1、Q.J 中华人民共和国航空蓝天工业部航天工业标准QJ 2214-91 洁净室(区)内洁净度级别及评定1991-08-01发布1992-05-01实施中华人民共和国缸空院天工业部发布自次1 主题内容与适用范围09.(1) 2寻1m标准.u.( 3术语.问4空气洁净度级别.u.uu由主空气洁净度级裂的鉴定和监测.n.(5) 6典型工艺及产品对空气洁净度级主IJ的妥求-，(14) 1*1录A手工操作教轻分级和较于计数的方法补充件7. . (15) 附录E光掌粒子计数器的操作补充件.(21) 附录C拉斯金(Laskin)喷嘴的结构，尺寸参考件)H.(25)附录D典l!工艺及产&对空气洁净F变级别的要求
2、参考件.(27) 中华人民共和固航空航天工业部航天工业标准QJ 2214-91 洁净室(区)内洁净度级别及评定1 1:题内容与边用?在因本标准规定了洁净京(区)内雪景气j吉净度级别，以及笔气恼净度级别鉴定和洁净度胀测的方法.本标浓适用于以空气绿浮幸盘子为校制对象，新建、政臻、扩建的访i争烹(阪)的分级和评Xl!.2 吉I，E目标准GB 6167 .1 线埃校于计数糕怯能试就方法转换灵敏度GB 6167.2 :埃波于1十敷秘性能试驳方法颗粒数浓度GB 6165 严部烛空气过油量任性能试验方法3术语3. 1 洁净窒(区)空气越浮粒子浓度被控制在规定界限内的房间或限定绞肉83. 1. 1 空态(峻工
3、态测试洁净窒(!Kl巳竣工，净化空调系统巴处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况F进行的测试3. 1. 2静态测试洁净雪夜(121:)净化穷调系统已处于iE常运行状态.工艺设备已安装并穷裁土重行t在内没有生产人员的情况下进行的测试.3. 1. 3动1i测试1白净主革(!Kl巳处于正常生产状元!:J每张准备使用的滤膜确定一个本底计数值。16 QJ 2214-91 A 5. 2. 2在本底计数但确定后，将气溶胶监测器放入个没有粒子污染的农器内，或放入相应的采样装置中运往采佯地点.采样前严禁打开气溶胶l监测器，A 5. 3 开式滤膜采集器法采样前的准备工作A 5. 3. 1 将滤膜采集器
4、拆开并用肥皂液和Jj.清洗.洗净后，用去离f串进J清洗.然后存放在单向流洁净实(区)内干燥(不许攘干) A 5. 3. 2 滤膜采集器完全干燥后，将滤膜装入采集器中，路出栅格，安装好滤膜后，将滤膜采集器倒置，用去离F水以急水流冲洗过滤器外表和l露出的采集器部分，从头上逐步冲洗到底部.将其放琶在单l流洁净窒(区)内干燥.A 5. 3. 3 确定准备使用的每张滤膜的本底计数值.A 5. 3. 4 滤膜存放盒的内表面干燥后，将一小片双而透明胶带或少叫真空脂放到它的底面上回A 5. 3. 5 将清洁、干燥后的滤膜采集器和确定木底H数伍的滤膜装人一个没有粒子污染的容器中.A 5. 3. 6将准备好的滤膜
5、采集器同滤膜和且，空泵一起远至采样地1:1.采样前，严禁暴露滤膜表而回 6 仪器和设备的存放仪器和设备应保捋清洁.不用时应存放在保护罩、箱或其它密闭容器内圄存放地点的空气洁净度级别不应劣于近行采样的洁净室(民)的最优级别.A 7 采样A 7. 1 采样的方位和采样量对于单向流洁净室(区)，气溶胶监测器或滤膜采集器应正面朝II_气流，流入滤肢的气流应调整为等动力状态，对于非单向流洁净室(区)，除另有规定，气溶胶n:r测器或滤膜采集糕的开敞表面一律朝上，进入25mm过滤器的空气流率应调军7L/min;进入47mm过滤器的空气流率应调至28.3L/min.1000级的最少采样量为283L，10000
6、级和100000级的最少采样量为28.3L.A 7. 2 用气溶胶监测器采样A 7. 2. 1 在采样点处，将气溶胶监测器和l气溶胶连接器相连，连接器和!真空泵相连，在管路中接一个限流孔板或流量讨.真空泵的排气应与正在采样的地点隔离. 7. 2. 2 使用流量计时，应用真丰泵的工作Ri力来调节流率. 7. 2. 3 将il时器连搜豆真空泵的电源上， 7. 2.4从气溶胶监测器取下底塞，使之与气溶胶连接器的自由端相连将气溶胶监17 QJ 2214-91 测器放在规定的采样位置上，卸卡气溶胶监测器的顶盖，放在沽净场所EA 7. 2. 5 启动真空泵，调节流量计，在选定的流率下运行达到所需采样量的时
7、间.A 7. 2. 6采样时间终结，关闭真空泵，盖上气溶胶llrr测器顶盖，将气溶胶监测器与气榕胶连接器分开，底塞不必复位.给监测器作上标记，将气溶胶监测器送到洁净室(1豆)去I数，该室(区)洁净度级别不应劣于被检测的j吉净度级别国A 7.3 用开式滤膜采集器法采样A 7. 3. 1 在规定的采样位置上i1t.好滤膜采集器，用桌空管将采集器与真空装置柑连.辑套真穹装置包括滤膜采集器，个限流孔板或流量汁以及真空泵圃排气要经过过滤或排至室外.A 7. 3. 2 使用流量计时，应用真空泵的工作压力来调节流率.A 7. 3. 3 把滤膜采集器的保护盖卸下，启动真空泵，在选定的流率下运行达到所需采样量的
8、时问.A 7. 3. 4采样结束后，关闭真空泵.用一个事先清洗好的盖小心地把滤膜采集器盖好，送到沽净室(区)去计数，该洁净唁(区)内洁净度级别不应劣于被检测的洁净度级别，A 8 显微镜的标定A 8. 1 若操作人员对显微镜己作了标定，此项工作可省略.A 8. 2将自式j顶l微计放在机制平台上，聚光并调节光源，使观测视野有均匀而足够的照度.A 8. 3检查自镜物镜组合是否合适，应得到100-250倍的总放大倍数，A 8. 4用每个目镜聚焦的办法确保显微镜聚焦适当，使台式测微I得到一个清晰的图像.A 8. 5使用阁像分析器或投影显微镜，应选行一次类似的标定EA 8. 6记录目镜刻度尺全长所覆盖的台
9、式相j散1ItfJ分度数，A 8. 6. 1 对于一个具体的放大倍数，目镜测微刻度尺的标定计算公式如下x D _ F .u. . .(A 1) Z 式中:D一每一目镜刻度分度的分度值，m;X一台式测微计分度数;8 白式测微I一个分度的长度，m;Z一目镜分度数.18 QJ 2214-91 例如:当放大倍数为100倍时，100个日镜分度数等于台式测微it1个分度数，测微计一个分度的长度为5.0m，那么，每日镜刻度分度的分度iii.为:100 x 5.0 D._ 5.0m 100 A 8. 6. 2 计算测量每一范围所箭的线性分度数，方法如下若放大倍数为100倍，每日镜分度的分度但为5Jlm，则对于
10、一个16-20llm的测量范围，操作员要观察3-4个分度.A 8. 6. 3着显做镜装有先焦距调整装置，只妥在汁算中注明该调整量，即可将分度标定调整为最攘近的串串数，而不用小数表示田标定值对应于某操作员，更换操作员应重新标定-A 9担子的显微镜计鼓和粒径分组A 9. 1 在洁t室(仄)中对附在滤膜表团的粒子进行计数和粒径分级，b)L在该洁净室(区)中用平慑子把滤膜从气溶胶监测器或开式滤膜采集器中取出来.A 9. 2将栅格而朝上，把滤膜放进一个预先清洁过的带盖玻璃培养肌中，滤膜贴在该玻硝培养JJll粘性表面上，装有采样滤膜的运载器皿应严格密封.A 9. 3 显做镜应清洁，不对采梓滤膜产生附加位于
11、污染.把盖好的玻璃培养肌放在显微镜载物台上，调整好照明灯的角度和聚焦，使在计数的放大倍数上得到最佳的粒于清晰度.使用角度为1O200的斜交光放射出粒子的阴影，把该粒子的阳象和滤膜本底分开曰A 9. 4选择视界(视野内的一个区)的大小，使视界内粒径大于5m的粒于数不超出到柿.可以优选的视界是:一个栅格方框，np由一个栅格方框的宽度和目镜测微刻度尺的标定长度所阪定的一个矩形，或出一个栅格方框的宽度和口镜扭微刻度尺长度的一部分所限定的一个矩形.A 9. 5通过扫描选定视界的一个单元而积的方法估算整个有效过油面积内大于51m界限的粒子数量.若在这个粒径范围内粒子总数小于500，贝)要在整个有效过古盖面
12、积的的范国内对这个位径界限的粒子计数;若总数大于500，应用A9.8.1条中的汁数方法回A 9. 6对粒子扫描时，使安计数的粒于在目镜刻度尺内通过.只有粒子的鼓太尺寸是有效的粒径.如有必要，可旋转含有目镜测微尺的日镜来观测特殊的粒子，A 9. 7 1m 台子动计数器记录在选定视界肉等于或太于用目镜测微尺能标明尺寸的粒子，并记录每一计数视界内的粒子数.A 9. 8粒子I1数的统计方法如下.19 QJ 2214-91 A 9. 8. 1 在整个有效过滤面积内的粒子数超出500时，应选择一个单元而积作统计计数，将该单元而积内所有的粒子计数:1来，然后对列外一些单元而积同样计数直至满足下列统计要求为止
13、，计算公式如下:F x Q 500 . .(A勾式中:F一栅格方块数或计数的单元而积数;Q一在F而积内计数的总粒数.A 9. 8. 2 滤膜表面上的总粒子数的计算公式如下Y=Q.xIM. . . . . . . .(A3) u x a 式中Y一滤膜上某一桩径范固的总粒数(已知本底1I-数值时，从Y值中减去本底计数值，但必须在被采样量除之前减去);Q , 在u个单元面积中讨得的总粒子数，E一滤膜总有效而积mm2;u -t数的单元而非数，a一单元面积.mm20 A 10 报告A 10. 1 按第A9章，从得到的滤膜总计数值中减去滤膜的本底计数值EA 10. 2测试结果应表示为所测粒径等f或大于5m
14、的和F数除以采样量，用每;.方米采样空气中含等于或大于5m的粒子数表示A11 影响准确度的因素A 11. 1 木方法的准确度不优于各交量之和.变量包括设备的可变网京、操作人员的差别及受训练程度.操作人员必须在使用显微镜粒径分级嘀1+1数技术方而受过充分的基木训练，A 11. 2 可在一块将栅滤膜上制备低、中浓度的样品，保存在两块显微镜载玻川之间作为实验辛标准，供I古训用，A 11. 3增加同一采样点的采样次数，可提高该点的采样准确度.A 11. 4增加每次采样的采样量或延长采佯时间可提高该采样点的准确度A 11. 5确立和1使用滤股本底计数缸可提高准确度，20 B 1 范围B 1. 1 应用Q
15、J 2214-91 附录B光学担子计鼓嚣的操你(补充件光学粒子计数器按实时基准提供空气悬浮控子浓度和I拉径分布的数据.本附录叙述了光学粒于计数器的操作、使用和试验的方法，提山了为评定空气洁净度进行的光学检测方法的一些指导准则，B 1. 2 局限性粒径分布的数据是参照用来标定光学粒+H数器的粒于体系的，在不同的光学粒于计数器之间其光学、电子及采样处理系统方面的差别会产生计数结果上的差异，在不同的操作参数条件f，拉子检测系统的仪器之间也会出现差异.应用计数器标定和标准化的操作方法使差异降至最低限度.B 1. 3 工作人员的资格工作人员应在使用光学粒子时数器方面受过训练，懂得它的操作、功能及其局限性
16、.B 2 方法概要B 2. 1标定光学粒子汁数器的一次标定用折射率为1.6的球形各向同性的粒子来完成.三次标定可用大气尘和一台作为基准的粒子刮数器对比的方法来完成.此外，应通过粒子汁数器内的内部参照量标准化或其它方法来确保操作的稳定性.B 2. 2操作汁数器在己知的流率下，在采样或有关点处，对要作洁净度分级的空气采样.采样空气中的粒子经过光学位子计数器的传感区域，产生一个和粒径相关的信号.电子在别电路将这些和世径相关的脉冲信号分级并计数，再将采样空气中的位于计数值显示、记录或打印出来，B3 仪器B 3. 1 光学粒子计鼓系统光学控子计数系统包括一台记录仪或打印机.若没在记录仪或打印机，将数据传
17、输到足距离位置作迸一步处理和计算.B 3. 2 采样气流系统21 QJ 2214-91 来样气流系统包括采样吸入管、检测腔室.空气流量计或控制系统及排气系统.排气系统由一台内装的真全泵或一台带有供光学植于计数器使用的单独的流量控制元件的外接真空泵组成.光学粒子fI数器在洁净室(区)内操作时，排气必须经过过撞.B 3. 3传感系统光学柿子I 电路刽造工艺I阳线宽工艺集)ti;r且路fIC吉耳边光刻.翻版工作区O.I#m5级。如ml级干法草3蚀工作区0.1自10级0.5自10级光主理、领版.于法刻蚀人员操作区，渥法刻蚀、硅片暴露区势加工，如:外延扩毅、氧免=化学气相淀事1(CVD)工作区1级-0级
18、湿黯茹i挝、硅片暴露区热加工员操作2至2砖片暴露区冷源工，如金漠化、离子注入工作区10级-100级硅片暴露区冷却i工员操作区;硅片吉普法1气质量控制(QC)中测100级-1000级前工序设备维主主区;Iif王序，成品割试;磁盘问i拙。级-lOOOoo级一一计算我翁助设lliCAD)主机、外雷设备毛终端、主革带库、级军10酣睡级I船舶8级光裂、?如j版;前工序工作区100级前王序员操作这l胁。级质量控剑、中毅IG曲。级设备维护区l刷0000级艺5-4m线宽i后工序工艺10酣睡级川崎船级理化分析级nu O一。一回一级。国注1)炉前清洗洁浮皮级l!J同硅H主罢工工序的洁净!ll级别.28 类别超文主
19、理楼集成电路窜l造工艺2E线宽工艺集成也路3m线宽工艺非集成电荡?艺或产光却q.翻版工作这Q.T 2214-91 续表Dl工艺或产品名称对法净度级别要求O.IJlmlO级0.5ml级咔时裂胆叫作假区1啤级础光主刻4毛刽敏、干法刻谧人员操作区，湿法蚀.硅片暴露区热jlOi;工，如何、扩散氧化、化学气辄积(CVD)工作区| 湿E告费:蚀硅片暴露亘去想主E工员操作坯;砖片暴露区冷恕工部金霆手之毛离于注入工作区硅if暴露区冷施工人员巢作区，硅片清浅飞质量控制(QC)、计算抗费劲设tj(CA副主机、外望雪设备.终端、磕辛苦库、级军光刻、幸遇版工作区10级-100级i级-1胁。级1000级10闹。级100
20、0级-100000级10曲曲级10级分于2自1艺和5-其官工艺年E工艺始级别要!求之间雪i器Ifl葡.镜、最挺纯实戳穿.分手束件延到1O在科宝! 精密预注器件抢装配| 品: 气浮、液浮陀臻仪、长寿命陀螺，三浮陀螺、雄主计制装10-100级;段;精密陀螺马达装配，或压气浮液浮输单的装配现现试| 2吉QJ 2214-91 续表DI类怒!工艺或产品名草草主宁边净度级别要求磁带涂布头的涂布王序;磁带涂布成的烘干道及收带工序;录像带、高密度tt测磁带量生压光、切带;气浮、液浮辐革装配测试，密密电气元件(动上五马达、泵装配测试;蜻懦录(MC晶体生长暂的事靠科溢装料、封智;研锯柔(MC)光电器件和光导器的光
21、刻毛焊电极引线在被梧外廷、砖镖革(MC芯茸精抛光;硅光宅二极管?J阵光刻，分子交外延生长障银幸(MCT)薄摸布分子束外延设备装路给装料;llJlbl机格中的伺毅褐及有关零!器件(减压器丽f在泵，判门等的清苦是及装定.卫屉推进分系统的筛闵检查i及阂:1组装1回级一一一一一千一精密惯性器件的读试，陀螺电气元件装配撼试;亚撞来级精密!1.械，T.&穗蜜iI量，意定平舍的装配读试.录缘带、离密&1擦磁带屹续智、装警及商试窍，磅领柔(法C)器件光主，;(线宽大F呈。m).焊屯艇、装霞、中1制到1级事慧，被拒外廷、扩散装料可真空接L离于柬望在射.离于柬t主.腐蚀、清洗;卫晨光学器部件在生组装z光学仪器位拆
22、装与翁调非集成电路工录缘磁带部绕带、装带以及东光、场带、曾在试王序;卫星姿控系统零部件和管药系统结取样、装配、焊接、湾法，卫星控制分系统的主茫敏感器标:定.要求高达卫星恙装、部i式，卫星光学革绞盈地离定标系统;光学实楚!室、光学系绞充电黯试，光学镜而污染清洗菲薄除;极权装院;普通陀螺仪表穆加速度到的装莲在1涡试;何服提构中伺服刻1号源试，整机及地商液压翻试设备的装夜，暗银柔(MC)器件真空封雀、装l1C摸真宅、里雪片、清法主或产品10000级J!垦总装.二次表jlij镜(OSR)片粘黠、谈试1.星塾星环渎模拟这婆，豆屋到电子产品焊装毛树试，控制分系统战推进分系统装配、擦过，卫星通信黛组装嘈耳其
23、试，太iii=舰艇袭收、装夜是展开试验，技术碎地习发射辞呈主2塔架约装夜说试问;卫星产主主运输包装箱，重要3星胶Jl约冲泼;:1.星上无10制阁。级线电部件拭去军装点封、询瞿j及其分机热真空环毒草试验，卫星上无线电设备配i套元器件库;卫星上高压变压器的绕秘及激封;伺服钱构中整抗弱试亲在圣f或试戳，地震费苦试仪器始装配与调试;1算机磁盘ji-l);i奄缀柔(MCT)器伶告J, 扩君主离于注、报真空30 类别微波集成电路5-4m 线宽工艺卫星微波元器件附加说明:要求较高的工序一般工序QJ 2214-91 续表D1工艺或产品，g称微波元器件的性能测试及筛选，微波元器件的组装对洁净度级别要求l胁。级100o级本标准参照采用了美国联邦标准FED-STD-209D(洁净室和洁净工作台的环境控制要求儿本标准由航空航天工业部第七O八所提出.本标准由航空航天工业部第七设计研究院负责起草，本标准主要起草人俞敖元.31
