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GB T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片.pdf

上传人：bowdiet140 文档编号：100448 上传时间：2019-07-08 格式：PDF 页数：6 大小：114.25KB
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资源描述

本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。

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