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SJ T 31082-1994 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法.pdf

上传人：卡尔 文档编号：75720 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：5 大小：91.17KB
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资源描述

本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查、评定方法。标准适用于极限压力在110(-5)110(-4)pa范围内的各种型号真空镀膜设备。

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