1、2012/4/20 1KP1内层 内层 内层 内层 P/G短路专案改善报 短路专案改善报 短路专案改善报 短路专案改善报 告 告 告 告2012/4/20 2一 一 一 一 、 、 、 、 目 目 目 目 的 的 的 的二、 二、 二、 二、 现况把握 现况把握 现况把握 现况把握三、目标的订定 三、目标的订定 三、目标的订定 三、目标的订定 四、原因分析与真因证实 四、原因分析与真因证实 四、原因分析与真因证实 四、原因分析与真因证实五、改善效果确认及追踪 五、改善效果确认及追踪 五、改善效果确认及追踪 五、改善效果确认及追踪六、标准化作业 六、标准化作业 六、标准化作业 六、标准化作业目录
2、 目录 目录 目录2012/4/20 3分析 KPI内层 P/G短路的主要成因，从制程上追根究源，然后针对问题点会同生产、品保、维修做专案改善。 从而降低 P/G短路报废，提升 KPI内层整体一次良率，增强本厂市场竞争力。 一、目的 一、目的 一、目的 一、目的2012/4/20 41、 07年报废率推移 07年 INER每 周 报 废 率 推 移 图4.593.677.24.124.64.65.35.926.325.056.846.849.045.789.064.894.55.57.17.345.84.977.97012345678910721072072607270729073007310
3、7320730734073507360737073807390741074207430740745074607470748周 期报 废 率每 周 报 废 率目 标 值对 07年每周（ W21-W48)的整体报废数据做统计分析：报废 报废 报废 报废 Rate： ： ： ： 3.679.06%,AVG:5.4%二、现况把握 二、现况把握 二、现况把握 二、现况把握2012/4/20 5对 8-10月份报废缺陷进行 pareto分析 ,发现 P/G短路累积报废面积 1756FT2,对整体报废的贡献度为 27.6%， ， ， ， 是 内层前工序贡献度排第一位的主要报废缺陷，由此可以确定此次专案的改善
4、方向和改善项目，后续针对 P/G短路展开专案改善 .scrap rea(sqft) PercntDEFECTCount 2728918391802Percet 27.619.18.57.67.015 5.75.75.14.33.62. .Cum %. 46.72575.262.869.87. 81.386.490.794. 97. 10.053948344863643693268 OtherFOREIGN RESIDUESHORT -SIGNALOPENOTHERSSCRATCH(ROUGHNES)FOLD COPER FOILMISREGISTRATIONDENTSCRATCHOHM SHO
5、RTSHORT -P&G700600500400300200100010806040200Pareto Chart of DEFCT(8-10 MONTH)2、对 8-10月份报废缺陷进行 pareto分析2012/4/20 63、分析 8-10月份 P/G短路的现况对 8-10月份的 P/G短路的数据做统计分析：P/G短路 AVG:1.89%8-10 INER P/G短 路 推 移 图2.9%1.04%1.62%1.5%2.14%0.93%2.45%1.29%1.46%1.5%2.98%1.4%1.6%1.7%1.0%1.8%3.07%1.24%1.69%1.81%.74%2.15%.68%
6、7.46%0.91%1.43%1.25%0.98%1.6%2.0%0.82%0.96%1.06%5.95%0.96%1.24%1.7%4.64%0.0%1.0%2.0%3.0%4.0%5.0%6.0%7.0%8.0%8/18-198-208-28-258-278-288-298-308-319-19-29-39-49-59-69-89-9-109-19-129-139-149-159-179-189-199-209-219-210-1610-1810-1910-2010-210-2310-2510-27报 废 率日 期P/G短 路2012/4/20 74、报废原因的分析：对 54PCS的 P/
7、G内短报废板剥板，分析报废原 因并统计各原因的贡献度 。Count PercntCount 3.7 3.7 3.7Cum %79.6 8.9 92.6 96. 10.043 5 2 2 2Percet . .3 Other 605040302010010806040200P/G 2012/4/20 85、缺陷图片与贡献度钻偏 (3.7%)铜碎 (9.26%)涨缩 (3.7%)孔内凸铜 (79.6%)2012/4/20 96、分析小结 从 P/G板剥板的比例可知，内层 P/G短路主要是内层铜点（孔内铜 点）造成，铜点对成品 P/G短路的报废率贡献度为 79.6%，根据 80/20原 则确定：改善
8、内层铜点是改善内层 PG-Short的主要方向。2012/4/20 101、 P/G短路特性原因分析P/G短路 短路 短路 短路 底片生产 25片 沒 有检查对准度自动曝光机或半自动曝 光机人为改动 PE参数人 AOI作业员没有将孔内铜点修理上底片时对位不 准曝光机真空 密封 墊 老化掉屑 钻机的精准度超出 要求曝光机的对位精度下 降AOI 漏测设备烤箱清洁频率不合理 涨缩没有做系统 的管控P/G板没有做 检查孔内铜点没有修理干净 方法貼 膜板板边膜屑没清理 干净涂布轮的清洁 频率不合理 粘尘机粘尘胶轮 破损 清洁效果不好油墨品质不良前处理自 來 水含杂质 静电除尘 轆 破损底片涨缩超出 1.
9、0mil的要求物料 /工具测量底片上机前 没有测量蚀刻管位距 板没有测量X-RAY精度没有做定期校正化片有内杂三、原因分析与真因证实 三、原因分析与真因证实 三、原因分析与真因证实 三、原因分析与真因证实2012/4/20 1板面显影蚀 刻时异物返 粘 清江水内有砂 粒、铁屑，蚀 刻进料实心滚 轮结晶返粘 在过滤纲中发现铁屑、砂粒，蚀 刻进料实心滚轮有蓝色的结晶存 在 在清江水进水口加装过滤桶，显影后 水洗槽内铺设吸油棉 杨根畅 刘伟正 11/30已落实 已落实11/16房国龙蚀刻液每月大保养时由蚀刻液的用活 性炭滤芯将蚀刻液过滤一次，去除药 水中的有机物蚀刻槽液表面内发现大量的有机 粘性悬浮
10、物蚀刻液内过滤 系统效果不佳蚀刻液内的 油性悬浮物 返粘在板面 上 已落实11/16宋建国 杨根畅A.严格按照 WI的保养频率作业，修复显影液新液自动添加系统 B.每天日保养时必须用高压水枪冲洗显影段和显影后水洗的行辘以及各槽 槽壁上粘附的膜屑 C.每周保养时将显影的喷盘拆下来，清理喷嘴、用无尘布清洁喷管上粘附 的油墨残渣要求 1周保养一次没有做到， IRC扬博 DES线显影的新液自动添加系统坏，显影槽喷嘴严重堵塞，槽 壁和喷盘上油墨残渣结垢保养没有按要 求的频率进行 且保养不彻底显影槽液内 的 SCAM太多，返粘在 板面上已落实11/16宋建国涂布轮要求每周用 PMA清洗一次，并将滤纲清洁干
11、净，烤箱内用吸尘器清 洁油墨残渣，确保滤纲、涂布轮、烤 箱清洁涂布油墨是填充型，因此密度在 20um滤芯不能过滤，现改为自制1T的纲纱过滤，油墨内的杂质不能有效去除。烤箱没有按 WI要求频率清洁保养油墨内有杂 质，烤箱太脏涂布后板面 有堆积的油 墨残渣已落实实施 状况11/17实施 日期杨根畅宋建国更换凹陷的涂布轮，涂布后膜厚均匀 性必须 85%，且膜厚控制在 82umBurkle和 580RC涂布轮严重凹陷的导致板面积油严重，涂布板面被 未完全干透的油墨污染涂布轮品质不 佳或涂布轮磨 损后没有及时 的更换涂布后油墨 厚度不均匀蚀刻后 P/G面Clearnc 孔内有铜 渣内 层责任人对策拟定实
12、施真因证实三次因二次因一次因站 別 2、 P/G短路的三次因分析2012/4/20 12已落实11/16童丽 房国龙A.板子修理后需用胶纸质做除残留铜碎的动作 B.安装吸尘装置，修理完毕后将铜碎吸走要求用胶纸做清洁， 实际上并没有做（现 场反映没有清洁胶纸 物料）板面在做铜渣或 短路修理时没有 对板面的铜碎做 清理的动作修理后制 板面上有 残留铜碎实施 状况实施 日期责任人对 策拟定实施真因证实三次因二次因一次因站 別作业员修 理铜渣时 马虎没有 修理干净 修理工具不锋 利，员工责任心 不够，品质意识 淡漠 切片分析 对员工做教育训练，修理 刀片及时的更换，用专用 于修板用折叠式 10倍的目镱
13、代替现用圆筒式目镜。 童丽 宋文龙 11/16依计划进 行AOI孔内铜渣 没有修理 干净或没 有修理 P/G板没有做检查直入下工序 品质检查系 统不完善 现在的 P/G没有全检也没有按比例的抽检 P/G做 10%抽检后方可续流程，如一次合格低于 95%，需做过机处理 (P/G板每天过机 20pnls，了解 P/G板的良率现状） 童丽 宋文龙 11/16已落实2012/4/20 13显影槽壁油墨残渣 显影喷嘴内腔油墨残渣3、 DES线保养对内层铜点的改善验证 IDF显影槽大保养时要求生产部将显影喷盘拆下全面检查，并用高压水枪冲洗槽壁和过滤纲，然后跟进铜点比率，与保养前铜点做对比以确认改善效果。以
14、下是 在保养过程发现问题： 1)IDF显影喷嘴堵塞严重， 20个喷嘴堵死，显影一段和二段的下喷嘴座内油墨残 渣结垢占喷嘴内腔容积一半以上，在生产中喷嘴的流量受到阻碍。 2)IDF和 IRC显影槽壁和滤网上油墨残渣堆积，宇宙线显影段喷管严重破裂。 3)IDF和 IRC蚀刻槽内悬浮的有机粘性物粘结在蚀刻 Pump吸入口的过滤纲上，蚀 刻槽壁上也同样粘附此物质。2012/4/20 14蚀刻 PUMP吸入口滤网上粘附的有机杂物 宇宙线显影槽喷管破裂蚀刻进料实 心滚轮结晶 涂布轮积油污染板边2012/4/20 15保养后后良率跟进线路板数据 制板编号 制板编号 制板编号 制板编号 实验别 实验别 实验别
15、 实验别 检板数量 检板数量 检板数量 检板数量 层别 层别 层别 层别 铜点 铜点 铜点 铜点 比率 比率 比率 比率P6296保养前 21 L3 43 20.28%P4636保养后 493 L3 79 16.02%P6312 保养前 20 L5 38 19%P6312 保养后 35 L5 27 7.61%从跟进对比的数据看出对 DES彻底保养后铜点比率平均下降 7.8%，因此每次保养时将显影的喷盘拆下来清洁干净可以有效的改善铜点。2012/4/20 16清江水中铁屑和砂粒 水洗过滤纲框没有挡边4、显影后水洗水质对内层铜点的改善验证 内层显影后水洗采用本厂处理过的清江水，在水洗过滤网中发现铁
16、屑、砂粒，这些杂质返沾在制板表面。蚀刻后形成铜点和短路。现改善水洗段的水质，跟进制板确 认改善效果。 1)清江水进水口加装过滤桶。2)水洗过滤网上铺设吸油棉，将水洗段的破损过滤网框全部修复。 3)将喷管下面阻挡喷嘴水流的行辘取下。2012/4/20 17改善水质后良率跟进数据 制板编号 制板编号 制板编号 制板编号 实验别 实验别 实验别 实验别 检板数量 检板数量 检板数量 检板数量 层别 层别 层别 层别 铜点 铜点 铜点 铜点 比率 比率 比率 比率P4636扬博线改 善前 10 L2 7 7.0%P4636扬博线改 善后 91 L2 3 3.%P46730宇宙线未 铺吸油棉 10 L2
17、 5 5%P46730扬博线已 铺吸油棉 10 L2 4 4%从跟进对比的数据看出显影后水洗铺设吸油棉后， 扬博线铜点比率降低 3.7 %；宇宙线与扬博线比较，铺设吸油棉扬博线铜点相对宇宙线要低 10，因此改善显影后水洗段水质可以降低铜点比率。2012/4/20 181、每周铜点比率推移图 四、改善效果确认与追踪 四、改善效果确认与追踪 四、改善效果确认与追踪 四、改善效果确认与追踪-10.0%0.0%10.0%20.0%30.0%40.0%50.0%60.0% 每 周 铜 点 比 率 推 移 图53.10%8.38%7.15%7.22%5.22%0.26%3.34%2.96%3.50%3.4
18、0%2.90%3.00%2.80%2.00%3.50%2.53%3.00%4.00%3.27%2.22%2.43%WW44WW45WW46WW47WW48WW49WW50WW51WW52WW01WW02WW03WW04WW05WW06WW07WW08WW09WW10WW11WW12缺 陷 率 53.10%8.38%7.15%7.22%5.22%0.26%3.34%2.96%3.50%3.40%2.90%3.00%2.80%2.00%3.50%2.53%3.00%4.00%3.27%2.22%2.43%目 标 值 5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5
19、.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%5.00%挑 战 目 标 值 3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%3.00%缺 陷 率 目 标 值 挑 战 目 标 值2012/4/20 19 备注：从上图数据来看： P/G-Short报废已呈下降趋势，改善效果明显， 08年 W09和 W12报废率突然上升，是由于对位不正异常导致 P/G短路上升，现已经得到有效的改善和控制。
20、0.00.400.801.201.60 P/G 短 路 每 周 报 废 推 移 图1.541.71.70.800.430.510.580.510.40.40.530.571.040.50.570.80.60W49W50W51W52W01W02W03W04W05W06W07W08W09W10W1W12W13报 废 率 % 1.541.71.70.80.430.510.580.510.40.40.530.571.040.50.570.80.60目 标 % 1.01.01.01.01.01.01.01.01.01.01.01.01.01.01.01.01.0挑 战 目 标 % 0.40.40.40.
21、40.40.40.40.40.40.40.40.40.40.40.40.40.4报 废 率 %目 标 %挑 战 目 标 %2、 P/G短路报废的改善效果推移图2012/4/20 20五、标准化作业 五、标准化作业 五、标准化作业 五、标准化作业1、 DES周保养时将显影喷盘拆下来，清理喷嘴并将喷管上油墨残渣用无尘布沾酒精擦洗干净，显影段的行辘、滤网、槽壁 用高压水枪冲洗，确保无油墨残渣粘附。2、显影后水洗进水口加装过滤桶，每周更换 1次过滤芯。3、显影后水洗段过滤网框内铺设吸油棉。2012/4/20 211、对位不正专案改善，以改善因对位不正导致的 PG-Short， 此项 已 W14已呈现明
22、显下降趋势，已由 W12的 1.03%下降 W13的 0.40%，改善成效显著。 2、内层底片对位工具孔加设方便曝光手检查的蝶形对位 PAD.同时 要求生产线曝光手在曝光过程中检查底片 Unit内对准度（特别 是 BGA位）。3、 AOI修理板后对修理产生的铜屑用吸尘的方法做清理，避免残留 在板面，导致短路。 六、后续持续改善行动 六、后续持续改善行动 六、后续持续改善行动 六、后续持续改善行动2012/4/20 21.89 1.00.4000.20.40.60.811.21.41.61.82现 状 目 标 挑 战 目 标下降幅 下降幅 下降幅 下降幅 度为 度为 度为 度为47.1% 下降幅 下降幅 下降幅 下降幅 度为 度为 度为 度为78.%七、 七、 七、 七、 P/G短路报废目标订定 短路报废目标订定 短路报废目标订定 短路报废目标订定备注：目前， P/G-Short报废率在 0.5%的水平，接下来将依计划按照持 续改善行动实施，完成拟定目标，此目标可在 M04达成。2012/4/20 23报 告 完 毕 TKS
