1、ICS 23160J 78 a雪中华人民共和国国家标准GBT 2 1 2722007蒸汽流真空泵性能测量方法泵液返流率和加热时间的测量Vapour vacuum pumps measurement of performance characteristics-Measurement of backstreaming rate of pump fluid and the heating time2007-12-02发布 2008-06-0 1实施宰瞀鹊鬻瓣訾襻瞥鐾发布中国国家标准化管理委员会仅19刖 罱GBT 212722007本标准修改采用DIN 28427：1983(泵液蒸汽压低于1 mba
2、r的扩散泵和蒸汽射流真空泵验收规则(德文版)。根据需要，本标准在采用DIN 28427：1983时进行了修改。这些技术性差异用垂直单线标示在它们所涉及的条款的页边空白处。在附录A中给出了本标准与DIN 28427：1983技术性差异及其原因的一览表，以供参考。为便于使用，本标准还做了下列编辑性修改：“本验收规则”一词改为“本标准”；删除了DIN 28427：1983的前言。本标准附录A为资料性附录。本标准由中国机械工业联合会提出。本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SACTC 18)归口。本标准负责起草单位：兰州真空设备有限责任公司。本标准参加起草单位：辽宁真龙真空设备制造有限公司、沈阳真空
3、技术研究所。本标准主要起草人：温发兰、徐玉江、许艳巧、林森、王学智。蒸汽流真空泵性能测量方法泵液返流率和加热时间的测量GBT 21272-20071范围本标准规定了蒸汽流真空泵泵液返流率和加热时间的测量方法。本标准适用于下列蒸汽流真空泵：扩散泵、扩散喷射泵(以下简称为泵)。泵工作室温为(205)，泵工作液蒸汽压低于i00 Pa。2术语和定义下列术语和定义适用于本标准。21泵液返流率back-streaming rate of pump fluid泵按规定条件工作时，在单位时间内通过泵人口单位面积，并与被抽气体流动方向相反的泵液质量流量。22加热时间heating time泵的加热时间，系指开始
4、接通泵的加热器电源，到泵起抽气作用时的时间间隔。23测试罩test dome是个装在泵入口具有规定形状和尺寸的容器，试验气体通过它进入泵内，其上装有压力测量装置。3泵液返流率的测量31装置311测试罩如图1所示，测试罩为圆筒形钟罩式容器，罩的内径D与泵口内径相等，罩体上盖可为圆形、锥形或斜坡形。罩的轴向尺寸为15D。试验气体的进口在罩的轴线上，并与连接法兰的距离为D，进气口的排列应使气体自背离泵口的方向进入测试罩。测量压力的规管连接管在距离连接法兰05D处，其轴线应垂直于测试罩的轴线，测试罩的轴线应垂直于泵人口法兰平面。测试罩应设有调节罩壁温度的装置，如外表面绕焊水冷管或其他水冷装置等。312
5、测量法兰如图2所示，用一个内表面开设有斜槽的法兰收集返流的泵液，法兰内径与泵口及测试罩内径相等。313测量管如图2所示，用以测量返流的泵液量的器具，是一个带有刻度的玻璃制测量管，管的刻度误差应不大于5。测量管的上端有一软管接头，侧面有一分支管。测量部位可用两个真空密封的旋塞关闭。下方有一收集容器，通过另一旋塞同一台小型真空泵连接。也可使用如图3所示的装置，此时的测量管下端封闭。314真空计规管与测试罩问连接管的流导至少应为3 Ls。连接管端应突出于罩内壁1 inm。1GBT 21272-20072矿矿一 _二弋一进气 ! 参 1f 。一，历iL I 。一。1-_丁甲。lI ：呖勿 笏砀 l测试
6、罩；2测量法兰；3扩散泵；4测量管；5收集容器；6辅助泵，为所指收集容器抽真空图1图2测量装置1至真空计单位为毫米GBT 21272-2007l测试罩；2测量法兰；3扩散泵；4真空胶管；5测量管。图3测量装置2测量所用真空计应进行校准。当压力高于或等于1 Pa时，校准精度应为5；压力更低时，校准精度为10。如果真空计规管与测试罩之间已装设冷阱，则在测量过程中不许装添冷剂。32试验条件321试验气体除另有规定外，应使用干燥空气。3。2。2加热和冷却全部试验应遵循下列限定值：泵的加热功率变化为士lo，冷却水进1：1温度的变化为5。冷却水最高出口温度按制造厂规定，若无规定，则不得超过30。323泵液
7、试验中所用泵液的种类、牌号和用量，应符合制造厂的规定。如果样本中列出多种泵液，则选用给出有效数据的泵液。33程序按图2所示的装置，将测量法兰连同装好的测试罩一起，安装到泵的人VI法兰上，并使泵和前级泵处于操作状态。将真空计接到测试罩相应的法兰上，测量法兰通过真空软管与测量管相连接。在第3章规定的条件下，泵接通后抽空测试罩。当测量管内出现返流的泵液时，开始记录时间、测试罩内的压力及测量管内积存的泵液体积。测量过程中，测试罩应保持在(20土1)的温度。所需要的测量时问，基本取决于泵的规格和泵液返流率。中等规格的泵，一般需数小时的测量时间，大泵有时长达50 h。34计算在测量管上读出的数值为泵液的体
8、积，其随时间的延长而增多，应用式(1)对泵液体积进行换算：3GBT 21272-2007G一娑1 000式中：G 测量管内积存的泵液质量与泵入口面积之比，单位为毫克每平方厘米(mgcm2)；y一测量管内积存的泵液体积，单位为立方厘米(cm3)； r泵液的密度，单位为克每立方厘米(gcm。)；F一一泵人口面积，单位为平方厘米(cln2)。以时间变量t为横坐标，与之相应的G为纵坐标描出各组坐标点(，G)。如果某一时刻后，与连续测得的多数坐标点相对应的直线斜率保持不变，则该斜率(如图4所示)即为被测泵的泵液返流率，见式(2)：R一!坚rag(cm2min) (2)l一，夕户图4泵液返流率计算图35试
9、验报告351 试验报告应注明下列试验条件：a)真空计及其规管的型号和校准情况；b)泵的加热功率及其在测量过程中的变化情况；c)泵液的牌号及用量；d)泵的冷却水进、出口温度及流量；e)被测泵及其配用前级泵的型号及抽速；D泵工作室温(或环境温度)及大气压。352列表说明测量过程中所记录的时间、测试罩内的压力P以及测量管内积存的泵液质量与泵口面积之比G。353绘制tG关系图，示出表示泵液返流率的直线的斜率R值。4加热时间的测量41装置411测试罩形状和尺寸按311及图1要求，此时对罩壁可以不加设冷却装置。42真空计如果真空计规管与测试罩之间已装设冷阱，则在测量过程中保持冷剂液位不变。其他按314的规
10、定。4GBT 21272-200742试验条件按32的规定。43程序将测试罩和真空计一起，安装到泵的人口法兰上。测试罩的进气口处应配有进气微调阀。此项试验，最好是在白天完成抽速测量，夜间使泵得以冷却，并且只有前级泵维持运转，再行测量加热时问。通过调节进气阀，控制测试罩压力为10 Pa，然后接通泵的加热器电源，测得罩内压力降至10_1 Pa所需的时间，这段时间即为泵的加热时间。44试验报告441试验报告应注明的条件同351。442列出加热时间的测量数据。GBT 2 1272-2007附录A(资料性附录)本标准与DIN 28427：1983技术性差异及其原因表A1给出了本标准与DIN 28427：
11、1983的技术性差异及其原因的一览表。表A1 本标准与DIN 28427：1983的技术性差异及其原因本标准的 对应的DIN标技术性差异 原 西章条编号 准的章条编号增加了“本标准规定了蒸汽流真空泵泵明确标准规定的范围。1】 液返流宰和加热时间的测量方法”。符合我国术语标准用“扩散喷射泵”代替“蒸汽射流真空泵”用我国标准定义代替DIN 28427：19832 1 5，1 符合我国术语标准的相应定义23 51 增加了测试罩的定义 测试罩是本标准测量中关键装置之一以贴切实际。亦与其他相关标准术语31 53 用“装置”代替“测量仪”相统一增加了对测试罩的尺寸及试验气体进入 尽量与其他相关标准的同一装
12、置保持3 11 531方向的描述 一致增加“法兰内径与泵口及铡试罩内径3 12 5 3 2 对测量法兰内径予以限定相等”增加“也可使用如图3所示的装置，此时该装置及其测量方法为我国常用，实3 13 5 3 3 的测量管下端封闭”。际可操作性强。减少可选性装置，用以增加产品性能删除DIN 28427：1983的围9所示装置的可比性增加对真空计的校准精度要求。删除DIN 28427：1983中表2和表3所 与其他相关标准中同一装置的要求保列真空计。 持一致。314 242 用“如果真空计规管与测试罩之间已装 对真空计类型不宜在标准中列出并加设冷阱，则在泵液返流率的测试过程中不许 以限定。装添冷剂”
13、代替“测量过程应保持冷剂的液位 用以消除冷剂对测量结果带来的影响不变”用“除另有规定外，应使用干燥空气”代321 521 与其他相关标准的要求保持一致替DIN 28427：1983第521条所述用“士5”代替“3 K”。在本标准中，温度单位统一用“”表322 522 示。“5”与其他相关标准保持一致。删除气冷泵及其以后的内容 该内容不适于本标准范围6表A1(续)GBT 21272-2007本标准的 对应的DIN标技术性差异 原 因章条编号 准的章条编号删除“测试罩上另一法兰为进气法兰”。 在第31条中已有明确表述。33 54 本章第二段代替DIN 28427：1983中的DIN该段表述粗疏、模
14、糊，加热功率的变化限定与第522条(本标准322)第二段重复用该方法代替DIN 28427：1983中的34 55 用以符合本标准第2章定义方法。增加和整合了DIN 28427：1983中试验 为使试验报告内容更加清晰、明确、35和449记录及计算所涉及的相关内容 完善增加了钡j试罩的尺寸及试验气体进入方411 631 为与本标准311保持一致向的描述增加对真空计的校准精度要求。412 6 82 删除DIN 28427：1983中表2和表3所 为与本标准31 4保持一致列真空计删除了DIN 28427：1 983中所有与本标 这些内容是用来测量抽速等其他性能准无关的章、条、段 的，我国已有这些方面的标准
