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GB T 24574-2009 硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法.pdf

上传人：花仙子 文档编号：107462 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：12 大小：974.04KB
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资源描述

本标准规定了硅单晶中-族杂质的光致发光测试方法。本标准适用于低位错单晶硅中导电性杂质硼和磷含量的同时测定。本标准用于检测单晶硅中含量为1lO at?cm 510 at?cm 的各种电活性杂质元素。

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