本标准规定了电子光学仪器总类、电子光学系统、真空系统、电子学系统、透射电子显微镜、扫描电子显微镜、电子探针X射线微区分析仪和样品制备及其它辅助装置等方面的术语共263条。本标准适用于光学仪器标准制订、技术文件编制、教材和书刊编写文献翻译等。
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