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YS T 28-1992 硅片包装.pdf

上传人：刘芸 文档编号：89197 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：3 大小：55.21KB
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本标准规定了硅片包装的分级、技术要求、操作、运输和贮存。本标准适用于硅抛光片和硅外延片的包装。

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