1、 56191 2014 2015 561912014 II 1 - () - ( ) 2 184 3 24 2014 . 1428- 4 1.02012 ( 8). ( 1 ) , -. () - . , (gost.ru) , 2015 , - 561912014 III , , , . , , , -, , , - , . . , -. 14644-1. - : - 2 9 ; - 10 . - . - . , - . 14644-12002. , 10. , . 1), , 2 9. . , - , , . 1) . ., . . . 2/2013, . 10-16. Fedotov A
2、 Fedotov G. Cleanroom Classification with Safety Margin Factor for Small Number of Sample Loca-tions and Other Issues. ESTECH 2013 59th Annual Technical Meeting of IEST, April 29 May 2, 2013, San Diego,USA. 561912014 1 Cleanrooms. Determination of cleanliness class using a safety factor 201512 011
3、 - 2 9 . - 14644-1, . 14644-1, - , . . -. , - 14644-1.2 : 14644-12002 . 1. - - - , 1 , , , . , , - (). , , , , , - . , , , , .3 14644-1, :3.1 : 14644-1.3.2 , ( . - , 14644-1.3.3 : - ( / . 3.4 : ( . 561912014 2 3.5 m : m, = /m; m 2 9.4 : , /3; , /3; ;m ;s ( ) (. 14644-1);95- t- m1 ; i, /3; m , /3;95%
4、 95 %- .5 5.1 , . -.5.2 ( 2 9). , (. .2). 5.3 , (1) (. ). :- ; - m. :- , ;- m 2 9 . . , 14644-1 ( ): , (2) ;m ;95- t- m1 ;. 561912014 3 (2) , (3) , . . . (4) m. . . 95 % 14644-12002 (. 1). 1 t- 95% m2 3 4 5 6 796,3 2,9 2,4 2,1 2,0 1,9 :- ( ), ; - ( ), s. . , . , . -. . m. - . , , .1 0,5. - 2. 2 a; 0
5、5( 0,5) m2 3 4 5 6 7 93,2 1,8 1,6 1,5 1,4 1,7 1,3 561912014 4 -. 5 - 0,5 3. 3 5 0,5 0,5 m2 3 4 5 6 7 91100 1960 2200 2350 2510 2510 2710 3 .2 , - 5 0,5 1100 /3. 14644-1 5 3520 /3 0,95. - 3520 1100 = 2420 /3. 1,3 2710 /3. 3520 /3( 23 %).2 1 . 4 5. 4 ( ( 1) m2 3 4 5 6 7 95,5 2,7 2,2 1,9 1,8 1,7 1,6 5 5 0,5 1 m2 3 4 5 6 7 9640 1300 1600 1850 1960 2070 2200 R = 1 , R = 0,5, R= 1 . 561912014 5 () . , - . 95 % - 95 % (, ). : - () (). 0, - . 95 % , 95 % , . . 5% 95% . , . 14644-1 , 95 % . . , - . , , . 14644-1 , 95 % - , 10 . , . :1) . , -, 2030 %; , -;2) , . . 14644-1 95 % - -, 2 9. ,
