1、 J 78 JB/T 53021 1999 真 空 镀 膜 设 备 产 品 质 量 分 等 （内部使用） 1999-12-30 发布2000-06-01 实施国 家 机 械 工 业 局 发 布 I前 言 本标准是对 JB/T 53021 92真空镀膜设备 产品质量分等进行的修订。此次修订，对其主要技术内容作了大的修改。 本标准自实施之日起代替 JB/T 53021 92。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出并归口。 本标准起草单位：沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人：李玉英、李春影。 本标准于 1992 年首次发布。 JB/T 53021 1999 1 1 范围 本标准规定了真空镀膜
2、设备（以下简称产品）的质量等级、检验规则和评定方法。 本标准适用于压力在 104103Pa 范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备产品。 2 引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。 GB/T 111641999 真空镀膜设备 通用技术条件 3 产品的质量等级 3. 1 产品根据其质量水平和使用价值分为合格品、一等品和优等品。 3. 2 产品的考核项目及指标 a）各等级的产品均应满足 GB/T 111641999 中 4.3、 4.4 和 4.5 的要求；
3、 b） A类各等级的产品还应达到表 1 规定的各项相应指标， B 类各等级的产品还应达到表 2 规定的各项相应指标。 4 检验规则和评定方法 4. 1 抽样方法 4. 1. 1 检查批的组成 在生产厂内经检验合格入库（或用户处）的产品构成检查批。检查批可以与投产批、销售批、运输批相同或不同， 由同一规格型号或不同规格型号、 同一质量等级、 生产条件和生产时间基本相同的单台产品组成，但每个检查批的批量不得超过 250 台。 当没有明确规定时，批的组成、批量大小以及识别批的方式等，应协商确定。 4. 1. 2 抽样方案 采用一次抽样方案，每批样本数为 2 台，合格判定数为 0。 4. 1. 3 样
4、本的抽取 样本应从检查批中随机抽取，抽样可在批构成之后或在批的构成过程中进行。 4. 2 试验方法 按 GB/T 11164 1999 中第 5 章的规定。 4. 3 评定方法 国家机械工业局 1999-12-30 批准 中华人民共和国机械行业标准真 空 镀 膜 设 备 产 品 质 量 分 等 （内部使用） JB/ T 53021 1999 代替 JB/T 53021 92 2000-06-01 实施 JB/T 53021 1999 2判定产品的质量等级，必须符合该等级全部考核项目的要求，否则按达到的最低一项指标定等级。批的质量等级以 2 台样品中最低等级判定。 表 1 产品质量等级考 核 项
5、 目 合 格 品 一 等 品 优 等 品 极限压力 Pa 5 104 3104 1104抽气时间（ 1057 1 03Pa） min 20 15 10 升 压 率 Pa/h 8 101 3101 8102淀积源型式、尺寸、数量、最大耗电功率 工件架尺寸及转动方式 工件烘烤方式及烘烤温度 离子轰击，工件偏压功率 膜厚监控方式及控制精度 设备控制方式 设备最大耗电量 按设计要求 表 2 产 品 质 量 等 级 考 核 项 目 合 格 品 一 等 品 优 等 品 极限压力 Pa 5 103 3103 1103抽气时间（ 1057 1 02Pa） min 10 8 5 升 压 率 Pa/h 2.5 7
6、101 2101淀积源型式、尺寸、数量、最大耗电功率 工件架尺寸及转动方式 工件烘烤方式及烘烤温度 离子轰击，工件偏压功率 膜厚监控方式及控制精度 设备控制方式 设备最大耗电量 按设计要求 JB/T 530211999中 华 人 民 共 和 国 机 械 行 业 标 准 真 空 镀 膜 设 备 产 品 质 量 分 等 （内部使用） JB/T 53021 1999 * 机械科学研究院出版发行 机械科学研究院印刷 （北京首体南路 2 号 邮编 100044） * 开本 880 1230 1/16 印张 1/2 字数 6,000 2000年 5月第一版 2000 年 5 月第一次印刷 印数 1 500 定价 10.00元 编号 991635 机械工业标准服务网： http:/www.JB
