1、中华人民共和国计量器具检寇规程标准压缩式真空计JJG 261 - 81 试行国家计量总局t京标准压缩式真空计检定规程(试行)Verification Regulation of Standard Compress ion Vacuum Gauge 飞鸣、.+命申争旷AVY -r AVlA 巾grF叫一吨叫门川A甲骨川加-d h叩Ghp-fd 1i 呻IL蜘b 时AWMr+非-bs飞本检定规程经国家计量总局于1981年7月20日批准，并自1982年11月1日起施行.归口单位z中国计量科学研究院起草单位=中国计量科学研究院主要起草人z王选琦本规程技术条文由起草单位负责解释.目录一、概述. . .
2、(1) 一、技术要求. . . .0.( 2 ) 检定设备. . . (3) 四、检定. . . . . .( 4) 五、检定结果的处理. . . . . (9) 附录1检定结果. . . . . (1 1) 附录2修正量也2计算表. . . (11) 附录3修正量误差21计算表. .(12) 附录4加权平均值比计算表. .(12) 附录5中国各主要城市的重力加速度. . (1 3) 附录6一个大气压下15250C纯禾密度表. .(14) JJG 261-81 共14页第1页标准压缩式真空计检定规程本规程适用于测量范围为8x 10-3-1 Pa(低盘在:标准压缩式真空计或8x 10-2-10
3、Pa (高量程标准压缩式真空计)的标准压缩式真空计(以下简称被检计的检定.一、概述被检计的主要结构为双毛细管并具有防来蒸汽流电磁阀(见图刀，其工作原理基于波义耳定律.待测压力的计算公式为2。V，+V.D2 p = 10-g钮一-1.一土一一一一一一-一V J + V 2 + V s 4V 1 X (hA-hc+J)(ho-hc-z) ( 1 ) 式中:P一一待测压力(Pa); 一一在测量瓶度为t.c时纯来的密度也jcm3); g一一当地的n力力n速度(mjs2);VJ一一交叉口N而以上压缩球泡的体和、(cm勺，V2-一一交叉口N而至上方电磁阀之间管道内的体积(cm勺，Vs一一交叉口N面至下方电
4、磁阀之间腔体的体积(cm3)J D一一闭毛细管的内径(mm), 儿，hc一一分别为开、好!毛细管内的来柱顶点高度(mm)(见图2), ho一一闭毛细管外顶点的高度(mm); 1一一因两毛细管压低值不一致而造成的修正垦(简称压低值修正量)(mm), z一一压缩后气柱高度的修正量(mm) VJ +V2DZ 令K = 10-3 _1_一一-.一-一V 1 + V 2 + V 3 4V t 则式(1)为zp = Kg(hA-hc+J)(ho-hc-2) ( 2 ) 共14页第2页JJG 261-81 . vv h , h;. hc 图2 一、技术要求1 基本误差检定项目名称刁可ii 和涣2登毛细管内径
5、D允许范围1，00土O，05mm宅细管内径不均匀怯-A37D 运土0.1%低量程压缩i十体积VI允许范围1175土25cm3商量程压缩t体积Vl允许范围125土25cm8各项体积叭的误差A17V4, O，15% 在低倍修正量的误差.Ol土O，10mm气柱高度修正量的误差.o，定主士。，10mm被检计测量下限制误差字三三士2伪2 被检计应蹒足下列要求za被检计由硬质玻璃制成，壁厚不小于1.smm，b两毛细管内壁均匀磨毛，管壁不应有妨碍测定亲面高度的气:JJG 261-81 J包或气丝PC开、闭两毛细管应与轴线平行Fd被检计压缩球泡上应印有器号.三、检定设备3 专用玻璃量器和l其它检定设备a 0.
6、1200 cm3 b 0.250 cm3 c 0.150 cm3 d 0.50 cm3 士0.03%士0.03%士0.05%一等标准滴主管一支p共14页第3页一支F一支;一支Fe测长仪(测量范围不小于200mm士5m)一台Ff三级天平(0.200剖，二等标准克组和毫克组眩码，g测高仪(测量范围不小于200mm土O.Olmm)一台.4 检定用真空系统(见图3)一套图3圈中t1-2X-2机械泵12一10-叩8;201./s*扩散泵13一被检计，4-DL-2规营，5-B-A规营，6、7一冷阱，8一针!可多9-氮气源110一储气瓶，11、12一上方、下方电磁阀，13、14、15、16一段硝阀共14页第
7、4页该真空系统应满足Ea最低压力不大于5x lO-epaJ b压力调节范围:5 x 10-31 PaJ c可烘烤去气.5 主要辅助设备a纯度不低于99.99%的氯气源，b三级来蒸锚器一套，c高真空电离计一台，d超高真空电离计一台.6检定项目a外观检查，b毛细管内径的检定，四、检定c毛细管内径均匀性的检定sd压缩体积的检定Fe压低值修正量的测定Ff气柱高度修正量的测定，g防来蒸气流阀密封性的检查L7检定条件1JG261-81 7.1检定时环境温度为20土sC，但一小时内室温变化不得超过tt. 7.2环境的相对湿度在80%以下.7.3被检计内泵的纯度应不低于99.999%.该采经过酸i碱处理后再直
8、接三次真空蒸馆注入被检计的储家瓶内.7.4室内不应有明显的气流.7.5检定前，必须对被检计进行仔细的清洁处理.8 检定方法8.1外观检查z外观检查按照技术要求第2条规定进行.JJG 261- 81 共14页第5页8.2毛细管内径的检定z8.2.1用抽空的方法，在清洁的被检计闭毛细管内的中间位置，灌入一段纯度为99.999%的乘柱，其长度约为100mm. 8.2.2待来柱温度与室温平衡后即用测长仪观察亲柱长度稳定不变时记下室温t，并用测长仪分别测得此段亲柱两凸面顶端阔的读数差(LI-L2)，见图4.8.2.3抽出大部分来柱使管内仅留下一段长度约为10mm的录柱.此段来桩距内顶端的位置应仍在原来的
9、L1土.用天平称得所抽出来的质量为m(g) () b/1才Lbw止、L, L 图4图58.2.4用测长仪测出留下这段来柱两凸面顶端间的读数差为(L面目L，见图5.则所抽出的这段来柱的有效长度为sL= (L1 - L 2 ) - (Ls-L其内径值D为(3) -M-咐/V D (4) 式中z为室温tC时的亲密度.8.2.5用同样方法重复以上步骤，共进行三次测量，得到内径宣D1、D2和Ds，则毛细管内径的最终结果为:D=i+Dz+Ds) (5) 三次测定D的最大偏差不应超过0.1%，若超过则需重复进行主述测量.共14页第6页JJG 261-81 8.3毛细管内径均匀性的检定:毛细管内径的均句性是用
10、灌入长度约为10mm;的纯来连同少量蒸情水一起抽人毛细管内测得.每使来栓在毛细管内移动一个位置，应在用测长仪观察来柱长度稳定不变和每次采柱端面形状情况一致肘，方可进行测量.开始使管内的来柱处于距内顶端约2mm的位置，以后每隔约10mm移动一个位置，用测长仪分别测得各个位置来桂凸面顶端间的读数为11，12 1, (见图6)，来柱的平均长度为s的径的不均匀性为2l=_l:Ll, n =1 22=77什主(1，-1) -LJ阿卡I，-l1-1，-1/气/( 1 W/A) (-，三-11一飞工去包2mm / 图6(6) , (7) 检定内径和均匀性时，各来柱的长度均是不少于三次测量的平均髓.兰次测量之
11、间的偏差，不超过:t10m. 8.4压缩体积的检定=式(1)中的体积叭，VO=V1+叭，V= V1 +几十V3均是将被检计垂直倒置，用玻璃量器注入二次蒸馄水的方法测得.蒸锚水的温度应事先与测量时的室温平衡，然后再进行各体积的测量.各体积重复测量应不少于5次.各体积的计算公式为Eve=1211, n 1= 1 体积的测寇误差按公式(9)计算z(8 ) JJG 261-81 共14页第7页坐!._=匹旦盟主m照(9) V,. V, 8.5压低值修正量的测定:将被检计接在图3的真空系统上进行测定.8.5.1当真空系统内的压力已低于被检计测量下限三个数量缆i肘，由超高真空电离计记下压力值PO，由测高仪
12、测得闭毛细管的内顶i端高度瓜，并提升被检计的亲至闭毛细管内.在距内封顶30mm以下的范围内，每隔smm提升一点.在距内封顶30mm以内的范围，每隔23mm提升一点，直至距内顶端约2mm位置为止.每次提升来柱面的上升速度要求，是在距测量点约2mm处，先使来柱面停留约2分钟，再以不大于0.1mmjs的起始速度提升亲面，并使来柱面逐渐减退到达测量点，然后进行抽气粗管内亲面高度H及闭毛细管内亲面高皮、仇的测量.共提升n个点，可得闭毛细管各位置的压低f直为c. = (hc - H ,) +卫。一?王-(10) Kg h - hc, (i=l, 2, 3,n) 当_1一一AU A (29) 式中zq, =
13、 1/L u, =21 -z (30) (31) 8.7防来蒸汽流电磁阀密封性的检查z将被检计接在真空系统进行检查.由图3上的DL-2规管指示压力值.依次只关闭个电磁阀，若DL-2规管指示的压力值不大于5X10-Pa.则该电磁阀的密封性符合要求.五、检定结果的处理, 被检计的压力总误差计算公式为.共14页第10页UG 261-:-81 手旦=(号子f+(等r+(笔Lf+4(号)气? +(安r干(守)气6(坐r式中z!lh=土0.02mm，为测高仪本身的精度。.01mm加上来面对准精度0.01mm. Ho=(h-hc+1) = (h 0 - hc - 2 ) 在压力下限时取H0 = 8mm，则由
14、第1条和公式(32)得被检计的总说差字.由于亲密度和重力加速度的误差很小，在计算总误差时予以忽略.10 经检定凡漏足本规程中各项技术要求的被检计，可寇为标准计并发给检定证书.不合格的，发给检定结果通知书.11 被检计的检寇周期一般为五年.JJG 261- 81 附录1测量范围z诙差z共14页第11页附录检定结果压力计算公式:p = Kpg(h .ll. - hc +lHho-he-a) 真空常数K: 压低值修正量1:气柱高度修正量u附录2修正量Zf计算表1 一-一一-一ho= Xo= 31 0 = b 。hA-hc+2 ho-hc-yo 、(rb) (rbD - (rbb) (rD x (r)
15、 (rbb) - (rb) ( rb) ab yFEUb) (fl) - (rl (rbl) (r) (rbb) - Crb) (rb/2j=Y=YO -y h= ab-xo bb A1 = b r I rb rt rbb rbl 共14页第12页JJG 261 -81 附录3修正量误差2计算表.I x j by I L I v r v1 rvl , 1lll叫Y= y r) (r v1) (k- 2) (r ) ( rbb) - (rb) ( rb) 附录4加权平均值z计算表i 1工|2-1i:-l-q I ql quz F 。也坐L2国-(q)A62, spEF JJG 261 - 81
16、共14页第13页事竹录5 中国各主要城市的重力加速度5辛事苦. 1 2 s 4 s e 7 s 9 10 11 地区l重力加速度g叫地区|重力加速度Sm/s1号m/S1北京9 . 8015 12 大连9 . 8011 上海9.7946 13 长春9 . 8048 天津9.8011 14 昆明9.7836 广州9 . 7883 15 商宁9.7877 南京9.7949 16 武汉9.7936 西安9.7944 17 杭州9 . 7936 太原9.7970 18 哈尔滨9 . 8066 沈阳9 . 8035 19 兰州9 . 7926 济南9.7988 20 合肥9 . 7947 郑州9.7966
17、 2 1 石家庄9, 7997 成都9.7913 22 保定9, 8003 注2本衰未列地区的重力加速度值，可用下面公式算出zg = _2_ .80665 x ( 1 - 0.00265 X cos21 + 2h -R :式中:R一一地球半径，等于6311X103mJ h-测量地点的海拔高度F一-测量;地点的纬度.序|地区l叫速度g号m/sl23 南昌9.7920 24 长沙9 . 7915 25 鸟鲁木齐9.8015 26 汉口9.7936 27 贵阳9, 7868 28 届州9, 7891 29 拉萨9.7799 30 鸟兰浩特9 . 8066 共14页第14页JJG 261-81 l,
18、附录6-个大气压下1525C纯宗密度表p0= 13.59508(gjcm 单位，(gjcm3) 寸。o_1 0.1 I 0.2 1 0.j_O_.J.5 1 0.6 I 0.7 L 15 13.55814 5790 5 7 65 5741 5716 5691 5667 5642 5618 5593 16 13.55569 5544 55 20 5495 5470 5446 5421 5397 5372 5 348 17 13.5 5323 5298 52 7 4 5249 5225 5200 5176 5151 5127 5102 18 13.55077 5053 5 028 5004 497
19、9 4955 4 930 4906 4881 4857 19 13.54832 4807 4 783 4 758 4 734 4709 4685 4660 4636 461 1 20 13.5458 7 4562 4538 4 5 13 4488 4464 4439 4415 4390 436 21 13 . 54341 4317 4 292 4268 4l!43 4219 4194 4170 4145 4 12Q. %2 13.5 4096 4071 4 0 47 4022 3998 3973 3949 3924 3900 38 7& 23 13. 5 3851 3826 3802 3777
20、 3753 3128 S104 3619 3655 3630 u 13.53606 3581 3557 3532 3508 3483 3-45 9 3434 3410 3 385 25 13 . 5336 1 3336 331 2 3281 3263 3238 3214 3189 3165 314D 巍、标准E缩式真空计检定规疆JJG 261-81 (试行)国家计量总局颁布噜计监出版社出版北南和平理11区7号?北京计量印刷广印刷新华书店北京发行所发行各地新华书店经售. 开本850X 1168 1/32 印张1/2字数13平:宇即被1-100001自82年10月第一版1982年10月第-货印刷统一书号15210174lt价。.12元科技新书目:32-182 hAK飞NNbuhh
