1、 KSKSKSKSKSKSKSK KSKSKS KSKSK KSKS KSK KS KS B ISO 3529 1 1：KS B ISO 3529 1:2008 2008 9 8 http:/www.kats.go.krKS B ISO 3529 1:2008 : ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) : (http:/www.standard.go.kr) ： ： 2003 12 15 ： 2008 9 8 2008-0508 ： ： ( 02-509-7290) (http:/www.kats.go.kr). 10 5 , . KS B ISO 3529 1:2008 1： Vacuum
2、 technology Vocabulary Part 1： General terms 1981 1 ISO 3529 1, Vacuum technology Vocabulary Part 1： General terms . 1 . . , . 2 2.0.1 (standard ambient conditions) ： 20 ： 65 % ： 101 325 Pa 1 013.25 mbar 2.0.2 (standard reference conditions for gases) ： 0 ： 101 325 Pa 2.1.1 (vacuum) , 2.1.2 (ranges
3、of vacuum) . . 100 kPa 100 Pa 100 Pa 0.1 Pa KS B ISO 3529 1:2008 2 0.1 Pa10 Pa (HV) 10 Pa (UHV) 2.2.1 (pressure) ： p, ： Pa a) ( ). b) ( .) “ ” . , . 2.2.2 (pascal)： Pa 1 N/m2 ( ) B . 2.2.3 (partial pressure) B , ： pB, ： Pa 2.2.4 (total pressure)： Pa . “ ” . 2.3.1 (gas) “ ” . 2.3.2 (non-condensable g
4、as) 2.3.3 (vapour ; vapor) 2.3.4 (saturation vapour pressure)： pL, ： Pa KS B ISO 3529 1:2008 3 2.3.5 (degree of saturation) 2.3.6 (saturated vapour) . . 2.3.7 (unsaturated vapour) 2.4.1 (number density of molecules)： n, ： m 3 t . 2.4.2 (concentration of molecules of a given component) B , ： nB, ： m
5、3 , t . 2.4.3 (unitary mass density)： u, ： kg m 3 Pa 1 . 2.4.4 (mean free path)： l, , ： m . ( ). 2.4.5 (collision rate) ： , ： s 1 . . 2.4.6 (volume collision rate)： , ： m 3 s 1 . . 2.4.7 ( ) (quantity of gas)： G, ： Pa m3, Pa L . (20 ) . . 2/3 . KS B ISO 3529 1:2008 4 2.5.1 (diffusion of gas) . ( “ ”
6、 .) . 2.5.2 (diffusion coefficient ; diffusivity)： D, ： m2 s 1 ( ) . 2.6.1 (viscous flow) . . . 2.6.2 (Poiseuille flow) 2.6.3 (molecular flow) 2.6.4 (intermediate flow) 2.6.5 (molecular effusion ; effusive flow) 2.6.6 (transpiration) 2.6.7 (thermal transpiration) . . 2.7.1 , (molecule flow rate, mol
7、ecular flux)： qN, ： s 1 S S 2.7.1.0 , (molecule flow rate density, density of molecular flux)： s 1 m 2 S . KS B ISO 3529 1:2008 5 2.7.2 (throughtput)： qG, ： Pa m3 s 1, Pa L s 1 . . 2.7.3 (mass flow rate)： qm, ： kg s 1 S 2.7.4 (volume flow rate)： qV, ： m3 s 1 S 2.7.5 (molar flow rate)： qv, ： kg mol s
8、 1 S 2.8.0 (Maxwellian velocity distribution) . . 2.8.1 (transmission probability)： PC 2.8.2 (molecule conductance)： CN, UN, ： m3 s 1, L s 1 , . 2.8.3 (conductance)： C, U, ： m3 s 1, L s 1 , ( ). 2.8.4 (intrinsic conductance)： Ci, Ui, ： m3 s 1, L s 1 ( ) . , . 2.8.5 (resistance)： w, ： m 3 s, L 1 s 2.
9、9.1 (sorption) ( ) ( ) KS B ISO 3529 1:2008 6 2.9.2 (adsorption) ( ) ( ) . 2.9.3 (physisorption) 2.9.4 (chemisorption) 2.9.5 (absorption) ( ) ( ) . 2.10.1 (accommodation factor)： a . 2.10.2 (impingement rate)： v, ： m 2 s 1 2.10.3 (condensation rate) ( ) 2.10.4 (sticking rate) 2.10.5 (sticking probab
10、ility)： Ps 2.10.6 (residence time)： , ： s 2.11 (migration) 2.12.1 (desorption) . . KS B ISO 3529 1:2008 7 2.12.2 (degassing) . 2.12.3 (outgassing) . 2.13.1 (evaporation rate)： m 2 s 1, kg mol m 2 s 1, g m 2 s 1 ( ) 2.13.2 desorption (or outgassing, or degassing) rate： qGu, ： Pa m s 1, m 2 s 1 ( ) 2.
11、14.1 (permeation) . . 2.14.2 (permeability)： . . 2.14.3 (permeability coefficient) ： P . KS B ISO 3529 1:2008 8 A SI ： KS A ISO 31 3( 3： ) ( ： bar)1)1 bar 105 Pa 1 barye 10 1 Pa (： ftH2O) 1 ftH2O 2 989.07 Pa2) (： inHg) 1 inHg 3 386.39 Pa2) (： inH2O) 1 inH2O 249.089 Pa2) (： mmHg) 1 mmHg 133.322 Pa2)
12、 mmH2O) 1 mmH2O 9.806 65 Pa2) (： dyn cm 2) 1 dyn cm 2 10 1 Pa (： hpz) 1 hpz 105 Pa (： kgf cm 2) 1 kgf cm 2 98 066.5 Pa (： kgf m 2) 1 kgf m 2 9.806 65 Pa (： bar) 1 bar 10 1Pa (： Hg, mHg) 1 Hg 0.133 322 Pa (： Torr) 1 Torr 0.000 133 322 Pa2) (： mbar, mb) 1 mbar 102Pa (： mTorr) 1 mTorr 0.133 322 Pa2)
13、 ： atm)1)1954 1 atm 101 325 N m 2 (： pz) 1 pz 103 Pa (： pdl ft 2) 1 pdl ft 2 1.488 16 Pa2) (： lbf ft 2) 1 lbf ft 2 47.880 3 Pa2) (： lbf in 2) 1 lbf in 2 6 894.76 Pa2) (： at) 1 at 98 066.5 Pa (： T) 1 Torr 133.322 Pa2)1) C.I.P.M.(1969) SI . (bar) (Atmosphere) . 2) 6 . KS B ISO 3529 1:2008 9 B ( ) a 2
14、10.1 C 2.8.3 Ci2.8.4 CN2.8.2 D 2.5.2 G 2.4.7 l 2.4.4 n 2.4.1 p 2.2.1 P 2.14.3 2.14.2 PC2.8.1 pL2.3.4 Ps2.10.5 qG2.7.2 qGu2.13.2 qm 2.7.3 qN2.7.1 qV2.7.4 qv2.7.5 w 2.8.5 U 2.8.3 Ui2.8.4 UN2.8.2 2.4.4 2.10.2 u2.4.3 2.10.6 2.4.6 2.4.5 KS B ISO 3529 1:2008 10 A absorbate 2.9.5 absorbent 2.9.5 absorptio
15、n 2.9.5 accommodation factor 2.10.1 adsorbate 2.9.2 adsorbent 2.9.2 adsorption 2.9.2 chemical adsorption 2.9.4 physical adsorption 2.9.3 C chemisorption 2.9.4 coefficient diffusion coefficient 2.5.2 permeability coefficient 2.14.3 collision rate 2.4.5 volume collision rate 2.4.6 concentration of mol
16、ecules 2.4.2 condensation rate 2.10.3 conditions standard ambient conditions 2.0.1 standard reference conditions 2.0.2 conductance 2.8.3 intrinsic conductance 2.8.4 molecule conductance 2.8.2 D degassing 2.12.2 degassing rate 2.13.2 degree of saturation 2.3.5 density molecule flow rate density 2.7.1
17、0 number density of molecules 2.4.1 unitary mass density 2.4.3 density of molecular flux 2.7.1.0 desorption 2.12.1 desorption rate 2.13.2 diffusion coefficient 2.5.2 diffusion of gas 2.5.1 distribution Maxwellian velocity distribution 2.8.0 KS B ISO 3529 1:2008 11 E effusion molecular effusion 2.6.5 effusive flow 2.6.5 evaporation rate 2.13.1 F factor accommodation factor 2.10.1 flow effusive flow 2.6.5 intermediate flow 2.6.4 laminar flow 2.6.1 molecular flow 2.6.3 Poiseuille flow 2.6.2 turbulent flow 2.6.1 viscous flow 2.6.1 flow rate mass flow rate 2.7.3 molar flow rate
