1、 KSKSKSKS KSKSKSK KSKSKS KSKSK KSKS KSK KS KS M 0028 KS M 0028 :2009 2009 11 30 http：/www.kats.go.krKS M 0028:2009 ： ( ) ( ) SK R&D center () () () ( ) ： (http：/www.standard.go.kr) ： ： 1983 10 20 ： 2009 11 30 2009-0741 ： ： ( 02-509-7300) (http：/www.kats.go.kr). 10 5 , . KS M 0028:2009 General rules
2、for light emission spectrochemical analysis 1 , . a) b) , c) d) e) f) , g) h) i) j) 2 . . ( ) . KS A ISO 6, / ISO KS L 2301, KS L 2303, KS L 2306, KS L 2307, KS L 2320, KS L 2323, KS M 0001, 3 , , . KS M 0028:2009 2 4 4.1 , , , , . . . . . 4.2 . a) , , , , , , . b) , (, .) . c) , , , (, .), , . 4.3
3、. a) b) c) d) e) 4.3.1 , , , . . a) 1) (DC HVS) , 10 kV , . 1 . KS M 0028:2009 3 1 ：2 (815) kV 5 (0820) H 2 6 3 0.007 7 4 1 2) (AC HVS) , . 2 . 1 ：2 (1020) kV 5 (01 250) H 2 6 3 (0.002 50.007 5) F 7 4 (03) 8 2 b) . (AC HVA) (AC LVA) , . . , , 30 A , . . 3, 4, 5 6 . KS M 0028:2009 4 1 5 2 ：2 5 kV 6 ：
4、2 2.4 kV 3 7 4 8 3 1 7 2 8 (9.577) 3 (0.002 50.007 5) F 9 ：2 280 V 4 10 5 (03) 11 6 4 KS M 0028:2009 5 1 7 2 8 (9.577) 3 (0.002 50.007 5) F 9 ：2 280 V 4 10 5 (03) 11 6 12 5 1 7 2 ( , ) 8 (180) 3 ：2 (4.513.5) kV 9 4 10 5 (0.003 30.006 6) F 11 6 6 KS M 0028:2009 6 c) 1 kV . , , . (DC LVS) (DC LVA) . 7
5、 8 . 1 ：2 15 kV 7 2 8 3 9 (260) F 4 10 (2200) 5 11 50 H 360 H 6 ：2 1 kV 12 7 KS M 0028:2009 7 1 7 ：2 1 kV 2 ：2 20 kV 8 3 9 (115) F 4 10 (150) 5 11 50 H 330 H 6 12 8 d) 27 MHz, 1 kW2 kW 2 450 MHz, 300 W450 W . 4.3.2 , , , , . , . , . a) 20 mm . , , . b) 10 mm, 50 mm , . 9 10 . KS M 0028:2009 8 1 4 2
6、5 3 6 9 1 4 2 5 3 6 10 ( ) c) , . 5 rpm15 rpm , . d) , . . 27 MHz 11 . , . KS M 0028:2009 9 . 2 450 MHz () . 12 . . . 11 12 4.3.3 KS M 0028:2009 10 . a) . b) 1) . c) 2) . . 1) . . 13 . 1 3 2 4 13 2) . . . 14 . 1 3 2 4 14 1) , . . F . 2) . , . KS M 0028:2009 11 3) . . 15 . 1 4 2, 3 5 15 4) , . . 16 .
7、 1 3 7 2, 4, 5 6 16 4.3.4 , . , , . (SN) . (2 0.2) nm/mm . , 100 000 3) . 3) , . , 100 000 , 500 000 . KS M 0028:2009 12 . F 1) 3010 , F 10 . . a) , , . . . 1) . 1 . 1 nm/mm nm mm 250 nm 300 nm 350 nm 400 nm 450 nm 500 nm 200800 60 580700 0.85 1.49 2.18 3.37 4.54 200800 30 1 5001 700 0.30 0.45 0.80
8、1.25 1.70 2.20 4 210800 60 4 970 0.43 1.25 1.1) 200 nm800 nm 214 mm , . . 1.2) , 200 nm800 nm 670 mm . , , , , . 1.3) 4 4 . 2) . , , , . , . , , , , , , , . 2 . KS M 0028:2009 13 2 /mm m nm/mm F P mm 1 nm 590 1 180 960 1.5 1.5 0.86 1.09 0.54 0.61 F 500 F 500 F 400 540 270 240 2 960 1 200 1.5 1.0 0.6
9、9 0.82 P 250 P 250 172.5 210 600 1 200 600 1 200 2 160 1 200 2 160 600 1 200 3.4 3.4 1.7 1.7 1.7 1.2 1.2 1.0 1.0 0.5 0.24 0.98 0.48 0.26 0.68 0.36 1.66 0.83 P 500 P 500 P 500 P 500 P 500 P 250 P 250 P 250 P 250 250 125 500 250 125 170 90 420 210 2.1) , , . , , . 2.2) , . 2.3) , (in plane) (off plane
10、) , . . 3) . 3.1) . 3.2) . 3.3) . , 4) . . 210 nm , 210 nm 4) . 1 6KS M 0028:2009 14 103Torr133.322 mPa . , , . . b) . . 1) . 2) 200 mm300 mm . 3) 500 nm 0.05 mm0.1 nm . 4) 10 20. 5) , , . 60 2 , . 4.3.5 a) . . , , , . , , , (200.5) , . . 20 . , ( ) . . . . 10 20 , , , . , . () , . b) . 2 1 2 KS M 0028:2009 15 , . . 17 . 17 c) , . , , , . ,
