1、 54843 2011 54843-2011 II 1 - ( ) ( ) 2 303 , 3 13 2011 . 1254-. 4 1.02012 ( 8). ( 1 ) , . () . , (gost.ru) , 2014 , 54843-2011 1 Microsystem technology products. Sensitive elements of microelectromechanical transducers of physical quantities. Generic specifications 20130901 1 ( ), ( - ) - . , . ( )
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3、3.3 : , . 3.4 : , , . 3.5 : , . 3.6 : , . 3.7 : , , . 3.8 : , . 3.9 : , . 4 , 4.1 : - (); - . 4.2 (): - ; - ; - . , , . 4.3 : - ; - ; - . . 54843-2011 3 4.4 : - ; - ; - ; - ; - . . 4.5 , . 4.6 , . : - - , : ; - - , : ; ; . - - , : ; ; . - - , . . , , 1: -1 . . 5 5.1 , . 5.2 5.2.1 , , , . , . 5.2.2 ,
4、 . -. , . . 2 2.102. , , , , , , . 5.2.3 , . 5.2.4 , . . 5.2.5 , . 5.2.6 , . 54843-2011 4 5.2.7 , , . , , , . , , , . . 5.2.8 (), . . , . , . 5.2.9 , . 5.3 5.3.1 4.4. , . 5.3.2 (. 5.4) , . , , (. 5.3.1). 5.3.3 (. 5.5.1) (. 5.5.2) , , , . , , (. 5.3.1). 5.3.4 - (. 5.5.2) , , , . , , (. 5.3.1). 5.3.5 . , - , . 5.4 , . 25467. 20.57.406. 5.5 5.5.1 25359. t , 25359. 5.5.2 21493. - , 21493, = 95 %. 5.5.3 - 12 . ( 10.6). 5.6 . . 5.7 5.7.1
