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YS T 24-1992 外延钉缺陷的检验方法.pdf

上传人：bowdiet140 文档编号：89104 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：2 大小：45.12KB
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资源描述

本标准现定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于任何直径与晶向的硅外延片上高度不小4m的钉缺陷存在与否的判断。如果钉缺陷比较少且彼此不相连,本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。

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