.2 Messung luftgetragener Partikel 3.2.1 Aerosolgenerator Gert, das in der Lage ist, durch thermische, hydraulische, pneumatische, akustische oder elektrostatische Verfahren Partikel zu erzeugen, deren Gre in einem geeigneten Bereich liegt (z. B. 0,05 m bis 2 m) und deren Konzentration konstan
40、t ist 3.2.2 luftgetragenes Partikel flssiges oder festes in der Luft schwebendes lebensfhiges oder nicht lebensfhiges Teilchen, (fr die Anwendung dieses Teils von ISO 14644) zwischen 1 nm und 100 m gro ANMERKUNG Zu Klassifizierungszwecken wird auf ISO 14644-1:1999, 2.2.1, verwiesen. 3.2.3 Mediandurc
41、hmesser der gezhlten Partikel, CMD Mediandurchmesser der Partikel auf der Grundlage ihrer Anzahl ANMERKUNG Beim Medianwert der gezhlten Partikel wird die Hlfte der Masse aller Partikel durch Partikel gebildet, deren Durchmesser geringer ist als der Mediandurchmesser der gezhlten Partikel, die andere
42、 Hlfte durch solche, deren Durchmesser grer ist. 3.2.4 Makropartikel Partikel mit einem quivalentdurchmesser grer als 5 m ISO 14644-1:1999, 2.2.6 3.2.5 M-Deskriptor gemessene oder festgelegte Konzentration von Makropartikeln je Kubikmeter Luft, ausgedrckt in Form des quivalentdurchmessers, der fr da
43、s verwendete Messverfahren charakteristisch ist EN ISO 14644-3:2005 (D) 6 ANMERKUNG Der M-Deskriptor darf als Obergrenze fr den Mittelwert der Probenahmeorte betrachtet werden (oder als eine obere Vertrauensgrenze in Abhngigkeit von der Anzahl der verwendeten Probenahmeorte, die den Reinraum oder de
44、n Reinen Bereich beschreiben). M-Deskriptoren eignen sich nicht, um Partikelreinheitsklassen der Luft zu definieren, aber sie knnen unabhngig von oder in Verbindung mit einer Partikelreinheitsklasse der Luft zitiert werden. ISO 14644-1:1999, 2.3.2 3.2.6 Mediandurchmesser der Partikelmasse MMD Median
45、durchmesser der Partikel auf der Grundlage der Partikelmasse ANMERKUNG Beim Medianwert der Partikelmasse wird die Hlfte der Masse aller Partikel durch Partikel gebildet, deren Durchmesser geringer ist als der Mediandurchmesser der Partikelmasse, die andere Hlfte durch solche, deren Durchmesser grer
46、ist. 3.2.7 Partikelkonzentration Anzahl der einzelnen Partikel je Volumeneinheit Luft ISO 14644-1:1999, 2.2.3 3.2.8 Partikelgre Durchmesser einer Kugel, welche bei einer Messung mit einem gegebenen Gert zur Bestimmung der Partikelgre ein gleichwertiges Ergebnis erzeugt wie das zu messende Partikel A
47、NMERKUNG Bei der Zhlung von Einzelpartikeln mit Streulichtpartikelzhlgerten wird der quivalente optische Durchmesser verwendet. ISO 14644-1:1999, 2.2.2 3.2.9 Partikelgrenverteilung Summenhufigkeitsverteilung der Partikelkonzentration, dargestellt als Funktion der Partikelgre ISO 14644-1:1999, 2.2.4
48、3.2.10 Prfaerosol Suspension von flssigen und/oder festen Partikeln mit bekannter und geregelter Gre und Konzentration in Gas 3.2.11 U-Deskriptor gemessene oder festgelegte Konzentration von Partikeln je Kubikmeter Luft, einschlielich der ultrafeinen Partikel ANMERKUNG Der U-Deskriptor darf als Ober
49、grenze fr den Durchschnitt der Probenahmeorte betrachtet werden (oder als eine obere Vertrauensgrenze in Abhngigkeit von der Anzahl der verwendeten Probenahmeorte, die den Reinraum oder den reinen Bereich beschreiben). U-Deskriptoren eignen sich nicht, um Partikelreinheitsklassen der Luft zu definieren, aber sie knnen unabhngig von oder in
