KS D ISO 22493-2012 Microbeam analysis-Scanning electron microscopy-Vocabulary《微光束分析 扫描电子显微镜 术语》.pdf
《KS D ISO 22493-2012 Microbeam analysis-Scanning electron microscopy-Vocabulary《微光束分析 扫描电子显微镜 术语》.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《KS D ISO 22493-2012 Microbeam analysis-Scanning electron microscopy-Vocabulary《微光束分析 扫描电子显微镜 术语》.pdf(28页珍藏版)》请在麦多课文档分享上搜索。
1、 KSKSKSKSKSKSKSK KSKSKS KSKSK KSKS KSK KS KS D ISO 22493 KS D ISO 22493:2012 2012 12 7 http:/www.kats.go.krKS D ISO 22493:2012 : ( ) ( ) () () ( ) : () () : (http:/www.standard.go.kr) : :2012 12 7 2012-0687 : : ( 02-509-7274) (http:/www.kats.go.kr). 10 5 , . KS D ISO 22493:2012 i ii 1 1 2 1 3 (SEM)
2、.1 4 (SEM) .6 5 SEM .13 6 SEM .17 7 SEM 19 21 KS D ISO 22493:2012 ii 2008 1 ISO 22493, Microbeam analysis Scanning electron microscopyVocabulary . KS D ISO 22493:2012 Microbeam analysis Scanning electron microscopy Vocabulary 1 (SEM) . KS D ISO 23833 . SEM . (: EPMA, AEM, EDS) . 2 AEM / (analytical
3、electron microscope/microscopy) BSE (BE, backscattered electron) CPSEM / (controlled pressure scanning electron microscope/microscopy) CRT (cathode ray tube) EBIC (electron beam induced current) EBSD (electron backscatter/backscattering diffraction) EDS X / (energy dispersive X-ray spectrometer/spec
4、trometry) EDX X (energy dispersive X-ray spectrometry) EPMA / (electron probe microanalyser/analysis) ESEM / (environmental scanning electron microscope/microscopy) FWHM (full width at half maximum) SE 2 (secondary electron) SEM / (scanning electron microscope/microscopy) VPSEM / (variable-pressure
5、scanning electron microscope/microscopy) 3 (SEM) 3.1 (electron optics) ( ) 3.1.1 (electron source) KS D ISO 22493:2012 2 3.1.1.1 (energy spread) 3.1.1.2 (effective source size) (electron source) 3.1.2 (electron emission) 3.1.2.1 (field emission) 3.1.2.1.1 (cold field emission) 3.1.2.1.2 ( , Shottky
6、emission) 3.1.2.2 (thermionic emission) (work function) 3.1.3 (electron lens) ( ) 3.1.3.1 (electrostatic lens) 3.1.3.2 (electromagnetic lens) ( ) 3.1.4 (focusing) 3.1.5 (demagnification) KS D ISO 22493:2012 3 3.2 (electron scattering) ( ) ( ) ( ) 3.2.1 (elastic scattering) 3.2.1.1 (back scattering)
7、3.2.2 (inelastic scattering) 0.01 rad . 3.2.3 (scattering cross-section) (m2) . 3.2.4 (mean free path) 3.2.5 (Bethe range) (: 1 keV) ( ) , . 3.3 (BSE) 50 eV . 3.3.1 (BSE ) 3.3.2 BSE (BSE angular distribution) KS D ISO 22493:2012 4 3.3.3 BSE (BSE atomic number dependence) 3.3.4 BSE (BSE beam energy d
8、ependence) 3.3.5 BSE (BSE depth distribution) 3.3.6 BSE (BSE energy distribution) 3.3.7 BSE (BSE escape depth) 3.3.8 BSE (BSE lateral spatial distribution) 2 3.4 2 (SE, secondary electron) 1 2 50 eV . 3.4.1 SE / (SE yield/coefficient) 2 3.4.2 SE (SE angular distribution) 2 3.4.3 SE (SE energy distri
9、bution) 2 3.4.4 SE (SE escape depth) 2 3.4.5 SE (SE tilt dependence) 2 KS D ISO 22493:2012 5 3.4.6 SE1(SEI) 2 3.4.7 SE2(SEII) 2 3.4.8 SE3(SEIII) 2 3.4.9 SE4(SEIV) 2 3.5 (electron penetration) ( ) 3.5.1 (electron range) 3.5.2 (interaction volume) 3.5.3 (information volume) 3.5.4 (penetration depth) (
- 1.请仔细阅读文档,确保文档完整性,对于不预览、不比对内容而直接下载带来的问题本站不予受理。
- 2.下载的文档,不会出现我们的网址水印。
- 3、该文档所得收入(下载+内容+预览)归上传者、原创作者;如果您是本文档原作者,请点此认领!既往收益都归您。
本资源只提供5页预览,全部文档请下载后查看!喜欢就下载吧,查找使用更方便
10000 积分 0人已下载
下载 | 加入VIP,交流精品资源 |
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- KSDISO224932012MICROBEAMANALYSIS SCANNINGELECTRONMICROSCOPY VOCABULARY 微光 分析 扫描 电子显微镜 术语 PDF
链接地址:http://www.mydoc123.com/p-817323.html