1、中华人民共和国国家标准半导体集成电路采样 保持放大器测试方法的基本原理国家技术监督局 批准 实施主题内容与适用范围本标准规定了半导体集成电路采样保持放大器以下简称器件电参数测试方法的基本原理本标准适用于半导体集成电路采样保持放大器的电参数测试引用标准半导体集成电路 电路测试方法的基本原理半导体集成电路运算电压放大器测试方法的基本原理总的要求若无特殊说明测试期间环境或参考点温度偏离规定值的范围应符合器件详细规范的规定测试期间 施于被测器件的电参量应符合器件详细规范的规定测试期间应避免外界干扰对测试精度的影响 测试设备引起的测试误差应符合器件详细规范的规定被测器件与测试系统连接或断开时不应超过器件
2、的使用极限条件若有要求时应按器件详细规范规定的顺序接通电源测试期间 被测器件应按器件详细规范规定连接外围电路和补偿网络如需外接保持电容 时 保持电容器应符合测试要求 在测试电路安排上应尽量减小外电路对保持电容的馈通与泄漏若电参数值是由几步测试的结果经计算确定时这些测试的时间间隔应尽可能短参数测试线性误差目的测试器件在采样状态时实际转移特性曲线与最佳拟合直线间的最大相对偏差测试原理图测试原理图如图 所示图测试条件测试期间 下列测试条件应符合器件详细规范的规定环境温度电源电压失调补偿网络外接保持电容适用时控制信号电平满量程输入电压和满量程输出电压负载电阻测试程序按规定的环境条件将被测器件接入测试系
3、统中接通规定的电源电压和直流信号源施加控制信号 使器件处于采样状态调节直流信号源 使器件的输入电压为零调节失调补偿网络 使器件输出电压为零在规定的满量程输入电压范围内 逐步调节器件的输入电压 并测出相应于每一输入电压的输出电压根据 测试结果确定最佳拟合直线找出实际特性曲线与最佳拟合直线之间的最大偏差按式 计算线性误差式中 满量程输出电压增益误差目的测试器件在采样状态时实际满量程输出电压与规定的满量程输出电压的相对偏差测试原理图测试原理图如图 所示图测试条件测试期间 下列测试条件应符合器件详细规范的规定环境温度电源电压失调补偿网络外接保持电容适用时控制信号电平满量程输入电压和满量程输出电压负载电
4、阻测试程序按规定的环境条件将被测器件接入测试系统中接通规定的电源电压和直流信号源施加控制信号 使器件处于采样状态调节直流信号源 使器件的输入电压为零调节失调补偿网络 使器件的输出电压为零调节直流信号源 使器件输入满量程电压在器件的输出端测出输出电压按式 计算增益误差式中 满量程输出电压采集时间目的测试器件从控制信号进入采样状态至输出电压最后一次进入误差带所需的时间测试原理图测试原理图如图 所示测试波形图如图 所示图图测试条件测试期间 下列测试条件应符合器件详细规范的规定环境温度电源电压输入信号和控制信号的波形和幅度外接保持电容适用时输出电压及误差范围测试程序按规定的环境条件将被测器件接入测试系
5、统中接通规定的电源电压输入信号 和控制信号按图 所示的波形图读取 和 取其中大的即为 值孔径时间目的测试器件从控制信号进入保持状态至输出电压第一次达到保持电平所需的时间测试原理图测试原理图如图 所示测试波形图如图 所示图图测试条件测试期间 下列测试条件应符合器件详细规范的规定环境温度电源电压输入信号和控制信号的波形和幅度外接保持电容适用时测试程序按规定的环境条件将被测器件接入测试系统中接通规定的电源电压输入信号 和控制信号适当调节控制信号波形与输入信号波形的延迟 适当调节输入信号波形的上升速率以便能清晰地观察到所测的孔径时间按图 所示的波形图读取 值孔径不确定区目的测试器件孔径时间的变化范围测
6、试原理图测试原理图如图 所示测试波形图如图 所示图图测试条件测试期间 下列测试条件应符合器件详细规范的规定环境温度电源电压输入信号和控制信号的波形和幅度外接保持电容适用时测试程序按 条的程序连续测试 读取 的最大值 和最小值按式 计算孔径不确定区电压跌落率目的测试器件从采样进入保持状态后单位时间输出电压的变化测试原理图测试原理图如图 所示测试波形图如图 所示图图测试条件测试期间 下列测试条件应符合器件详细规范的规定环境温度电源电压输入信号和控制信号的波形和幅度外接保持电容适用时测试程序按规定的环境条件将被测器件接入测试系统中接通规定的电源电压和输入信号 控制信号适当调节控制信号和输入信号的频率
7、 以便能清晰地分辨输出波形的跌落曲线按图 所示的波形图读取 或 及其对应的时间按式 计算电压跌落率跌落电流目的对外接保持电容的器件测试其从采样进入保持状态后流经保持电容的泄漏电流测试原理图测试原理图如图 所示测试波形图如图 所示图图测试条件测试期间 下列测试条件应符合器件详细规范的规定环境温度电源电压输入信号和控制信号的波形和幅度外接保持电容测试程序按规定的环境条件将被测器件接入测试系统中接通规定的电源电压输入信号 和控制信号适当调节控制信号和输入信号的频率 以便能清晰地分辨输出波形的跌落曲线按图 所示的波形图读取 或 及其对应的时间按式 计算跌落电流式中 外接保持电容采样 保持失调电压目的测
8、试器件从采样到保持状态时输出电压的跳动变化值测试原理图测试原理图如图 所示测试波形图如图 所示图图测试条件测试期间 下列测试条件应符合器件详细规范的规定环境温度电源电压输入直流信号电压及控制信号的波形和幅度外接保持电容适用时测试程序按规定的环境条件将被测器件接入测试系统中接通规定的电源电压输入直流信号 和控制信号适当调节控制信号频率以便能清晰地分辨输出波形的跳变幅度按图 所示的波形图读取输出电压的跳动幅度即为馈通误差目的测试器件从采样进入到保持状态后由于输入信号满量程变化引起的输出电压的变化测试原理图测试原理图如图 所示测试波形图如图 所示图图测试条件测试期间 下列测试条件应符合器件详细规范的规定环境温度电源电压输入直流信号及控制信号的波形和幅度外接保持电容适用时输入满量程跳变电压测试程序按规定的环境条件将被测器件接入测试系统中接通规定的电源电压输入信号 和控制信号适当调整输入信号和控制信号频率以便能清晰地分辨输出波形的跳变幅度按图 所示的波形图读取输出电压幅度的变化 即为附录电参数符号与名称对照表补充件表符 号 名 称馈通误差增益误差线性误差跌落电流电压跌落率采集时间孔径不确定区孔径时间采样 保持失调电压附加说明本标准由全国集成电路标准化分技术委员会提出本标准由上海元件五厂负责起草主要起草人王庆光高信龄
