1、ICS27.010CCS F 1031上海市地方标准DB31/T 7922026代替 DB31/7922020硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额The norm of energy consumption per unit products for monocrystallinesilicon ingot and monocrystalline silicon wafer2026-02-14 发布2026-06-01 实施上海市市场监督管理局 发 布DB31/T 79220261前言本文件按照GB/T 1.12020标准化工作导则第 1 部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件代
2、替DB31/7922020硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额，与DB31/7922020 相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：更改了“标准名称”，由原硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额改为硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额；更改了“范围”，删除了硅单晶研磨片的要求（见第 1 章和 2020 年版的第 1 章）；更改了“术语和定义”，删除了可比硅片产量、硅单晶、硅单晶研磨片、硅单晶抛光片、硅单晶外延片的术语，增加了硅单晶棒、单晶硅抛光片、单晶硅外延片、产能利用率的术语（见第 3 章和 2020 年版的第 3 章）；更改了能源消耗限额等级名称，由“先进值、准入值、限定值”更改为“
3、1 级、2 级、3 级”；删除了硅单晶研磨片产品的能耗等级限额；增加了直径 200 mm、直径 300 mm 硅单晶棒及单晶硅抛光片和单晶硅外延片单位产品的能耗限额等级；重新规定了直径 150 mm 硅单晶棒、单晶硅抛光片和单晶硅外延片单位产品的能耗等级（见第 4 章和 2020 年版的第 4 章）；更改了能耗统计范围的要求、产品综合能耗计算公式、及单位产品能源消耗修正值计算方法（见第 6 章和 2020 年版的第 5 章）；删除了“节能降耗导向”章节内容（见 2020 年版第 6 章）；增加了常用能源品种折标准煤参考系数、电力和热力折标准参考系数、及耗能工质折标准煤参考系统（见附录 A 和
4、2020 年版的附录 A）。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由上海市发展和改革委员会、上海市经济和信息化委员会共同提出；由上海市经济和信息化委员会组织实施。本文件由上海市能源标准化技术委员会归口。本文件起草单位：上海有色金属行业协会、上海市有色金属标准化技术委员会、上海合晶硅材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司、上海新傲科技股份有限公司、上海新昇半导体科技有限公司、上海超硅半导体股份有限公司。本文件主要起草人：黎晓桃、刘秋丽、顾广安、龚晓奎、马志辉、房菲、黄书敏、冯朝阳、李伟协。本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：2014 年首次发布为DB
5、31/7922014，2020 年第一次修订；本次为第二次修订。DB31/T 79220261硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额1范围本文件规定了硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额的技术要求、统计范围、计算方法。本文件适用于半导体级硅单晶棒和单晶硅片（包括单晶硅抛光片、单晶硅外延片，以下统称“单晶硅片”）生产企业单位产品能源消耗的计算、考核以及对新建项目单位产品能源消耗的控制。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T 2
6、589综合能耗计算通则GB/T 12723单位产品能源消耗限额编制通则GB/T 14264半导体材料术语GB 17167用能单位能源计量器具配备和管理通则3术语和定义GB/T 2589、GB/T 12723、GB/T 14264 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1硅单晶棒monocrystalline silicon ingot高纯度的多晶硅在单晶炉内用直拉法拉制的圆柱形硅单晶铸锭。3.2单晶硅抛光片monocrystalline silicon polished wafer硅单晶棒经切磨及抛光加工成的表面高平坦度的硅片。3.3单晶硅外延片monocrystalline silico
7、n epitaxial wafer在单晶硅抛光片上生长一层或多层单晶硅薄膜（外延层）后制成的硅片。3.4产能利用率capacity utilization rate生产线统计期内的实际产出与设计生产能力之比。4能源消耗限额等级4.1硅单晶棒DB31/T 79220262硅单晶棒生产企业单位产品能耗限额等级见表 1，其中 1 级能耗最低。表 1硅单晶单位产品能源消耗限额等级单位为吨标煤每吨（tce/t）产品直径1 级2 级3 级150 mm8812200 mm181825300 mm2525354.2单晶硅抛光片硅单晶抛光片生产企业单位产品能源消耗限额等级见表 2，其中 1 级能耗最低。表 2单
8、晶硅抛光片单位产品能源消耗限额等级单位为千克标煤每千片（kgce/k）产品直径1 级2 级3 级150 mm及以下120012001500200 mm170017002600300 mm5000500060004.3单晶硅外延片单晶硅外延片生产企业单位产品能源消耗限额等级见表 3，其中 1 级能耗最低。表 3单晶硅外延片单位产品能源消耗限额等级单位为千克标煤每千片（kgce/k）产品直径1 级2 级3 级直径外延层厚度150 mm及以下50 m16001600220050 m厚度100 m300030004000100 m530053006000200 mm50 m30003000410050
9、 m650065007500300 mm50 m80008000105005技术要求5.1硅单晶棒5.1.1现有生产企业硅单晶棒单位产品能源消耗限定值应符合表 1 中 3 级的规定。5.1.2新建企业及改扩建项目硅单晶棒单位产品能源消耗准入值应符合表 1 中 2 级的规定。5.2单晶硅抛光片DB31/T 792202635.2.1现有生产企业单晶硅抛光片单位产品能源消耗限定值应符合表 2 中 3 级的规定。5.2.2新建企业及改扩建项目单晶硅抛光片单位产品能源消耗准入值应符合表 2 中 2 级的规定。5.3单晶硅外延片5.3.1现有生产企业单晶硅外延抛光片单位产品能源消耗限定值应符合表 3 中
10、 3 级的规定。5.3.2新建企业及改扩建目单晶硅外延片单位产品能源消耗准入值应符合表 3 中 2 级的规定。6能耗统计范围及计算方法6.1统计范围6.1.1各类产品能源消耗统计范围应包括产品生产系统、辅助系统和附属系统消耗的各种能源量。6.1.2硅单晶棒生产系统包括从原料多晶硅放入石英坩埚内熔化开始到产出合格硅单晶棒为止的各生产系统，包括配料系统，熔化及拉晶系统，切断、开方、滚磨、参考面加工等整形系统。6.1.3单晶硅抛光片生产系统包括从硅单晶棒切割开始到产出合格单晶硅抛光片并进入成品库为止的各生产系统，包括晶棒切片系统，研磨系统，腐蚀系统，抛光系统和包装系统。6.1.4单晶硅外延片生产系统
11、包括从单晶硅抛光片放入外延炉长晶开始到产出合格外延片并进入成品库为止的各生产系统，包括外延生长系统，清洗系统，包装系统。6.1.5辅助系统主要为辅助正常生产完成所需的设备设施。包括生产所需的风、油、水、气（压缩空气、氢气、氧气、氮气等）等系统，环保系统，仪器仪表等。6.1.6附属系统主要为生产过程提供服务所需的设备设施。包括检测、汽车倒运、维修、厂区食堂、行政管理等。6.1.7各系统使用的耗能工质消耗的能源应纳入综合能耗计算范围，制造该工质的原料不计入计算范围。6.1.8能源消耗的原始数据应符合 GB/T 2589 的要求；能源计量器具的配备应符合 GB 17167 的要求。6.2计算方法6.
12、2.1产品综合能耗产品综合能耗按公式（1）计算：=1 +(1)式中：某种产品综合能耗，单位为千克标准煤（kgce）或吨标准煤（tce）；i第 i 类能源；统计报告期内生产系统消耗的第i类能源实物量，单位为千克（kg）、吨（t）、千瓦时（kWh）、立方米（m3）；第i种能源的折标准煤系数；统计报告期内分摊的辅助系统能耗；单位为千克标准煤（kgce）或吨标准煤（tce）；统计报告期内分摊的附属系统能耗；单位为千克标准煤（kgce）或吨标准煤（tce）。6.2.2硅单晶棒单位产品能源消耗DB31/T 79220264硅单晶棒单位产品能源消耗按公式（）计算：P(1)式中：统计报告期内硅单晶棒单位产品能
13、源消耗，单位为吨标准煤每吨（tce/t）；E 统计报告期内硅单晶棒产品综合能耗，单位为吨标准煤（tce）；P 统计报告期内合格硅单晶棒产品产量，单位为吨（t）。6.2.3单晶硅片单位产品能源消耗单晶硅片单位产品能源消耗按公式（3）计算：EZPZ(1)式中：统计报告期内第z类单晶硅片单位产品能源消耗，单位为千克标准煤每千片（kgce/k）；EZ统计报告期内第z类单晶硅片综合能源消耗，单位为千克标准煤（kgce）；PZ统计报告期内第z类合格硅片产品产量，单位为千片（k）；z 第z类硅片产品。6.3多种产品能耗计算同时生产多种产品的企业或生产线，应按每种产品实际消耗的能源单独计算。当无法分别对每种产
14、品计量共用的能源消耗量时，应按GB/T 2589 的规定按产量与能源消耗量的比例进行分摊计算。6.4能源折算系数取值原则能源的低位发热量和耗能工质的耗能量，按实测值或供应单位提供的实测数据折算标准煤。无法获得实测值的，其折标准煤系数可参照国家统计局公布的数据或参考附录A。6.5单位产品能源消耗修正值计算6.5.1能耗计算修正系数产能利用率下的能耗计算修正系数见表 4。表 4单位产品能源消耗计算修正系数产能利用率（%）90908080707060605050404030修正系数1.001.151.301.451.702.503.306.5.2单位产品能源消耗修正值计算当企业或生产线产能利用率低于
15、 90%且高于等于 30%时，单位产品能源消耗按公式（4）计算。,=(1)DB31/T 79220265式中：eZ,X统计报告期内第z类产品（硅单晶棒或抛光片或外延片）单位产品能源消耗修正值，单位为吨标每吨（tce/t），千克标准煤每千片（kgce/k）；eZ 统计报告期内第z类产品（硅单晶棒或抛光片或外延片）单位产品综合能源消耗计算值，单位为吨标煤每吨（tce/t），千克标准煤每千片（kgce/k）；Z统计报告期内第z类产品修正系数；z第z类产品。DB31/T 79220266AA附录A（资料性）常用能源品种参考折标准煤系数和耗能工质参考能源等价值A.1常用能源品种的折标准煤参考系数如表 A
16、1 所示，折标准煤系数如遇国家统计部门规定发生变化，则执行国家统计部门规定。表 A.1常用能源品种折标准煤参考系数能源名称平均低位发热量折标准煤系数天然气32238 kJ/m3 38979 kJ/m3（7700 kcal/m3 9310 kcal/m3）1.1000 kgce/m3 1.3300 kgce/m3燃料油41868 kJ/kg（10000 kcal/kg）1.4286 kgce/kg汽油43124 kJ/kg（10300 kcal/kg）1.4714 kgce/kg柴油43124 kJ/kg（10300 kcal/kg）1.4571 kgce/kgA.2电力和热力的折标准煤参考系
17、数如表 A.2 所示，折标准煤系数如遇国家统计部门规定发生变化，则执行国家统计部门规定。表 A.2电力和热力折标准煤参考系数能源名称折标准煤系数电力（当量值）0.1229 kgce/(kWh)电力（等价值）按上年电厂发电折标准煤耗计算热力（当量值）0.03412 kgce/MJ电力（等价值）按供热煤耗计算A.3常用耗能工质折标准煤参考系数（按能源等价值计）如表 A.3 所示，能源等价值如有变动，则以国家统计部门最新公布的数据为准。表 A.3耗能工质折标准煤参考系数耗能工质名称单位耗能工质耗能量折标准煤系数新水7.54 MJ/t（1800 kcal/t）0.2571 kgce/t软化水14.24 MJ/t（3400 kcal/t）0.4857 kgce/t压缩空气1.17 MJ/m3（280 kcal/m3）0.0400 kgce/m3氧气11.72 MJ/m3（2800 kcal/m3）0.4000 kgce/m3氮气（作副产品时）11.72 MJ/m3（2800 kcal/m3）0.4000 kgce/m3氮气（作主产品时）19.68 MJ/m3（4700 kcal/m3）0.6714 kgce/m3二氧化碳气6.28 MJ/m3（1500 kcal/m3）0.2143 kgce/m3
