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YS T 718-2009 平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶.pdf

上传人：刘芸 文档编号：89996 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：6 大小：82.96KB
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资源描述

本标准规定了平面磁控溅射光学薄膜用铌靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、订货单(合同)内容。本标准适用于平面磁控溅射光学薄膜用铌靶材。

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