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SJ T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件.pdf

上传人：卡尔 文档编号：75127 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：10 大小：284.23KB
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资源描述

本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于磁控溅射设备。

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